一汽解放青岛汽车厂工厂技术改造项目.doc

证书编号：国环评证乙字第证书编号：国环评证乙字第 2414 号号 青岛海信宽带多媒体技术有限公司青岛海信宽带多媒体技术有限公司 宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化 项目项目 环境影响报告书简本环境影响报告书简本 建建 设设 单单 位：青岛海信宽带多媒体技术有限公司位：青岛海信宽带多媒体技术有限公司 环评承担单位：青岛华益环保科技有限公司环评承担单位：青岛华益环保科技有限公司 2016 年年 7 月月 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 I 目录 1 建设项目概况.1 1.1 项目背景1 1.2 项目名称、性质2 1.3 建设地点2 2 建设项目周围环境现状.3 2.1 环境功能区划3 2.2 环境现状质量评价3 2.3 评价范围3 3 主要环境敏感保护目标.5 4 现有工程概况.7 4.1 基本组成7 4.2 生产产品8 4.3 主要生产设备8 4.4 原辅材料消耗9 4.5 污染物排放和环保措施11 5 扩建项目内容及规模.13 5.1 建设内容13 5.2 产品方案14 5.3 原辅材料消耗15 5.4 设备概况15 4.3 项目产业政策18 6 扩建项目工程分析及环境影响评价.19 6.1 生产工艺19 6.2 污染防治措施33 6.3 环境影响预测与评价.34 7 建设项目环境保护措施分析.35 7.1 污染防治措施35 7.2 环保措施技术经济分析41 8 环境管理与环境监测计划.43 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 II 8.1 环境监测计划43 8.2 排放口规范化管理43 8.3 监测资料的保存与建挡44 8.4 建设项目环境保护“三同时”验收一览表.45 9 公众参与.47 9.1 公众参与的作用47 9.2 公众参与的总体原则47 9.3 公众参与的方式47 9.4 问卷调查表内容50 9.5 问卷调查对象的构成及有效性53 9.6 问卷调查结果与讨论53 9.7 公众参与调查结论55 10 建设项目环境影响评价结论.56 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 1 1 建设项目概况 1.1 项目背景 青岛海信宽带多媒体技术有限公司成立于 2002 年，建成后在国内率先开展了的小 型化封装高速光有源器件、光收发模块、光电混合集成技术等关键技术研发。目前公 司的高速率光收发模块、基于光电混合集成技术的并行光互连等光通信产品已达到国 际先进甚至国际领先的技术水平，成为 ALCATEL、MOTOROLA、华为、中兴等国内 外知名企业的主流供应商。 公司位于青岛经济技术开发区前湾港路 218 号青岛海信信息产业园内，租赁海信 集团有限公司 1#楼 1 层、2 层生产厂房从事光通信、光电子器件产品的生产。其中， 光通信产品种类包括年产 600 万件 OSA（光组件） 、700 万件光模块、600 万件 TO（激光器、探测器等总称） ，以及年产 300 万件 ONU-BOX 产品（光纤信号收发装 置） ；光电子器件产品主要是年产 1347 万只激光器芯片。现有工程产品及生产线均已 按要求进行环评并通过环保部门审批、验收。 为进一步提高光电子芯片与器件生产水平、扩大生产规模、增强企业自身的市场 竞争力，青岛海信宽带多媒体技术有限公司拟在 1#楼内投资建设宽带网络核心光电子宽带网络核心光电子 芯片与高速光模块产业化项目芯片与高速光模块产业化项目。项目总投资 2 亿人民币，在保持现有产品及生产能力 不变的情况下，在 1#楼 1 层、2 层共引进电子束曝光机、高精度自动贴片机、全自动 高精度光路耦合机、25G 眼图仪、28G 误码仪等主要生产及辅助设备，从事晶圆、激 光器芯片、25G/40G/100G 高速光模块的生产，年设计生产能力分别为 1200 片、720 万 片、6.6 万件。 根据中华人民共和国环境保护法 、 中华人民共和国环境影响评价法 、国务院 建设项目环境保护管理条例和国家有关建设项目环境保护管理法规的相关规定以 及青岛市环保局黄岛分局的要求，本项目需编制环境影响报告书。