《真空镀膜基础知识》PPT课件.ppt

技术部技术员技术部技术员培训培训 涂装真空镀膜基础知识培训 培训的五个阶段 真空镀膜机原理 真空行业专业术语解释 车灯镀膜基础流程 真空镀膜的应用范围及应用现状 真空镀膜机设备图示 真空镀膜应用之范围： 光学 反射镜、增透膜、濾光片 天文望远镜、建筑玻璃、相机、灯具 导电膜、绝缘膜、保护膜 逻辑元件、运算器、磁片、CCD 透明导电膜、摄像管导电膜 LCD、录像磁头 电子电路 显示器 元件 蒸发镍、铝、金属陶瓷 电阻、电容、影印机硒鼓 纺织品 模具 消费用品 装饰膜 金属花纹、金丝银丝线 级面板、扶手、栏杆、不锈钢薄板、手机外 壳、香烟纸 刀具超硬膜 真空镀膜时一门有发展前景的表面涂覆应用技术，它具有一定系列其他真空镀膜时一门有发展前景的表面涂覆应用技术，它具有一定系列其他 工艺不可取代的优异特点；不受镀膜元件的材料及现状的影响。镀膜的厚度工艺不可取代的优异特点；不受镀膜元件的材料及现状的影响。镀膜的厚度 可以控制、一般为十几分几或百分之几微米；因而、它被广泛地应用于电子可以控制、一般为十几分几或百分之几微米；因而、它被广泛地应用于电子 设备、天文仪器、仪器、仪表等各行各业。设备、天文仪器、仪器、仪表等各行各业。 1 1、光学工业的应用、光学工业的应用 根据光学性能的要求，需要改变光学镜片表面对光波透射，反射能力。根据光学性能的要求，需要改变光学镜片表面对光波透射，反射能力。 真空镀膜就可以实现此项需求。真空镀膜就可以实现此项需求。 2 2、电子工业的应用、电子工业的应用 真空镀膜在电子行业中应用极为广泛，下面列出几种：真空镀膜在电子行业中应用极为广泛，下面列出几种： 透明导电膜：在玻璃、聚酯等基体上，真空镀上氧化铟、氧化锡薄膜，就可透明导电膜：在玻璃、聚酯等基体上，真空镀上氧化铟、氧化锡薄膜，就可 实现即透明又导电的功能。可用于显示电报、平面照相电极、观点效应记录实现即透明又导电的功能。可用于显示电报、平面照相电极、观点效应记录 材料等方面。材料等方面。 导电加热膜：在玻璃灯基体上的局部框线真空镀以鉻或镍合金，接通电源，导电加热膜：在玻璃灯基体上的局部框线真空镀以鉻或镍合金，接通电源， 就可以实现加热功能，用以清除因温差带来的水蒸气灯。就可以实现加热功能，用以清除因温差带来的水蒸气灯。 真空镀膜之应用现状 3 3、机械工业的应用、机械工业的应用 自用真空镀膜中的反应性离子镀膜、磁控溅射镀膜灯镀膜技术问世。真空镀膜在机械自用真空镀膜中的反应性离子镀膜、磁控溅射镀膜灯镀膜技术问世。真空镀膜在机械 工业的引用范围越来越广泛。工业的引用范围越来越广泛。 超硬膜：在切削工具中如：钻头、铣刀、插滚齿刀灯表面，真空镀上氮化钛等超硬镀膜层超硬膜：在切削工具中如：钻头、铣刀、插滚齿刀灯表面，真空镀上氮化钛等超硬镀膜层 ，可大大提高切削工具的使用寿命、效率及其精度。，可大大提高切削工具的使用寿命、效率及其精度。 功能膜：在机械零件表面真空镀上耐高温、防腐蚀、自润滑的技能的功能膜，可大大提高功能膜：在机械零件表面真空镀上耐高温、防腐蚀、自润滑的技能的功能膜，可大大提高 机械零件的使用寿命及使用功能。如汽轮机叶片。机械零件的使用寿命及使用功能。如汽轮机叶片。 4 4、塑料工业的应用、塑料工业的应用 在塑料制品上的真空镀膜，是近几年才发展起来的，并且发展速度很快，已成为真空在塑料制品上的真空镀膜，是近几年才发展起来的，并且发展速度很快，已成为真空 镀膜的一个大的应用领域。塑料制品的真空镀膜，即可镀铝、铜等金属，也可镀氯化钛、镀膜的一个大的应用领域。塑料制品的真空镀膜，即可镀铝、铜等金属，也可镀氯化钛、 氧化钛灯介质。目前氧化钛灯介质。目前ABSABS、丙烯树脂、尼龙、丙烯树脂、尼龙、PCPC、聚丙烯等塑料基材均可实现真空镀膜、聚丙烯等塑料基材均可实现真空镀膜 。 5 5、其它方面的应用、其它方面的应用 真空镀膜在农业用的薄膜纸；香烟内包装纸也是真空镀膜的一项应用。真空镀膜在农业用的薄膜纸；香烟内包装纸也是真空镀膜的一项应用。 