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气体设备的基础知识气体设备的基础知识 Page No.2 一.气体设备种类 面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类 气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续的输送到下游设 备。 BSGS：大流量特殊气体输送柜 GC：气瓶柜 GR：气瓶架 气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，同时保证生产的连续进行。 VMB：阀组箱 VMP：阀组盘 Page No.3 BSGS BSGS：大流量特殊气体输送柜 气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系统 常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统 Y瓶 T瓶 Page No.4 BSGS 全自动控制 高压端工艺管径1/2“，低压段工艺管径1/2“ 高低压自动吹扫功能 自动切换 ，可远程紧急关断阀门 autoguard防止误拆卸 高压气源过滤功能 10寸彩色触摸屏实现人机交互 功能 型号 PLC控制 彩色触 摸屏面 高低压 自动吹 扫 自动切 换 紧急切 断 高压气 源过滤 一级调 压 二级调 压 流量开 关 auto guard 抽风罩 GS1 * GS2* “必备功能；“*“为可选功能 Page No.5 BSGS 可选项简述 1、二级减压 当减压阀前后压差过大时，避免由于压降过大造成减压阀结露 严重，需采取两级减压，一级减压至一个中档的压力，二级减 压至需用的压力。 2、流量开关 流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个 设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分 阀门结露 流量开关 Page No.6 BSGS 可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置 这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到 控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生 火焰侦测器 感烟探测器 感温探测器 Page No.7 BSGS 可选项简述 5、管线伴热 有些气体气源压力很低，需要通过加热管道来增加 流量 6、HEATING 同样是一种通过加热管道，来增加流量的措施，对 于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法 7、抽风罩 气源在柜外有接头和吹扫用阀门，有些危险性气体 ，需要监控接头的可靠性，此时需要配置抽风罩 如设备没有配置抽风罩，在发货时需要配置吹扫阀 门、单向阀、钢瓶接头和接头锁 面盘管道加热抽风罩 Page No.8 GC GC：气瓶柜 气源在柜内的气源处理设备 特种气体使用的封闭式气瓶放置与气 体输送设备，一般情况下，储存量为 47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体 供应系统 功能 型号 PLC控制 彩色触 摸屏面 高压保 压 自动吹 扫 自动切 换 紧急切 断 远程自 动关断 高压气 源过滤 工艺气 体管路 调压 流量开 关 auto guard C1A * C5A* “必备功能；“*“为可选功能 Page No.9 GR GR：气瓶架 气源在柜外的气源处理设备 大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备，一 般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无 毒害气体供应系统 区分气体名称气体性质 可燃助燃毒性腐蚀 一般气体 O2 N2 Ar H2 He CO2 Ne Xe Page No.10 GR GR：气瓶架 GR的分类比较多，一般分有： 1、用于BSGS/GC的 吹扫的和保压 常用气体高纯氮气 VCR连接，高压端工艺管径1/4“， 低压段工艺管径1/4“ 相同双瓶工艺气体高低压配置 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 Page No.11 GR GR：气瓶架 GR的分类比较多，一般分有： 2、大宗气体气源处理 根据介质性质，选择自吹扫和带 吹扫 VCR连接，高压端工艺管径1/4“， 低压段工艺管径1/4“ 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 自动切换，远程紧急切断阀门 Page No.12 VMB VMB：阀组箱 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个 工艺设备提供特种气体 同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求 隔膜阀配置，VCR接口 柜内负压测量 碳钢喷塑柜体，防爆玻璃视窗 Page No.13 VMB 标准型半自动配置，远程紧急切断各支路阀门 进气扩展口*1 支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表 +出口气动关断阀 手动N2吹扫功能 手动抽真空功能 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力 表+出口手动关断阀 手动N2吹扫功能 手动抽真空功能 Page No.14 VMP VMP：阀组盘 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置， 用于向一个或多个工艺设备提供特种气体 同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求 Page No.15 VMP 隔膜阀配置，VCR接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动隔膜阀+标准型调 压阀+压力表 隔膜阀配置，VCR接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口手动关断隔膜阀 Page No.16 VMP 球阀配置，卡套接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动球阀+标准型调压 阀+压力表 球阀配置，卡套接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口手动关断球阀 Page No.17 常用阀门图例 Page No.18 常用位号定义 PGI：Purge Gas Isolation Valve，吹扫隔离阀 HPI：Process Gas Supply Isolation Valve，高压隔离阀 LPI：Process Gas Supply Isolation Valve，低压隔离阀 REG：regulator 调压阀 LPV：Process Gas Delivery Vent Valve，低压排放阀 HPV：Process