为此，青岛海信宽 带多媒体技术有限公司委托青岛华益环保科技有限公司编制该项目的环境影响报告书。 我院在接受委托后，立即组织有关技术人员对工程厂址及其周围环境进行了详尽的实 地勘查和相关资料的收集、核实与分析工作，在此基础上，按照环境影响评价技术 导则所规定的原则、方法、内容及要求，编制了青岛海信宽带多媒体技术有限公 司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书 。 1.2 项目名称、性质项目名称、性质 项目名称：项目名称：宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 2 建设单位建设单位：青岛海信宽带多媒体技术有限公司 建设性质：建设性质：扩建项目 1.3 建设地点建设地点 扩建项目位于青岛经济技术开发区前湾港路 218 号青岛海信信息产业园内。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 3 2 建设项目周围环境现状 2.1 环境功能区划 项目所在区域的环境空气划为二类功能区，环境空气质量执行 GB3095-2012环 境空气质量标准中的二级标准。 项目所在区域的声环境划为 3 类功能区。项目区域声环境质量执行 GB3096- 2008声环境质量标准中的 3 类标准。 项目所在区域地下水执行地下水质量标准 （GB14848-93）类标准。 2.2 环境现状质量评价 1、大气环境 评价区域监测点位 PM10现状监测值不能满足二级标准要求，其中颗粒物超标是 当前青岛区域大气环境普遍问题，超标可能受建设施工扬尘、机动车尾气及扬尘、区 域企业排污等综合原因影响。 环境空气中 SO2、NO2小时浓度和日均浓度均满足环境空气质量标准 （GB3095-2012）中的二级标准；HCl、砷化物、硫酸雾、氯气、氟化物满足工业企 业设计卫生标准（TJ36-79）中居住区大气中有害物质的最高允许浓度。 2、地下水环境质量 区域地下水中监测点位 pH、总硬度、高锰酸盐指数、氨氮、亚硝酸盐、硝酸盐、 氟化物、硫酸盐、氯化物、砷等 10 项指标均可满足地下水质量标准（GB/T 14848-93）中的级标准。 3、噪声 项目用地各厂界昼、夜间噪声值均满足声环境质量标准 （GB3096-2008）中 3 类标准限值要求。 2.3 评价范围 根据建设项目环境影响评价的特点和环境影响评价技术导则，结合拟建工程周围 的自然环境特征，本次环境影响评价的范围见表 2-1。 表 2-1 拟建工程环境影响评价范围一览表 序号环境要素评 价 范 围 1 地表水 污水排放口的受纳污水管道接口处，并对废水排入市政管网以及污水处理厂接纳 本项目污水的可行性进行分析。 2大气以项目建设地点为中心，各向四周外扩 2.5km 的区域为评价范围。 3噪声厂界外 1m 处。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 4 4风险以拟建厂址为中心向四周延伸 3km。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 5 3 主要环境敏感保护目标 本项目位于青岛经济技术开发区前湾港路 218 号青岛海信信息产业园，评价范围 内主要环境保护目标见下表。 表 3-1 环境保护目标及保护级别表 序号环境保护目标 相对项目 方位 与项目厂界 的距离(m) 敏感目标的性 质 敏感点规 模 评价专题 1港头李家村北侧435居住1348 人 2港头刘家村北侧640居住610 人 3辛安村北侧2232居住2800 人 4青岛开发区第七中学北侧1140学校3800 人 5星河嘉园北侧2066居住1800 人 6港头藏家村北侧1318居住1400 人 7世纪新村北侧2215居住1500 人 8台头村北侧1210居住880 人 9薛家泊子社区北侧1948居住1655 人 10蜊叉泊村西北886居住3000 人 11德利沟村西北1427居住360 人 12东小庄村西北2170居住1067 人 13牛头庙村西南1314居住194 人 14荒里村西南2431居住1338 人 15扒山村西南2045居住2170 人 16天海花园东北830居住1900 人 17港头陈村东北500居住1430 