真空镀膜的原理真空镀膜的原理 真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的产 品，将被镀薄膜基材装在真空蒸镀机中，用真空泵抽真空 ，使镀膜中的真空度达 到 1.31021.310-3Pa, 加热坩锅使高纯度的铝丝（纯度99.99%）在 1200 1400的温度下溶化并蒸发成气态铝。气态铝微粒在移 动的薄膜基材表面沉积、经冷却还原即形成一层连续而光 亮的金属铝层。具体包括很多种类，包括真空离子蒸发， 磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种 。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 需要镀膜的被成为基 片或基材，镀的材料（金属材料可以是金、银、铜、锌、铬、铝等， 其中用的最多的是铝 ）被成为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。 蒸发镀膜一般是 加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发 出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散 点岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高 能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子 形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经 历成膜过程，最终形成薄膜。 现行涂装厂使用的真空镀膜设备原理为蒸发镀膜 原理。 原理示意图原理示意图 真空镀膜机设备图示真空镀膜机设备图示 电路系统 冷却系统 空压系统 制成气 体系统 测量元件 镀源模组 排气系统 传动系统 真空腔体 架台 其它 电控 箱 PLC 模组 电脑 控制 板面 管 线 冰 水 机 流 量 计 管线 气压 缸 电磁 阀 流量 控制 器 管路 及接 头 真空 计 温度 计 感知 器 电源 电极 板 镀源 蒸镀 电子 枪 泵 排气 管路 阀门 马达 传送 机构 升降 机构 主腔 体 抽气 腔体 腔体 架台 其它 架台 工 装 夹 具 真空镀膜设备 汽车车灯真空镀铝生产流程图汽车车灯真空镀铝生产流程图 来料检验（抽检） 静电除尘 净化除油手动除尘 喷涂底漆常温自流平 IR预烘UV固化真空镀铝 离子轰击镀SIO保护膜检验及包装 来料检验 净化除油净化除油 净化除油：使用 特殊的除油剂对 塑料制品进行除 油。 使用方法：将适 量的除油剂注入 容器内，先浸泡 1-3min，然后使 用干净除尘布对 塑料制品擦拭， 擦拭时间是产品 大小而定 手动除尘手动除尘 手动除尘：对 塑料制品使用 特殊化学物品 对产品进行擦 拭，达到去除 产品表面灰尘 为目的。 静电除尘静电除尘 静电除尘： 使用静电枪 对产品进行 静电除尘。 此道工序直 接影响产品 镀膜质量。 喷涂底漆喷涂底漆 喷涂底漆： 对产品镀膜 区域进行底 漆喷涂，针 对不同材料 的产品不可 使用相同的 油漆。 UVUV固化固化 真空镀膜真空镀膜 立式真空镀膜机卧式真空镀膜机 真空术语解释真空术语解释 真空的含义：真空的含义： 真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压 力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态 称为真空状况。称为真空状况。 工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气 体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空 、中真空和低真空、中真空和低真空 真空度单位真空度单位 通常用托（通常用托（TorrTorr）为单位，近年国际上取用帕（）为单位，近年国际上取用帕（ PaPa）作为单位。）作为单位。 1 1托托1/7601/760大气压大气压1 1毫米汞柱毫米汞柱 4 4、托与帕的转换、托与帕的转换 1 1托托133.322133.322帕 或 帕 或 1