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文档简介

第三章 金属氧化物半导体场效应晶体管,Metal Oxide Semiconductor Filed Effect Transistor MOSFET,电子科学与技术系 张瑞智,本章内容,1、MOSFET的物理结构、工作原理和类型 2、MOSFET的阈值电压 3、MOSFET的直流特性 4、MOSFET的动态特性 5、小尺寸效应,1、MOSFET的物理结构,MOSFET由一个MOS电容和靠近MOS栅控区域的两个PN结组成。,NMOSFET的三维结构图,栅 氧化层 硅衬底,源区沟道区漏区,body,金属 Al（Al 栅） 重掺杂的多晶硅（硅栅， Polycide（多晶硅/难融金属硅化物）,MOSFET的三维结构简化图,
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