人 18滨海学院东南1873学校5000 人 19景润花园南侧1320居住1500 人 20齐长城花园南侧1360居住2200 人 21于家河村东南1510居住1200 人 环境空气 2 类 环境风险 22东南辛安村西北2860居住2488 人 23西泊子村北侧2769居住600 人 24李家泊子村北侧2867居住1600 人 25乔沟村西南2507居住1000 人 26岔河村南侧2835居住900 人 27江山路西小区南侧2773居住2018 人 28武家村东南2750居住1500 人 环境风险 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 6 项目的主要环境保护与控制目标是：严格控制生产废水排放，确保污水达标排放； 严格控制大气污染物排放量，保护工程所在区域的大气环境质量；采取有效措施控制 噪声源，确保厂界噪声达标。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 7 4 现有工程概况 4.1 项目概况项目概况 青岛海信宽带多媒体技术有限公司位于青岛经济技术开发区前湾港路 218 号青岛 海信信息产业园内 1#楼内，主要从事光通信、光电子器件产品的生产。光通信产品种 类包括 600 万件 OSA（光组件） 、700 万件光模块、600 万件 TO（激光器、探测器等 总称） ，以及 300 万件 ONU-BOX 产品（光纤信号收发装置） ；光电子器件产品为 1347 万只激光器芯片。现有工程产品及生产线均已按要求进行环评并通过环保部门审批、 验收，具体环评审批、验收情况见表 4.1-1。 表 4.1-1 现有工程环评执行情况 序号项目名称环评情况验收情况备注 1光通信产品生产线建设项目 2014 年 2 月编制了环境影 响报告表，并通过环保部 门审批，批复文号青开环 审201440 号。 2014 年通过验。 2光电子器件扩建工程建设项目 2014 年 11 月编制了环境 影响报告书，并通过环保 部门审批，批复文号青环 黄审2014589 号。 2016 年 3 月通过验 收，验收文号青环黄 验201651 号。 北厂区 现有工程组成情况如下所述。 4.1.1 现有工程组成 青岛海信信息产业园 1#楼位于园区东侧，为二层（局部四层）厂房。现有工程主 要租赁 1 层、2 层、局部 4 层部分区域，作为生产和辅助用房、办公用房，租赁总建 筑面积 10535.22m2，其中厂房面积 5500m2，办公区面积 2200m2，辅助生产及公共区 面积 2835.22 m2。1#楼内其他区域主要作为海信集团旗下通讯公司生产区、库房和办 公区，不属于现有工程评价范围之内。 现有工程基本构成见表 4.1-2，租赁二层生产区平面布置图见图 2.1-1。 表 4.1-2 现有工程基本构成一览表 公司名称青岛海信宽带多媒体技术有限公司 公司位置青岛经济技术开发区前湾港路 218 号青岛海信信息产业园内 法人代表黄卫平联系人及电话马经理现有工程主要租赁海信信息产业园 1#楼 1 层、2 层及 4 层部分区域，作为生产区、 办公区，以及辅助生产及公共区等。 主体工程 生产区 激光器芯片生产位于 1 层厂房内，内设芯片生长区、光刻区、蚀刻 区、镀金区、划片裂片区、检测区等。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 8 光通信产品生产位于 2 层厂房内，共设光模块一车间、OSA 二车 间、BOX 三车间、TO 四车间等 4 个车间。其中四车间 TO 产品作 为光组件 OSA 二车间生产用组件，二车间 OSA 作为光模块一车间 生产用组件，一车间光模块部分作为产品，其余作为 BOX 三车间 组件。 办公区位于 2 层生产厂房东侧，以及四层局部用房内。 辅助生产 及公共区 1 层厂房内新设空调机房 2 处、超纯水制备站、热交换站、配电室、 特气间和纯化间各 1 处，其中特气间主要作为特种气体暂存间，纯 化间主要对氮气站、氢气站输送气体进行处理。 2 层厂房西侧配设配电室、空压机房、仪表室等辅助工程，职工换 衣清洗间和更衣室等公共区。 在厂房外氮气站东侧设置 1 处氢气站。 