烧结测试工艺培训.pptx

中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltd 烧结测试工艺培训 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 晶硅太阳能电池加工工艺 晶硅电池生产工艺流程 硅片检测 磷扩散 丝网印刷 丝网印刷 烧结 13 56 7 清洗制绒 2 洗磷刻蚀 4 检测分选 8 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 目录 工艺原理1 设备介绍2 工艺控制3 过程检验4 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结测试工艺 1、烧结的动力学原理 2、烧结机制和目的 3、烧结的过程 4、烧结的温度曲线 工艺原理1 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结测试工艺 v 可看作是原子从系中不定的高能位置迁移至自由能最低位置的 程。厚膜料中的固体粒系是高度分散的粉末系，具有很高的表面 自由能。因系是力求达到最低的表面自由能状，所以在厚膜 程中，粉末系的表面自由能必然要降低，就是厚膜的力学 原理。 v 固体粒具有很大的比表面，具有极不的复表面状以及在粒 的制造 、化理等加工程中，受到的机械、化学、作用所造成的 重晶缺陷等，系具有很高自由能. ，粒由接触到合，自由表 面的收、空隙的排除、晶体缺陷的消除等都会使系的自由能降低，系 力学中更定的状。是厚膜粉末系在高温下能成 密构的原因。 烧结的动力学原理3 1 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结测试工艺 v 太阳池片目前采用只需一次 的共工，同 和 形成具有欧姆接触性的背面和上下极。 当 温度达到-硅共熔点（577c）以上 合金化以后，随 着降温，液相中的硅将重新凝固出来，形成含有一定量的的再 晶，就是背， 上是一个硅 的程。 当 温度达到600c以上之后，在 程中，大致 了玻璃体的流化、表面湿化、腐减反射膜和硅射极等程， 此 和硅逐溶入玻璃体中，构成一个比理想的金半接触界 面，形成欧姆接触。 烧结机制和目的3 2 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd v欧姆接触 v欧姆接触是指金属与半体的接触，而其接触面 的阻小于半体本身的阻，使得件操 作，大部分的降在活区而不在接触面。 欧姆接触在金属理中用广泛，的主要措 施是在半体表面行高或者引入大量复 合中心。 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 烧结的过程3 3 烧结分为预烧、烧结、冷却三个阶段。 预烧阶段 预烧阶段即排胶阶段，目的是使浆料中的高分子粘合剂分解燃烧掉， 此阶段温度慢慢上升，当温度达到500时，有机物被全部背被分解 燃烧。其中分解出的碳与氧反应生成co或co2由排风系统送出。 1.2.2烧结阶段 烧结阶段包括温度从500-800的升温烧结阶段和峰值温度下的保温 烧结阶段。在此阶段中，烧结体内完成了各种复杂的物理化学反应， 形成电阻膜结构，使其真正具有电阻特性。 1.2.3冷却阶段 银浆烧结中的玻璃体冷却硬化并凝固，使电阻膜结构固定地粘附于基 片上，形成欧姆接触。 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 n烧结的温度曲线3 4 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 1 烧结设备厂家 2 despatch烧结设备 设备介绍2 2 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 丝网印刷设备厂家较多，各家设备成膜的原理不尽相同，主要是 tps、btu、despatch、centrotherm等。国内中电48所等单位 也在生产，但稳定程度差别很大。 烧结设备厂家3 1 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 despatch烧结设备3 2 烧结炉 设备 软件 烘干区 烧结区 冷却区 温度调节 上下功率调节 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 温区作用 烘干区使有机溶剂脱离浆料 烧结区使电极、背场可形成良好的欧姆接触，减小串阻 温度梯度: 从常温到烧结高温，温度变化是剧烈的，用逐渐增温的方式来增加系 统的稳定性 各温区作用 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 粉状成型体的 程示意 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 烧结工艺 a) 前 b) 后 烧结的sem照片 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 丝网印刷工艺 工艺控制3 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 丝网印刷工艺 一、 温度的定 17 温区dry1dry2dry3dry4frn1frn2frn3frn4frn5frn6速 温度200250270300400445570675837872230 mm/min l温度可根据 情况作出10的整，一般很少做大幅度的 l当工初始化、更 料型号、特殊格的硅材料，可考采用差异 大的 温度行 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 丝网印刷工艺 三、烧结步骤描述 区域功能成加元件温度范 烘干区 3#网印 刷后硅片表面 料行烘干 dry1 dry2 dry3 dry4 加元件 各温区独可 通常温度不超300 区 去除料中的 有粘 背及珊 区 frn1 frn2 frn3 frn4 主区 frn5 frn6 加元件近外加管 14区加管功率1600w 56区加管功率2700w ， 各温区温度独可 14温区可置到700 56温区可置到1050 冷却区硅片冷却冷却区水冷 水温度在1622 l各区域各有一个隔离炉膛(帘隔离) l隔离炉膛防止相区域中的程气体相互混合 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 丝网印刷工艺 四、烧结炉的故障与处理 1、空气流量过小或过大，空气压力不稳。提请设施部作解决。 2、压缩空气中有大量水份和油份，加大流量，排除积累在流量计中 的水份，同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份。 3、冷凝器排风量过小，提请设施部加大抽风量。 4、冷却水温度过高，提请设施降低水温。 5、传送带过长，请设备部门调整链带长度。 6、温度超出设定充许范围，检查设定值是否合适，并请工艺部门适 当调整。 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 丝网印刷工艺 五、烧结炉注意事项 1、不要把头和手伸入正在运行的传送带上. 2、不要在设备员工不在场的时候拆烧结炉的任何部件. 3、当不清楚问题出自何处时不要擅自主张. 4、当烧结炉出现可能损坏设备的情况下应立即拍下急停按钮(在设备的 两头都有急停按钮). 5、当烧结炉出现红灯报警时，应立即停止丝网印刷 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能电力有限公司 cpi xian solar power co., ltdcpi xian solar power co., ltd 丝网印刷工艺 过程检验 过程检验4 中电投西安太阳能电力有限公司中电投西安太阳能