标准解读

《GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法》是一项国家标准，主要规定了使用激光技术测量硅晶锭尺寸的方法。该标准适用于单晶硅和多晶硅晶锭的尺寸检测，包括直径、长度等关键参数。通过采用非接触式的激光扫描方式，能够高效准确地获取硅晶锭的外形尺寸信息。

在具体操作流程方面，首先需要确保被测硅晶锭表面清洁无杂质，以减少外界因素对测量结果的影响。接着，根据待测样品的具体情况选择合适的激光测量设备，并按照说明书正确设置仪器参数。当一切准备就绪后，将硅晶锭放置于指定位置，启动激光扫描系统开始自动采集数据。整个过程中应保持环境稳定，避免振动或其他干扰源影响精度。

此外，《GB/T 37213-2018》还详细描述了如何处理所获得的数据，包括但不限于数据平滑处理、异常值剔除以及最终结果计算方法等。对于不同类型的硅晶材料，可能还需要考虑其特殊性质（如反射率差异）对激光信号接收造成的影响，并据此调整相应的校正因子来提高准确性。

此标准为硅晶行业提供了一种科学可靠的尺寸测量手段，有助于提升产品质量控制水平及生产效率。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

查看全部

  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-12-28 颁布
  • 2019-11-01 实施
©正版授权
GB∕T37213-2018硅晶锭尺寸的测定激光法_第1页
GB∕T37213-2018硅晶锭尺寸的测定激光法_第2页
GB∕T37213-2018硅晶锭尺寸的测定激光法_第3页
免费预览已结束，剩余9页可下载查看

下载本文档

GB∕T37213-2018硅晶锭尺寸的测定激光法-免费下载试读页

文档简介

ICS77040H 21 .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T372132018 硅晶锭尺寸的测定 激光法 TestmethodforsiliconbrickdimensionLasertechnologymethod2018-12-28发布 2019-11-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 GB/T372132018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 与全国半导体设备和材料标准 (SAC/TC203)化技术委员会材料分会 共同提出并归口 (SAC/TC203/SC2) 。 本标准起草单位 苏州协鑫光伏科技有限公司 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 山东大海新能 : 、 、源发展有限公司 。 本标准主要起草人 宫龙飞 金善明 林清香 夏根平 唐珊珊 刘坤 : 、 、 、 、 、 。 GB/T372132018 硅晶锭尺寸的测定 激光法 1 范围 本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法 包括对角线 倒角 垂直度 边长和 , 、 、 、 长度 。 本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 半导体材料术语 GB/T14264 太阳能电池用硅单晶 GB/T25076 太阳能级铸造多晶硅块 GB/T29054 3 术语和定义 和 界定的术语和定义适用于本文件 GB/T14264、GB/T25076 GB/T29054 。4 方法原理 采用激光技术构架一个尺寸测量系统 用激光光源作为入射光照射硅晶锭 通过激光探头接收激 , 。 光反射信号 形成激光脉冲波形图 并将数据反馈至计算机软件处理控制系统 通过计算机软件处理控 , , 。 制系统对硅晶锭对角线 倒角 垂直度 边长 长度参数进行模拟与计算 从而得出硅晶锭的尺寸参数 、 、 、 、 , 。 硅晶锭对角线 倒角 垂直度参数由激光测量组件 测量 如图 所示 硅晶锭边长 长度 、 、 A、B、C、D , 1 。 、 参数由激光测量组件 测量 如图 所示 测量硅晶锭长度时 硅晶锭垂直于激光测量组件平 P、L、Q、R , 2 。 , 面运动 当硅晶锭第一端面通过激光测量组件平面时 记录四个侧面的初始位置 当硅晶锭第二端面通 , , , 过激光测量组件平面时 记录四个侧面的终止位置 进而确定硅晶锭
人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。

最新文档

评论

0/150

提交评论