供气系统 空压机房内设 1 台活塞式空压机，型号：ET15100，排气压力为 0.8MPa，排气量 1.67m3/min，供给气体动力设备使用。 给水系统供水：自来水，依托园区自来水管网供给，生产不使用纯水。 排水系统 项目所在区域市政污水管网配套完善，废水经园区污水管网，进入 市政污水管网输送至镰湾河水质净化厂。 公用工程 供电系统车间内设有 1 处配电室。 生产过程中使用的一般物质（InP 基片、研磨料、芯片产品等）存放在 1#厂房 1 层 的生产车间内。 腐蚀性化学品（硫酸、氢氟酸、氢溴酸等） 、有机化学品（丙酮等）暂存于园区东北 侧化学品库，包装形式为箱装，每箱内放有 12 瓶 200ml 溶液，生产使用过程中， 采用周转车将单瓶化学品溶液转运至生产车间操作工作台位处。 易燃液体（三甲基铝 TMAl、三甲基镓 TMGa、三甲基铟 TMIn 等） 、特种气体（砷 化氢 AsH3、磷化氢 PH3、硅烷 SiH4、六氟化硫 SF6、三氟甲烷 CHF3、三氯化硼 BCl3、笑气 N2O 等）均采用不锈钢瓶，其中易燃液体进场后直接安装至 MOCVD 设 备源供给系统内，各类特气均放置于特气间符合各自规范要求的特气柜内，每个气 体特气柜内均设有管道输送系统，直接将特种气体输送用气设备内。 贮运工程 大宗气体中氮气、氢气分别由现有氮气站、氢气站供给，氮气和氢气首先均经管道 输送至纯化间，纯化后供生产使用。 供电、给排水引自园区电力管网、给水管网，污水排入园区污水管网。 职工就餐职工就餐依托园区现有职工食堂。 依托工程 供气系统 氮气、氢气分别由园区氮气站、供氢站供给，特种气体由特气间储 气瓶供给，压缩天然气由现有工程空压站提供。 焊接烟尘：主要来源于产品组装过程中激光焊接、电阻焊及手工焊， 企业在焊接工序上方设集气系统，焊接烟尘经收集、风机引风至楼 顶，通过 1 根 15m 高排气筒排放。 环保工程废气 胶类固化挥发有机废气：生产过程中固化工序所用黄胶和 UV 胶中 含有少量丙酮、乙醛等有机废气，挥发至车间内，经车间通风换气 于室外组织排放。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 9 MOCVD 外延尾气：外延反应在密闭设备内进行，尾气首先经设备 自带过滤器预处理后，通过设备废气管道通过风机引风至干法吸附 尾气处理装置（利用装置内纳米多孔材料填充化学药液化学反应净 化）+电加热燃烧式尾气处理装置净化处理后，于 1 支 15m 高排气 筒排放。 PECVD 尾气和清洁尾气、RIE 刻蚀 SiO2和光栅尾气：该部分产污 工序均在密闭设备内进行，反应尾气经设备废气管道经风机引风引 至电加热燃烧水洗式净化装置净化处理后，于 1 支 25m 高排气筒 排放。 酸性废气：经通风橱通风系统收集、酸雾净化塔净化处理后于 15m 高排气筒排放。 涂胶烘干有机废气和丙酮去胶挥发废气：经工位上方集气罩和通风 橱通风系统收集、活性炭净化装置净化处理后于 15m 高排气筒排 放。 废水 污水产生量约 8088t/a，主要包括超声波清洗废水、清洗机清洗废 水、二次清洗外排水、超纯水制备站外排浓水和反冲洗用水，以及 职工生活污水，其中生活污水经园区污水处理站处理后，与超纯水 制备站外排浓水和反冲洗用水一同由园区东排污口排入市政管网， 经管网输送至镰湾河水质净化厂。 噪声选用低噪声设备，对污染源采取消声、吸声、隔声、减震等措施。 固废 一般工业固废回收综合利用；危险废物委托鑫广绿环再生资源股份 有限公司、青岛新天地固体废物综合处置有限公司进行处理；生活 垃圾由环卫部门收集定期运往垃圾填埋场处理。 劳动定员 及工作制度 项目劳动定员 1250 人，其中：管理人员 150 人、研发人员 150 人、生产人员 950 人。 年工作日 300 天，生产人员 2 班制，每班 8 小时，其他人员 1 班制。 运行情况项目已投产，目前处于正常运行过程中。 4.1.2 产品方案和生产规模 现有工程产品主要为光电子器件和光通信产品，其中光电子器件为激光器芯片， 年生产能力为 1347 万颗，其中自用 100 万颗，外售 1247 万颗。 光通信产品主要包括 TO（激光器、探测器等总称） 、OSA（光组件） 、光模块和 BOX（光纤信号收发装置） 。