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文档简介

4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器,光栅式传感器的特点： 精度高； 大量程测量兼有高分辨率； 可实现动态测量； 具有较强的抗干扰能力。,4-1 光栅式传感器,长光栅 用于长度或直线位移的测量， 刻线相互平行； 圆光栅 用来测量角度或角位移，在圆 盘玻璃上刻线；,1.4 光栅式传感器 (1) 计量光栅的种类,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (1) 计量光栅的种类,光栅放大图,4-1 光栅式传感器,计量光栅的分类,1.4 光栅式传感器 (1) 计量光栅的种类,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (2) 莫尔条纹,一、形成莫尔条纹的光学原理 长光栅莫尔条纹的周期：,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (2) 莫尔条纹,一、形成莫尔条纹的光学原理 莫尔条纹的重要特性： 运动对应关系 位移放大作用 误差平均效应,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (2) 莫尔条纹,二、莫尔条纹的种类 长光栅的莫尔条纹 圆光栅的莫尔条纹,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (2) 莫尔条纹,长光栅横向莫尔条纹,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (2) 莫尔条纹,圆 光 栅,4-1 光栅式传感器,一、透射式光栅传感器 二、反射式光栅传感器,1.4 光栅式传感器 (3) 光栅传感器,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (3) 光栅传感器,光栅传感器构成原理,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (3) 光栅传感器,相距b/4放置四个光电元件,4-1 光栅式传感器,1.4 光栅式传感器 (3) 光栅传感器,辨向电路原理框图,4-1 光栅式传感器,4-1 光栅式传感器,四倍频细分电路原理框图,4-
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