标准解读
《GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓》是中国国家标准之一，旨在为半导体工业中使用的高纯度三甲基镓提供质量控制和技术要求。该标准详细规定了电子级三甲基镓的技术指标、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。
在技术指标方面，标准明确了产品应达到的纯度级别和其他关键物理化学性质的具体数值范围或限值，包括但不限于金属杂质含量、非金属杂质含量等，以确保其适用于高质量半导体材料的制造过程。此外，还对不同级别的三甲基镓（如6N、7N等级别）进行了区分，并给出了各自对应的规格参数。
对于试验方法，本标准列举了一系列科学准确的方法来检测三甲基镓的各项性能指标，比如使用电感耦合等离子体质谱法测定金属元素含量、气相色谱法分析有机物组成等。这些方法的选择基于它们能够有效且可靠地反映样品真实情况的原则。
关于检验规则，《GB/T 37007-2018》定义了批次的概念，并指出了如何从一个生产批中抽取代表性样本进行测试。同时，也规定了当检验结果不符合规定时应采取的措施，如重新取样复检或者直接判定不合格等。
最后，在包装、标志、运输及贮存环节，《GB/T 37008-2018》提供了具体指导，强调了安全性和环境保护的重要性。例如，要求使用适合长途运输且能防止泄漏的专业容器；所有包装上都必须清晰标注产品名称、制造商信息、危险警告标识等内容；运输过程中要避免剧烈震动和高温环境；储存时则需置于干燥通风处远离火源。通过遵循这些建议，可以最大限度地保证电子级三甲基镓在整个供应链中的品质稳定与安全。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-28 颁布
- 2019-04-01 实施
©正版授权
文档简介
ICS7110020G 86 . .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T370072018 电子级三甲基镓 Electronicgradetrimethylgallium2018-12-28发布 2019-04-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 电子级三甲基镓 GB/T370072018 * 中 国 标 准 出 版 社 出 版 发 行北京市朝阳区和平里西街甲 号 2 (100029) 北京市西城区三里河北街 号 16 (100045) 网址 : 服务热线 :400-168-0010 年 月第一版 2019 1 * 书号 :1550661-61408 版权专有 侵权必究 GB/T370072018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 提出并归口 (SAC/TC203) 。本标准起草单位 江苏南大光电材料股份有限公司 中国电子技术标准化研究院 : 、 。本标准主要起草人 陈化冰 孙明璐 王香 曹可慰 : 、 、 、 。 GB/T370072018 电子级三甲基镓1 范围 本标准规定了三甲基镓的技术要求 试验方法 检验规则 包装 标志 运输 贮存和安全 、 、 、 、 、 、 。 本标准适用于镓镁合金法 三氯化镓法 格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基 、 、 镓 该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等 。 。 分子式 :C3H9Ga 相对分子质量 按 年国际相对原子质量计算 :114.83( 2013 )2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 危险货物包装标志 GB190 工业用化学产品采样安全通则 GB/T3723 液体化工产品采样通则 GB/T6680 电子级水 GB/T11446.1 危险货物运输包装通用技术条件 GB12463 化学品安全标签编写规定 GB15258 常用化学危险品贮存通则 GB15603 洁净厂房设计规范 GB50073 3 技术要求 三甲基镓的技术指标应符合表 要求 1 。 表 1 技术指标 项 目 指 标 三甲基镓 纯度 质量分数 -2 (C3H9Ga) ( )/10 99.99995 银 含量 (Ag) /(g/g) 0.2 金属 铝 含量 (Al) /(g/g) 0.1 元素 砷 含量 ( ) /( / ) 及 As gg 0.5 硼 含量 其他 (B) /(g/g) 0.2 钡 含量 元素 (B
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