其中，TO 产量为 600 万件/年（其中 PDTO 500 万件/年， LDTO 100 万件/年） ，全部作为 OSA 原料；OSA 产量为 600 万件/年，全部作为光模块 原料；光模块产量为 700 万件/年，400 万件/年直接外售，300 万件/年 BOX 作为原料； BOX 产量为 300 万件/年，全部外售。具体产品方案见表 4.1-3。产品图片见图 4.1-2。 表 4.1-3 项目产品方案一览表 车间产品产量去向 1 层激光器芯片1347 万颗自用 100 万颗，外售 1247 万颗 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 10 PDTO 探测器500 万件 四车间TO LDTO 激光器100 万件 作为 OSA 组件 二车间OSA（光组件）600 万件作为光模块组件 400 万件直接外售 一车间光模块 300 万件作为光模块原料 2 层 三车间 BOX（光纤信号收发装置） 300 万件全部外售 TO 光组件 光模块 BOX 激光器芯片 图 4.1-2 现有工程产品图片 4.2 主要生产设备主要生产设备 光通信产品组装使用的设备见表 4.2-1；激光器芯片生产使用的设备见表 4.2-2。 表 4.2-1 光通信产品组装使用的设备一览表 序号设备名称规格型号数量用途 一生产工艺设备生产工艺设备 1激光焊接机HWLW-025a 11 焊接 2RXAA 机CAAA-2012-03 12 耦合点胶固化 3条码打印机ZEBRA 110Xi4 25 打印标签条码 4自动封焊机LD-3000 4 电阻焊封装 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 11 序号设备名称规格型号数量用途 5精密高温箱IPO-125 8 粘接后固化 6分板机r-s168st 1 电路板分板 7老化箱 PV331 9 产品老化试验 8小型环境试验箱 CTU-006/01 15 高低温测试 9温循箱KESS-CS（408L） 17 温循测试 1045 倍显微镜MZS0745 60 观察产品 11光纤端面检查仪 FK5200 40 检查端面 12超声波清洗机定制 1 二车间零件清洗 13清洗机三星 2 一车间尾塞清洗 二二辅助设备辅助设备 14空压机ET15100 1 供压缩空气 15风机/ 1 焊接烟尘引风 16氮气站/ 1 / 表 4.2-2 激光器芯片产品生产使用的设备一览表 序号序号对应生产工序或用途对应生产工序或用途设备名称设备名称数量数量 1MOCVD 工艺金属有机化合物气相外延设备 MOCVD11 台 2PECVD 工艺化学气相沉积设备 PECVD1 台 3烘箱4 台 4 产品烘干去湿 甩干机1 台 5涂胶甩胶机1 台 6酸洗硫酸工作台3 台 7显影显影工作台2 台 8氢溴酸工作台2 台 9 化学腐蚀 氢氟酸工作台(酸)1 台 10剥胶、有机工作台(丙酮)3 台 11等离子去胶等离子去胶机1 台 12刻蚀 SiO2、光栅RIE 刻蚀机3 台 13光刻机1 台 14 曝光 电子束曝光机1 台 15蒸发镀金钛铂金蒸发器1 台 16电子束镀电子束镀金设备1 台 17水洗清洗台1 台 18芯片背部磨片磨片机1 台 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 12 19芯片背部抛光抛光机2 台 20自动划片机1 台 21自动裂片机1 台 22 产品分割 自动排 Bar 机1 台 23产品分选自动挑料系统1 台 24真空薄膜镀膜设备1 台 25 镀银铝膜 薄膜反射率透射率测量仪器1 台 26贴膜贴膜机1 台 27X 射线机1 台 28探针台阶仪1 台 29测沉底厚度设备1 台 30显微镜2 台 31显微镜 1500 倍1 台 32普通显微镜 45 倍2 台 33测膜计(Filmetrics)1 台 34Bar 条测试机2 台 35光谱仪2 台 36原子力显微镜1 台 37电阻测量仪1 台 38椭偏仪1 台 39扫面电子显微镜1 台 40霍尔测量仪1 台 41单芯片测试分选设备1 台 42 检验 1300 摄氏度高温箱1 台 43特气气瓶柜9 台 44特气分流控制箱/盘9 台 45特气管道9 套 46 / 特气监控系统1 套 47/氢气、氮气纯化器2 套 49厂房洁净、通风洁净厂房通风系统2 套 50纯水制备超纯水制备站，制备能力为 1.0t/d1 套 4.3 原辅材料消耗 现有工程 TO、OSA（光组件） 、光模块和 BOX（光纤信号收发装置）四种产品生 产所用零部件组成、来源及年消耗情况见表 4.3-1，原辅材料成分及用量情况见表 4.3-2。