容删及反馈传感器教学课件PPT.ppt

10cgq04_2,1,复习：,1.电容传感器原理,被测量电容的变化（, r , s） 电压（流）的变化。,2.分类,变极距型；变面积型；变介电常数型,3.静态灵敏度,变极距型：,差动接法：,10cgq04_2,2,4-4 电容式传感器举例及应用,一.基本数据,1.测线位移,变极距型：,量程： 0.01m102 m,分辨力： 0.001m （纳米）,精度： 0.01m,变面积型:,量程： mm102 mm,分辨力: 0.01m 0.001m,线性： 优于0.5%,10cgq04_2,3,2.测振动,振幅： 50m,频率： 2khz,3.测压力,量程： 50mpa,二.电容式位移传感器,测主轴的径向跳动,电子测微仪,10cgq04_2,4,测板材厚度,厚度 cx ,板材为电容器一极,带材的振动不影响测量精度,10cgq04_2,5,二.电容式加速度传感器,壳体固定在振动 物体上，相对质 量块位移，此位 移与加速度成正 比，使两个电容 变化。,三.电容式压力传感器,10cgq04_2,6,10cgq04_2,7,10cgq04_2,8,电容传声器,液面高度测量,液面高度测量,四.电容式集成传感器,间距极小； 测量电路与敏感电容 集成在一起。,电容式传感器01.exe,10cgq04_2,9,五.容栅式传感器,1.结构及原理,变面积型的组合,w=2b,10cgq04_2,10,灵敏度：,10cgq04_2,11,2.差动接法,定栅：,动栅对：,差动电容：,10cgq04_2,12,3.容栅式传感器的特点,电容传感器的优点； 多极电容，平均效应，灵敏度高， 抗干扰能力强， 测量精度 ：5m; 量程：1m.,反射式； 透射式； 倾斜式； 圆容栅,10cgq04_2,13,六.反馈式电容传感器,1.闭环传感器的原理,输出=被测量,(1).框图,10cgq04_2,14,（2）反馈元件,线位移、动圈元件、压电元件,2.力平衡式加速度传感器,（1）原理,10cgq04_2,15,壳体振动向上，质量块受力fx=max , 相对于壳体向下(y); 电容 (进而i)随y(进而随fx)变化; 力矩器产生反馈力f= i也作用于质量块,fx= f,10cgq04_2,16,（2）方块图,fd=fx- f,10cgq04_2,17,（3）特性参数分析,闭环静态灵敏度：,固有频率：,阻尼比：,与m,c,b参数的关系：,保证措施：,10cgq04_2,18,（4）应用,惯性导航系统,gps：global positioning system,多星、高轨、测时、测距,gps卫星位置的确定(加速度传感器),10cgq04_2,19,小结：,1.电容传感器的应用,2.容栅式传感器的基本结构,3.闭环式传感器的基本组成,位移（振幅），压力，加速度,复习p80-89,预习p90-106, 思考：p89：3，6。,10cgq04_2,20,提纲 4-4 电容式传感器应用,一.基本数据,1.测线位移,2.测振动,3.测压力,二.电容式位移传感器,三.电容式压力传感器,四.电容式集成传感器,4-6 容删式传感器,一.结构及原理,二.差动接法,三.容删式传感器的特点,4-7