标准解读
《GB/T 28159-2011 电子级磷酸》是一项国家标准,主要规定了用于半导体制造等电子工业领域的高纯度磷酸的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。该标准适用于电子工业中作为清洗剂或蚀刻剂使用的磷酸。
根据这项标准,电子级磷酸按其质量被划分为不同等级,每个等级的磷酸都有明确的技术指标,包括但不限于外观、密度、总酸度、不挥发物含量、金属离子杂质含量(如钠、钾、铁、铜等)以及其他特定杂质的最大允许浓度。这些严格的规定确保了产品能够满足电子行业对材料纯度极高的需求。
对于检测方法,《GB/T 28159-2011 电子级磷酸》也提供了详细的指导,涵盖了物理性质测试(比如密度测定)、化学成分分析(例如通过滴定法测定总酸度)及微量杂质元素的测定技术(采用原子吸收光谱法或其他适当的方法)。所有这些测试都旨在保证产品质量符合规定的标准。
此外,标准还指定了抽样规则,明确了从批量生产的产品中如何正确地选取样品进行质量检查;同时也规范了产品的包装方式,要求使用不会与磷酸发生反应且能有效防止污染的容器来盛装,并且对外包装上的标识信息做出了具体要求,以确保安全运输并便于识别。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2011-12-30 颁布
- 2012-07-01 实施
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文档简介
ICS31030 L90 . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T281592011 电 子 级 磷 酸 Electronicgradephosphoricacid2011-12-30发布 2012-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T281592011 目 次 前言 范围 1 1 规范性引用文件 2 1 产品分类 3 1 要求 4 1 试验方法 5 2 安全提示 5.1 2 一般规定 5.2 3 外观 5.3 3 磷酸含量 5.4 3 易氧化物含量 5.5 3 金属离子含量 5.6 4 阴离子含量 5.7 5 颗粒测定 5.8 9 检验规则 6 9 组批与抽样 6.1 9 检验项目 6.2 9 标志 标签7 、 9 包装 运输 贮存 操作8 、 、 、 9 附录 资料性附录 仪器工作条件 A ( ) 11 附录 资料性附录 离子色谱图 B ( ) 13 GB/T281592011 前 言 本标准是根据 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 。 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会 提出并归口 (TC203) 。 本标准负责起草单位 四川成洪磷化工有限责任公司 江苏江阴市润玛电子材料有限公司 湖北兴 : 、 、发化工集团股份有限公司 苏州电子材料厂有限公司 苏州晶瑞化学有限公司 、 、 。 本标准主要起草人 李全东 肖遥 王文武 戈士勇 何珂 李少平 钟尉 尤家栋 刘兵 : 、 、 、 、 、 、 、 、 。 GB/T281592011 电 子 级 磷 酸1 范围 本标准规定了电子级磷酸的要求 试验方法 检验规则以及标志 包装 运输 贮存等 、 、 、 、 、 。 本标准适用于电子工业用磷酸 。 本标准不涉及使用安全性问题 本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款 及 使 用 范 围 的 , 限制 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 包装储运图示标志 GB/T191 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T601 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T603 化学试剂 磷酸 GB/T12821996 食品添加剂 磷酸 GB31492004 化工产品采样总则 GB/T6678 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T8170 电子级水 GB/T11446.1 化学品安全标签编写规定 GB15258 电子工业洁净厂房设计规范 GB50472 3 产品分类 标准规定的电子级磷酸分为两种规格 为普通电子级磷酸 为高纯电子级磷酸 :E1 ,E2 。4 要求 41 外观 无色 无臭 黏稠状液体 . : 、 、 。42 电子级磷酸应符合表 要求 . 1 。 表 1 要求 指 标 项 目 E1 E2 磷酸 质量分数 (H3PO4) (85%)/(%) 8587 8587 易氧化
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