激光器芯片生产所用原辅材料见表 4.3-3。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 13 表 4.3-1 各产品零部件组成、用量及来源一览表 产品名称零部件名称 年用量（万件） 来源备注 电容 CAP600外购，厂内直接进行组装 用于 LDTO 和 PDTO PD 晶元500外购，厂内直接进行组装用于 PDTO 电容器 Capacitor1000外购，厂内直接进行组装用于 PDTO 探测器 TIA500外购，厂内直接进行组装用于 PDTO 集流管 Header600外购，厂内直接进行组装 用于 LDTO 和 PDTO LD 晶元100外购，厂内直接进行组装用于 LDTO 氮化铝模块 ALN submout 100外购，厂内直接进行组装用于 LDTO MPD 激光器芯 片 100外购，厂内直接进行组装用于 LDTO TO 光储存模块 MPD submount 100外购，厂内直接进行组装用于 LDTO PDTO 探测器600 500 万件/年由四车间生产， 100 万件/年外购，厂内直接 进行组装 / LDTO 激光器600 100 万件/年由四车间生产， 500 万件/年外购，厂内直接 进行组装 / 0滤光片600外购，厂内直接进行组装/ 调节套筒600外购，厂内直接进行组装/ 插针组件600外购，厂内直接进行组装/ 45滤光片600外购，厂内直接进行组装/ 圆方管体600外购，厂内直接进行组装/ 隔离器600外购，厂内直接进行组装/ 光组件 （OSA） 封焊管体600外购，厂内直接进行组装/ 电路组成单元 （PCBA） 700外购，厂内直接进行组装/ 导电泡棉700外购，厂内直接进行组装/ 插针组件700外购，厂内直接进行组装/ 卡爪700外购，厂内直接进行组装/ 支架700外购，厂内直接进行组装/ 光模块 外壳700外购，厂内直接进行组装/ 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 14 尾塞700外购，厂内直接进行组装/ 标签700外购，厂内直接进行组装/ 光组件 （OSA） 700 600 万件/年由二车间生产， 100 万件/年外购，厂内直接 进行组装 / 光模块300 一车间生产，厂内直接进行 组装 / 前面板组件300外购，厂内直接进行组装/ 垫脚300外购，厂内直接进行组装/ 上壳300外购，厂内直接进行组装/ 下壳300外购，厂内直接进行组装/ 光纤盖板300外购，厂内直接进行组装/ 电源开关帽300外购，厂内直接进行组装/ BOX 螺钉300外购，厂内直接进行组装/ 表 4.3-2 辅助材料成分及用量情况表 序号名称 年消耗量 （t/a） 最大储量 （t） 储存 场所 型号主要成分备注 1氦气30010 独立储存 场所 / 2氮气0.3管道输送氮气站/ 3清洗剂0.20.015仓库 恩第- 165、安 利碟新 表面活性剂 安利碟新为家 庭用洗涤剂， 恩第-165 成分 与安利碟新成 分类似 4焊丝2.40.08仓库/无铅焊丝/ 5UV 胶0.036200 管车间内冰柜AA50T 环氧丙烯酸 酯、聚合单 体，以及少 量酮类、醇 类、酯类溶 剂 16g/管 6黑胶0.049200 管车间内冰柜EP625 环氧树脂、 碳黑、无机 填料 16g/管 7黄胶0.09910 盒调胶工位8371-LC环氧树脂3kg/盒 表 4.3-3 激光器芯片生产使用原辅材料消耗情况一览表 单位：t/a 序号名称 储存时 物理形态 纯度 消耗量 （t/a） 车间最大 储存量 园区最大 储存量 包装 形式 储存场所 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 15 1 InP 基片 固态/3000 个1000 个/片盒车间氮气柜 2 AsH3（砷化氢） 液态100% 50kg54.4kg /钢瓶特气间特气柜 3 PH3（磷化氢） 液态100% 45kg 54.4kg/钢瓶特气间特气柜 4 SiH4（硅烷） 