Gas Supply Vent Valve，高压排放阀 TAP：Test Access Port，氦检漏阀 PIV：Purge Isolation Valve，吹扫隔离阀 GNBV：Vacuum Venturi Supply Valve，抽真空氮气针孔阀 PNBV：Purge Gas Bleed Valve，吹扫氮气针孔阀 HPIV：High Pressure Isolation Valve，高压保压隔离阀 HPT: Supply Pressure Transducer，高压传感器 HPG: Supply Pressure Gauge，高压压力表 LPT：Delivery Pressure Transducer，低压传感器 LPG：Delivery Pressure Gauge，低压压力表 VPT：Vacuum Pressure Transducer，真空端压力传感器 VG：Vacuum Generator，真空发生器 CV（P）：Low Purge N2 Supply Check Valve，低压吹扫氮气 单向阀 CVP：Purge N2 Supply Check Valve，吹扫氮气单向阀 CV（V）：Venturi N2Supply Check Valve，抽真空氮气单向阀 LCV：Delivery Vent Check Valve，低压排空单向阀 GF：Gasket Filter垫片式过滤器 LF：Line Filter在线式过滤器 VS：Valve Shutter 钢瓶阀关断装置 AG：Auto-Guard钢瓶接头自锁装置 VGM：Vacuum Generator Module 真空发生器模块 EFS：Excess Flow Switch 超额流量开关 UV/IR：火焰侦测器 HT：High Temperature 高温检查传感器 Page No.19 常用材料选型 管道采用Valex的SS316 EP级管道 高压隔膜阀：高压手动AP3100（大流量），高压手动AP3650（小流量），高压气动AP3130（大流量） ，高压气动AP3000（小流量） 低压隔膜阀：低压手动AP3800（大流量），低压气动AP3700（大流量），低压手动KITZ VLD8MS（中 小流量），低压气动KITZ VLD8C（中小流量），低压手动KITZ VLD4MS（小流量），低压气动KITZ VLD4C（小流量）。 VCR Fitting：对于gland，Mini Elbow ，Mini Tee一般采用TK生产的SS316 EP级。Hamlet生产的 VIM+VAR EP级。VCR Gasket现在全部采用NI材质的EP级。 调压阀：在GC中一般选择AP1410TS，VMB中选择AZ1010S。 Page No.20 二.常用接口类型 焊接 VCR Swagelok，let-lok，卡套 卡接（卫生级卡接、真空卡接） 法兰 NPT、管螺纹 Page No.21 VCR 密封柱连接通过金属对金属的面密封来提供超高纯，无泄漏，高压 输送特点。卡接（卫生级卡接、真空卡接） 密封柱连接通过使用软垫片来实现密封。在旋紧阴阳封盖的时候， 高光洁度密封柱对垫圈进行挤压，形成形变。 可以通过阴封盖上的两个相对的测试孔来进行裸眼检测和泄漏检测 ，以确保组装的完整性。 1套VCR由1short gland+1gasket+1long gland+1male Nut+1Female Nut组成 Page No.22 Swagelok，let-lok，卡套 卡套接口是Swagelok公司发明的一种连接方式，因此又称为Swagelok连接方 式，我们也说let-lok连接方式 卡套式管接头是一种靠机械紧箍力进行实现密封连接的管接头。 它由以下几个部分组成: 1.主体（Body） 2.封盖（Nut） 3.后卡环（Back ferrule） 4.前卡环（Front ferrule） Page No.23 NPT、管螺纹 NPT 是 National (American) Pipe Thread 的缩写，属于 美国标准的 60 度锥管 螺纹，是一种密封性 螺纹 Page No.24 三.常用材料种类 1.管道介绍 2.管配件介绍 3.阀门介绍 4.压力表介绍 Page No.25 管道 管道大小一般指外径。常用英制 1”=1inch=25.4mm。除此外还有国标（ 公制）、日规（A制） 英制不锈钢 管(ASTM A269) 称呼外径(mm)壁厚(mm) 英制（IN）OD5S 1/8“3.180.7 1/4“6.350.89 3/8“9.530.89 1/2“12.71.24 5/8“15.8751.24 3/4“19.051.65 1“25.41.65 1-1/2“38.11.65 2“50.81.65 2-1/2“63.51.65 3“76.21.65 3-1/2“88.92.11 4“101.62.11 5“1272.77 6“152.42.77 日制不锈钢 管(JIS G3459) 称呼外径(mm)壁厚(mm) 日制（A）OD5S10S20S40S 610.511.21.51.7 813.81.21.6522.2 1017.31.21.6522.3 1521.71.652.12.52.8 2027.21.652.12.52.9 25341.652.833.4 3242.71.652.833.6 4048.61.652.833.7 5060.51.652.83.53.9 6576.32.133.55.2 8089.12.1345.5 90101.62.1345.7 100114.32.1346 125139.82.83.456.6 150165.22.83.457.1 200216.32.846.58.2 250267.43.446.59.3 300318.544.56.510.3 Page No.26 管道 材质：不锈钢、碳钢、塑料-高分子材料（PFA、PTFE 、PP、PVC、UPVC、CPVC、PU） 常用不锈钢型号：304、316L 记住C、Ni、Cr的含量 Page No.27 抛光处理类型 抛光处理工艺：AP、BA、EP acid polished pipe 经过酸洗去除表面残存颗粒的钝化 不锈钢管； bright annealing pipe 经加氢或真空状态高温热处理， 消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮不 锈钢管； electro-polished pipe 经电化学抛光，使表层实际面积 得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭的氧化 铬膜的电化学抛光不锈钢管。 Page No.28 管配件 三通 弯头 大小头 直通 Page No.29 常见阀门 1.阀门的种类 按阀芯分类：球阀、隔膜阀、波纹管阀、蝶阀、针阀 按执行方式：气动、手动 按压力等级：高压、低压。 按接口形式：VCR、卡套、焊接、法兰、NPT、管螺纹、卫生卡接 2.调压阀的种类 按入口压力：高压减压阀、二级减压阀 按材质：SS、Brass 按接口形式：VCR、NPT、卡套、焊接 Page No.30 压力表 量程：-30inHg-0-100psi、 -30inHg-0-160psi、 -30inHg-0-300psi、 -30inHg-0-600psi、 0-3000psi。 样式：直立、背接。 盘面大小：50mm为常用 接口形式：VCR、NPT Page No.31 四.检测类 常见名词 =1%drop 1.15 design bar * 24hr：在1.15倍设计压力下 测试，2