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文档简介
4.4 条形LD,一.条形LD,由来 相对宽面LD:在LD的侧面向无载流子或光子的限制呈现多“光丝”且随电流发生变化。 应用的需要 条形LD:有源区或电极(顶面)的宽度器件的宽度 侧向提供载流子和光子的限制。,2.条形LD的制作 条形电极光刻方法 内部形成窄电流通路,增益引导LD:侧向n差来定现约束,a. 质子轰击,破坏晶格,缺陷增大,形成高阻区,b. 制作 掩模层,形成绝缘带,侧向上对少数载流子扩散限制,c. 内条限制:采用p-n-p晶体管结构来限制电流,d. 制作反型p-n结,二.条形LD中侧向电流扩展和侧向载流子扩散,1. 侧向电流扩展:顶、底电极不对称造成侧向电场分布多数载流子在电场作用下侧向的漂移,后果使窄的有源层内载流子浓度分布不均匀。,2. 侧向载流子扩散 非平衡少数载流子在由中心向两侧形成的浓度梯度作用下侧向扩散。 3.限制电流扩展,载流子扩散 形成侧向高阻区 反向PN结 深锌扩散,三.条形LD的波导结构,根据侧向光子限制机制的不同,分为: 1.折射率波导 在侧向由形成折射率差台阶 波导 BH 掩埋异质结,实数折射率,消光系数(吸收/增益),弱折射率引导激光器,(一)脊波导Laser,(二)肋波导Lasers,强折射率引导Lasers,为了降低Laser的 ,提高P-I特性线性和调制响应速率,必须在内部建立侧向折射率台阶,平面有源层掩埋异质结Lasers,非平面有源层掩埋异质结Lasers,2. 增益波导 利用有源区侧向的复介电常数的虚部的变化,侧向增益差别造成,种类有: 氧化物限制条形结构LD 扩散结区限制条形结构LD 质子轰击条形结构LD,影响LD性能的主要因素 注入电流 自由载流子分布 条形区的热效应 缺点: 由载流子变化造成有效折射率降低 辐射向无源区渗透 相干性差 线宽 20MHz 多模工作,I 主模红移 优点:可靠性高,制造工艺简单,四.条形LD的优点,改善侧向模式,实现侧向基模工作,易于和光纤高效率耦合 注入载流子的侧向限制使器件的阈值电流降低 有源区产生的热量能通过四个无源区散逸 有源区尺寸大小,提高了材料均匀性 缺陷减少,与外界隔离,工作可靠性,条形激光器,限制电流的基本结构,增益导引激光器 (介电常数虚部、负折射率虚部),折射率引导LD (介电常数实部、负折射率实部),氧化物条形,扩散,质子,弱折射率引导LD,强折射率引导LD,平面 有源层,非平面 有源层,五.条形LD的发展方向,提高激光器工作寿命和长期工作可靠性,降低阈值电流。百万小时,25年。 扩展工作
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