![硅片平整度知识介绍.ppt_第1页](http://file.renrendoc.com/FileRoot1/2019-1/8/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d6/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d61.gif)
![硅片平整度知识介绍.ppt_第2页](http://file.renrendoc.com/FileRoot1/2019-1/8/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d6/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d62.gif)
![硅片平整度知识介绍.ppt_第3页](http://file.renrendoc.com/FileRoot1/2019-1/8/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d6/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d63.gif)
![硅片平整度知识介绍.ppt_第4页](http://file.renrendoc.com/FileRoot1/2019-1/8/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d6/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d64.gif)
![硅片平整度知识介绍.ppt_第5页](http://file.renrendoc.com/FileRoot1/2019-1/8/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d6/dab9cbe2-72f4-4331-a0a2-6bd457e557d65.gif)
已阅读5页,还剩18页未读, 继续免费阅读
版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
硅片平整度知识讨论,IQC 2006-4-20,硅片平整度知识讨论,主要内容如下: 1、硅片平整度定义; 2、硅片平整度测量; 3、硅片平整度规范 4、硅片使用中异常举例,平整度SEMI 标准 关键字注释,TTV(Total Thickness Variation),定义:TTV = a b ( SEMI标准中为GBIR ),说明: 1.参考平面 B为Wafer背面,TIR(Total Indicator Reading ),定义:TIR = |a| + |b| ( SEMI标准中为GFLR ),说明: 1.参考平面(bf) G为距上表面所有点截距之和最小的平面;,FPD(Focal Plane Deviation),定义:FPD = Max ( |a| , |b| ) ( SEMI标准中为GFLD ),说明: 1. 如果|a| |b| ,则FPD取正值;反之取负值; 2.参考平面G (bf)为距Wafer上表面所有点截距之和最小的平面;,Warp,定义:Warp=| a | + | b |,说明: 1.参考平面M为距曲面Median plane所有点截距之和最小的平面; 2.不考虑重力影响;,Bow,定义:Bow=1/2 * ( b -f ),说明: 1.参考平面 W 以Wafer上三点确定,此三点组成一等边三角形 2.凸的Wafer Bow值为正,凹的Wafer Bow值为负;,LTV(Local Thickness Variation),定义:LTVi = ai bi i=1,2,3,4,.,n( SEMI标准中为SBIR ),说明: 1.参考平面B为Wafer背面; 2.LTV max= Max( LTV1, LTV2,.,LTVn),STIR(Site Total Indicator Reading),定义:STIRi = | ai |+ | bi | i=1,2,3,4,.,n ( SEMI标准中为SFLR ),说明: 1.参考平面G i通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bf G; 2.G为距单元块上每一点截距最小的平面; 3.STIR max= Max( STIR1, STIR2,., STIR n);,STIR/L- Site(Site Total Indicator Reading),定义:STIRi /L= | ai |+ | bi | i=1,2,3,4,.,n ( SEMI标准中为SFQR ),说明: 1.参考平面bf G i为距单元块上每一点截距最小的平面; 2. STIRi /L max= Max(STIR1 /L , STIR2 /L ,., STIRn /L );,SFPD/L-Site,定义:SFPD i /L= Max( | ai |, | bi | ) i=1,2,3,4,.,n ( SEMI标准中为SFQD ),说明: 1.| a | | b | ,取正值; | a | | b | ,取负值; 2.参考平面bf L i为距单元块上每一点截距最小的平面; 3. SFPD /L max= Max(SFPD 1 /L, SFPD 2 /L,., SFPD n /L),SFPD/G-Site,定义:SFPD i/G = Max( | ai |, | bi | ) i=1,2,3,4,.,n ( SEMI标准中为SFLD ),说明: 1.| a | | b | ,取正值; | a | | b | ,取负值; 2.参考平面G i通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bf G; 3. SFPD /G max= Max(SFPD 1/G , SFPD 2/G ,., SFPD n/G ),SEMI Standard,FQA,Measurement Method,Reference Surface,Reference Plane and Area,Reference Plane and Area,Reference Surface,Site Size and Array,Parameter,Parameter,GBIR,GF3R,GF3D,GFLR,GFLD,SF3R,SF3D,SFLR,SFLD,SFQR,SFQD,SBIR,SBID,Range,Range,Deviation,Range,Deviation,Range,Deviation,Range,Deviation,Range,Deviation,Range,Deviation,Parameter,Parameter,Parameter,Parameter,Parameter,Reference Plane and Area,Reference Plane and Area,S-TIR,S-FPD,S-TIR,S-FPD,S-TIR,S-FPD,LTV,S-FPD,Semi用语,現行 习惯用语,TTV,TIR,FPD,TIR NTV,FPD,Front Ref. Center Focus,3point,Best Fit,Site Best Fit,Back Ref. Center Focus,Site Flatness,Global Flatness,Front,Back,Back,Front,3Point,3Point(全面),Ideal(全面),(最小二乗法) bf Least Squares (全面),Least Squares (全面) (bf),Least Squares (site),Ideal(全面),参考面的选取 (表面 or 背面),参考平面的設定 (bf or 3pt) 又称理想平面,( Flatness Quality Area ),Flatness Tools Principle : Capacitance sensor (ADE),Wafer,t,b,c,a,t=a-b-c,Ring Spacing,局部平整度测量边缘问题,Partials Inactive Site Setup,局部平整度测量边缘问题,Partials Active Site Setup,Green lines indicates partial sites.,两种方式测量结果差异举例- SFQD Trend,Changing to Partial Sites Active Increased SFQD on a sample of Epi wafers Inactive 0.17um Active 0.24um,平整度SEMI 标准,SEMI STANDARD FOR 150mm (SEMI M1 AND M11),常用硅片STIR数值举例,上图为各厂家STIR均值中的MAX、MEAN、MIN比较,工艺过程硅片平整度变化,擦片后、一次/牺牲氧化(900C)后、SIN(700C)后采用光刻PENKIB1设备进行平整度测量,每片的平整度三次测量,结论:数
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2024广告装修工程合同范本
- 2023年机载设备维修服务项目风险分析及评价报告
- 塔机附着施工应急处置措施
- 2024个人借款抵押担保合同
- 2024建筑工程分包协议范本
- 2024全新医院护工服务协议下载
- 2024代理记账服务合同书
- 2023年气体检测监控系统项目风险评价报告
- 2024房屋独家委托出售合同范本
- 2023年色酚类项目安全风险评价报告
- 山东开放大学2024年《资源与运营管理》形成性考核1-4答案
- 摄影基础01简介入门cc
- 2024年广东省发展和改革研究院招聘笔试冲刺题含答案解析
- 采煤机说明书样本
- 2024年电信智慧家庭服务工程师(中级)认定考试复习题库-中(多选题汇总)
- 问题交流报告
- 杜绝习惯性违章保障电力建设安全
- 2024年时政考题及答案(200题)
- 征兵心理测试题大全
- 针灸按摩研究报告-针灸按摩项目可行性研究咨询报告2024年
评论
0/150
提交评论