特殊气体供应系统.ppt

特殊气体介绍,Pressure unit: （压力单位） psig表压，psia绝对压力 psia=psig+14.7 1bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm 1atm=14.7psi Flow rate unit:（流量单位） sccm毫升/分钟 slpm升/分钟 1slpm=1000sccm S表示标准状态，即：1大气压，20 。 Weight unit:（重量单位） 1Kg=2.2Lbs,压力 / 重量单位,化学品及企业标识 : 化学品名称, 企业名称,企业应急电话等 危险性概述 : 危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等 急救措施 : 皮肤接触，眼睛接触，吸 入等 消防措施 : 危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等 泄露应急处理 : 应急处理和消除方法等 操作处置与储存: 操作注意事项，储存注意事项等 接触控制/个体防护: 最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等 理化特性 : PH值，沸点（），相对蒸气密度（空气=1）等 废弃处置 ：废弃物性质，废弃处置方法，废弃注意事项等 法规信息 ：国内化学品安全管理法规，国际法规等,MSDS物质安全资料表,SMIC 的特殊气体分为四种: 惰性气体 毒性气体 腐蚀性气体 可燃性/毒性气体,气体的定义,在SMIC总共有41种特殊气体: 14种惰性气体 CF4, CHF3, C4F8, C2F6, SF6, CO2, C3F8, 0.5%O2/He, 20%O2/N2, 30%O2/He, 1.2%Kr/Ne, 1.2%He/N2, 100ppmXe/Ar/Ne, 99.5%He/N2 6种毒性气体 SiH4, 1%PH3/N2, 1%PH3/H2, CO, 0.7%AsH3/H2，B2H6 8种腐蚀性气体 ClF3, NH3, SiF4, HCl, Cl2, HBr, 0.9%F2/1.2%Kr/Ne, 0.9%F2/3.5%Ar/Ne 10种可燃性/毒性气体 NO, SiH2Cl2(DCS), N2O, NF3, 10%CH4/Ar, CH3F, CH2F2, C4F6, 4%H2/N2, 5%H2/He, CH4 Sub-Fab (腐蚀性)C5F8, BCl3 和 WF6,气体的定义,气体房包括 CQC(连续质量控制) 房, 纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房. 气体房布置图如附件:,气体房布置图,特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器VMB/VMP, 然后送到机台端给制程用 特使气体供应系统包括 3 部分: 气瓶柜 气体供应的源头, 供应稳定压力的气体 VMB/VMP 气体分配器, 装有阀门来控制每一路气体管道 机台 特殊气体的最终用户,特使气体供应系统,G/C 气瓶柜,VMB/VMP,Tools 机台,1st Floor Gas Room 1楼 气体房,2nd Floor Sub-Fab 2楼 次洁净室,3rd Floor Clean Room 3楼 洁净室,特殊气体供应流程图,气体房,FAB1 特气气瓶柜,气瓶柜流程图(Air Liquid),所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换, 在紧急情况下会自动停止供气. 我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.,气瓶柜,对高压的气体, 我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况. 当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧, 同时也会释放出警报. 当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧.,气瓶柜,对液态的气体, 我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧, 同时也会释放出警报. 当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧.,气瓶柜,FAB2 BSGS大宗特殊气体供应包括: CO2, C2F6, N2O, NF3, SiH4 Y气瓶供应包括: CO2, C2F6, N2O 气瓶组供应包括: NF3,SiH4,FAB2大宗特殊气体供应简介,大宗特殊气体供应-Y 气瓶,大宗特殊气体供应-气瓶组,在SMIC,共有 6 种气体需要安装双套管: SiH4, CO, 1%PH3/N2, 1%PH3/H2, 0.7%AsH3/H2,ClF3 因此类气体比其它的气体更具危险性, 所以我们使用双套管来确保安全. 针对 ClF3这种特气, 因为需要加热, 但真空是绝热的, 所以我们在内外套管之间通入70psi的PN2来传热.,特殊气体 双套管,双层管示意图,通常, 在双套管的中央应保持负压. 我们在双套管的中央安装一块压力表,当压力表的压力上升时,说明内管中的真实气体有泄漏.,特殊气体 双套管,特殊气体供应系统介绍,由于WF6和ClF3这二种气体的腐蚀性特强，如果在新的管路中注入纯度很高的这类气体，它们会破坏管路的内表面。所以，我们先用N2和它们进行混合后，再注入管路中，让新