《纯水处理方法》PPT课件.ppt

UPW System Introduction,什么是超纯水,超纯水是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，25时，电阻率为10Mcm以上，通常接近18Mcm，必须经膜过滤与混合床等终端精处理的水。理论上超纯水的电阻率可以达到 18.24兆欧。 从原水到超纯水，靠单一的方法是无法达到的，需要充分利用各种方法的优势，综合利用共同作用，才能达到经济有效的制造超纯水。 原水的水质： 超纯水的水质要求： 各种处理方法的比较：,原水水质要求,超纯水水质要求,处理方法比较,return,原水水质的要求,超纯水水质要求,处理方法的比较,多介质过滤器,活性炭过滤器,过滤水箱,阳塔送水泵,阳塔,脱气塔,阴塔送水泵,阴塔,中间水箱,RO送水泵,5uM过滤器,RO高压泵,RO系统,RO水箱,MB送水泵,TOC-UV,混床,纯水箱,纯水送水泵,原水箱,原水泵,热交换器,TOC-UV,一级脱氧膜,二级脱氧膜,一级抛光混床,二级抛光混床,纯水增压泵,UF系统,使用点,1、多层式过滤器 主要去除水中的铁离子、胶质、悬浮固体、浊度及氯离子。 原水水质中所含的大颗粒杂质主要为不溶解性的悬浮固体物，及由腐植质造成的长链型有机污 染等，另外原水为自来水时水中所含的氯离子等，为确保逆渗透系统能长时间正常运转并尽量 避免堵塞所造成的困扰，利用简单、便于操作且有效的处理单元做为系统的最前端是最恰当的 设计方式。,各个系统的作用,2、活性碳过滤器 主要是用来除去水中的有机物和残余氯，也能除去水中的臭味，色度等。通常，活 性碳选用优质的果壳或椰壳类，确保机械强度好且吸附速度快，吸附容量大。,3、阳离子塔 阳离子塔采用了双层床，是指在逆流再生固定床内，按一定配比装填强，弱两种离子交换树 脂。主要作用是用强.弱阳树脂去除水中阳离子（如 Na+ ,k+ ,Fe3+ ,Ca2+ ,Mg 2+ ），采用强酸型树 脂，其有较强的交换能力，处理水量大，再生需要的药剂量少。阳离子塔根据水质或者时间， 自动控制和再生系统。阳离子塔出水水质优良，使用范围广。 4、脱碳酸塔 脱碳酸塔的主要作用是：去除水中的 CO2，减少的 RO 膜组件的负荷，降低电导率；主要方 式为：鼓风填料式除碳器当水的 PH 值控制在 4-5 时，使水中 CO32- 转成 CO2；同时送入大量 新鲜空气，之后迅速转移到空气中，从而去除水中的 CO2。经过鼓风式填料式脱碳酸塔之后 水中残余 CO2 含量一般小于 5mg/L。,5、阴离子塔 阴离子塔采用了双层床，是指在逆流再生固定床内，按一定配比装填强，弱两种离子交换树 脂。主要作用是用强.弱阳树脂去除水中阳离子（如 HCO3-、HSIO3- ），采用强碱型树 脂，其有较强的交换能力，处理水量大，再生需要的药剂量少。阴离子塔根据水质或者时间， 自动控制和再生系统。 6、安全过滤器 原水水质中主要去除水中的悬浮固体及浊度。确保避免堵塞所造成的困扰，利用简单操作且 有效的处理单元做为 RO 系统的前端最恰当的设计方式。,7、RO 系统 反渗透主要是将溶剂（通常为水）和溶剂中离子范围的溶质分离，反渗透法由于分离过程不需 要加热，消耗能力少，设备体积小，操作简单，而且很经济；并且反渗透膜具有较高的透水速 度和脱盐性能。RO 膜组通过 PLC 自动控制每天自动运行。 RO 进水，出水电导率显示在控 制盘中， RO 透水率大概为 75%，RO 除盐率大概为 98%，是脱盐系统的核心,8、真空脱气膜 脱气膜广泛地用于从 水中除氧 和其他液体除氧。氧气 O2 对很多任务艺过程有负面影响；氧 气会腐蚀和氧化材料。脱气膜提供了一种无需化学品添加和大型脱气塔的易于操作，模块化的 水中脱氧方法。 9、TOC UV 以波长 185 nm 之 TOC 紫外线杀菌灯，分解水中部份长炼键有机物，使其成为短键的有机 酸以利后面之 MB 树脂塔加以去除，确保 TOC 要求数值。,10、MB 塔 混床是将阴阳树脂按一定比例装置填在同一交换器中，运行前将它们混合均匀。RO 产水进入 MB 混床，用阳树脂交换 Na +等；用阴树脂交换 HCO 3 -等。混床出水电导率小于 0.1-0.2us/cm。 当混床树脂失效时，电导率会升高，则需要先分离，然后分别对阳，阴树脂进行再生，清洗， 恢复他们的交换能耐并均匀混合再运行。混床采用全自动控制，24 小时运行。不会受再生影响 供水，去离子水进入纯水箱，用高纯度 N2 密封水箱，避免外面空气进入，造成水质的污染。,11、TOC UV 以波长 185 nm 之 TOC 紫外线杀菌灯，分解水中部份长炼键有机物，使其成为短键的有机酸 以利后面之精炼树脂塔加以去除，确保使用点之 TOC 要求数值。 12、精炼混合树脂塔 采用不再生型混床树脂塔目的为避免再生剂污染树脂，而使得超纯水纯度降低，主要提高水组 值达 18.2 M.cm。 13、UF UF 膜是表面层主要作用是形成具有一定大小和形状的孔，它的分离主要靠物理的筛分作用。用 于后端处理的膜孔径范围为 0.05um-1nm，所分离的溶质的分子量下限 6000,管路Loop的设计 根据整个FAB各User分布，UPW通过Loop送到各区域。管径应根据各区域用量进行计算。每个Loop和机台的Take-off点都必须设supply和return。整各Loop的循环水量必须大于20%，防止细菌的滋生。 Loop供水和回水应安装流量计，两者之差即为该区域的用量。UF出口压力为0.50.6Mpa，Loop压力通过机械压力调节阀开度来控制。Loop供应压力通常控制在0.4Mpa左右。每个Loop的回水应设电阻率仪，Loop回水的电阻率小于15M.cm切去前处理。回水总管设TOC仪，如有回水出现异常状况可手动切去前处理或