WMT操作手册.doc

施美乐博公司上海代表处操作手册施美乐博公司上海代表处 上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦1909室tel: +86-21-58362890 fax: +86-21-58362887e-mail: website:/wa-200硅片测试仪版本号：2009-06 wa-200是semilab公司的无接触少子寿命（微波光电导衰减法）连续在线测试模组和无接触硅片电阻率（涡流法）、厚度（电容法）、p/n型号（表面光电压法）方块电阻（shr）连续测试模组。wml、wmt，cms提供13线连续测试，并可以根据需要自动分类，模组测试速度快、精度高且重复性好。广泛应用于硅片厂商的出厂检验、自动分选以及电池厂商的来料质量控制。本文档主要对wml、wmt、cms在线测试模块的操作界面和设备校正加以介绍。如有问题请与我们联系，竭诚为您服务。施美乐博上海代表处 地址：上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦1909室 电话: +86-21-58362890 传真: +86-21-58362887 网址： 客户支持工程师 刘楠 电话：+86-21-58362881 ext.211 移动电话邮箱：少子寿命测试模组wml 1， upcd软件界面upcd软件与单机版wt-1000系类相似。1.1 开机后打开upcd软件，需要在record页面中进行autosetting。首先将软件停止，点击按钮，然后将硅片放置到探头下面，点击record页面中的autosetting。autosetting后点击启动在线模式即可。测试时进入linescan界面观察曲线形状对两端的异常点进行skip edge 在曲线上点击右键选择skip edge选项，在对话框中输入需要剔除的时间值。cms方块电阻模组校准cms需要进行校准，至少需要两片，最多5片，下面以两片为例简单介绍校准过程。21准备两片已知方块电阻的样片，阻值尽量分别接近测试的上下 限；2.2 首先将软件停止，点击按钮2.3，点击对探头进行补偿出现如下图所示：2.3 补偿结束后将第一片校准品置入测试台点击expert calibrate进行校准点击add输入校准片的方块电阻值，点击ok即可。重复上述步骤，将第二片的数据输入，校准即完成。2.4 在options 进行保存。1. wmt界面1.1 runtime界面 ab c d 图1-1 runtime界面l a区：显示测量数据。左边窗（current wafer）为当前硅片厚度测试的平均值、最大值、最小值、ttv和电阻率等。中间窗口（current batch statistics）显示当批片子的相应参数。l b区：measure区域。new为手动测量，new batch为新一批次的开始，clear statistics为另存文档。l c区：controls界面显示的片子的厚度值。t1为中间探头，t3为内侧探头，t5为外侧探头，r1为电阻率。average是单点测量的次数，对于on-the- fly设备，一般设为8。l d区：显示多点测量数据。通过各个点可以显示出各个片子的厚度、ttv、电阻率测试值。1.2 linescan界面图1-2 linescan界面对于连续（on-the-fly）模组，从图1-2中可以看出，这种扫描方式可以测得由硅片上若干个点连接起来的三条厚度的扫描线，以及一条电阻率的扫描线。1.3 option界面abcd图1-3 option界面option界面主要用来对设置测试参数，我们测量时一般要对setup区的参数进行测试，其它参数都已在semilab厂家安装时设置好，请不要自行更改。对于setup区：l a区：load measurement options和save measurement options是有关校正文件的调用和保存。l b区：load classification和save classification是有关分选设置的保存和调用。l c区：thickness setup厚度设置（图1-4）。点击thickness setup出现如下图的对话框，可以看到厚度设置的范围：upper limit stop，upper limit warring，lower limit stop，lower limit warring。可以根据工艺的要求来设置，设置完之后，可以看到图1-1中d区厚度分选范围的变化。l d区：skip edge边缘剔除（图1-5）。由于测试的单晶的边缘有四个圆角，对测试结果造成影响，特别是对于t3和t5的厚度测量会造成很到的影响，因此我们要进行边缘剔除。我们建议t3和t5左右两边各剔除5060ms。对于t1和r1，建议左右两边各剔除20ms。图1-4 thickness setup界面图1-5 skip edge界面2. wmt厚度和电阻率校正1) 准备好校正样片，在同一片上需三个厚度校正点，一个电阻率校正点，点的位置按照探头的实际位置来确定。厚度在200m左右，电阻率最好在36ohm。2) 把片子放在检测台的中间，探头对准校正片上的四个点（三个厚度校正点，一个电阻校正点），设置controls界面下的average为8（测片子时此值必须小于8）。图2-1 average设置界面3) 点击options下的calibrate thickness，输入实际的厚度值，点击确定。图2-2 calibrate thickness选项4) 出现calibrate thickness对话框后，输入实际的厚度值，不用更改c1、c3、c5的值，点击ok。t1为中心探头，t3为内侧探头，t5为外侧探头。图2-3 calibrate thickness设置界面5) 取出片子，点击measure下的compensate resistivity。图2-4 compensate resistivity选项6) 重新放入片子，一定要对准样片上的四点，点击controls界面的空白处，测量三点的厚度。7) 待厚度值测出后，点击measure下的calibrate resistivity。图2-5 calibrate resistivity选项8) 当出现calibrate resistivity对话框后，输入实际的电阻率值，点击ok即可。图2-6 calibrate resistivity设置界面9) 校正完毕后，点击options下的save measurement options，命名校正文档。图2-7 save measurement options选项3. 注意事项1) 设备必须接地，客户提供的总电源必须要有高质量的接地端。2) 开机需要预热8个小时，因此我们建议客户不要关闭设备。3) 厚度电阻率的校准很重要，我们建议每8个小时校正一次。 - 17 -施美乐博公司上海代表