液态10% 55kg 54.4kg/钢瓶特气间特气柜 5 TMAl （三甲基铝） 液态 / 20kg 0.4kg/钢瓶MOCVD 设备内 6 TMGa （三甲基镓） 液态 / 18kg 0.4kg/钢瓶MOCVD 设备内 7 TMIn （三甲基铟） 固态 / 25 kg 0.4kg/钢瓶MOCVD 设备内 8浓硫酸 H2SO4液态98%270kg0.36kg 4.5kg玻璃瓶化学试剂间 9氢氟酸 HF液态40%150kg0.21kg2.5kg塑料瓶化学试剂间 10氢溴酸 HBr液态47%225kg0.3kg3.5kg玻璃瓶化学试剂间 11丙酮 CH3COCH3液态/120kg0.07kg0.8kg玻璃瓶化学试剂间 12光刻胶液态/400L2L40L玻璃瓶冰箱 13显影剂液态/700L2L40L塑料瓶化学试剂间 14氢气 H2气态/30t管道输送200kg储瓶氢气站 15氯气 Cl2液态100%7.5kg27.2kg/钢瓶特气间特气柜 16六氟化硫 SF6液态100%1kg27.2kg/钢瓶特气间特气柜 17纯氧 O2气态100%4kg27.2kg/钢瓶特气间气瓶架 18三氯化硼 BCl3液态100%7.5 kg27.2kg/钢瓶特气间特气柜 19钛靶材固态99.999%1.5kg500g/真空包装车间氮气柜 20铂靶材固态99.999%1.5kg500g/真空包装车间氮气柜 21金靶材固态99.999%1.5kg500g/真空包装车间氮气柜 22Al2O3粉末99.999%50kg500g/袋装车间内 23热熔腊固态/50kg5kg/普通包装化学试剂间 24液氮液态/3000t管道输送500kg液氮瓶氮气站 25三氟甲烷 CHF3液态100%2kg27.2kg/钢瓶气瓶架 26二乙基锌液态/2kg0.4kg/钢瓶MOCVD 设备内 27笑气 N2O液态100%2kg27.2kg/钢瓶特气间特气柜 4.4 污染物排放和环保措施 1、废水、废水 项目营运过程中产生的废水主要包括激光器芯片生产过程中产生的清洗废水、净 化装置外排水、超纯水制备站外排浓水和反冲洗外排水，光通信器件生产过程中产生 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 16 的超声波清洗与清洗机清洗废水，以及职工生活污水。各部分废水产排情况分析如下： 1、溶液配制水溶液配制水 溶液配制水排放量按用水量的 95%计，约 1.71t/a，随溶液一同作为危废处置。 2、激光器芯片清洗废水、激光器芯片清洗废水 清洗分两次进行，废水产生量按用水量的 95%计，则一次、二次清洗废水产生分 别 2.28t/a、31.4t/a。根据建设单位提供资料，晶片表面附着酸液主要进入一次清洗废 水中，因此，企业拟将一次清洗废水与废酸液一同作为危废处理； 二次清洗水中离子浓度不能超过 10-6mg/L。同时晶片经一次清洗后，表面清洁， 二次水洗后外排水属于清净下水。 3、净化装置外排水、净化装置外排水 酸雾净化塔和电加热燃烧水洗式净化装置外排水按补充水量的 85%计，则排放量 约 30.6t/a，主要污染物为 pH，以及少量的 F-、Cl-、SS、金属离子等，作为危废与废 溶液一同委托处置。 4、超纯水制备站外排浓水和反冲洗外排水、超纯水制备站外排浓水和反冲洗外排水 纯水制备站出水率约 25%，年制备用水量约 82.7t/a，外排浓水量约 111.6t/a；纯水 制备装置在运行过程中需定期冲洗，冲洗废水产生量按其冲洗用水量的 85%计，则产 生量约 51t/a。污染物主要为少量 SS、盐类等，排入市政管网。 5、超声波清洗与清洗机清洗废水、超声波清洗与清洗机清洗废水 本项目清洗分为超声波清洗与清洗机清洗 2 种。其中，超声波清洗光通信器件二车 间的调节套筒、圆方管体、封焊管体等金属件，每天约使用水量为 66L，每年按 300 天计，年使用水量为 20t/a；清洗机清洗光通信器件一车间的尾塞，每次清洗 3000 件尾 塞，清洗 1 次，漂洗 3 次，每桶用水量为 50L，年使用尾塞量 700 万件，则年用水量 约为 467t/a。 清洗废水排放量按使用量的 90%计，超声波清洗废水排放量为 18t/a，清洗机清洗 废水排放量为 420t/a，清洗过程中添加少量清洗剂，清洗剂成分主要为表面活性剂。 6、职工生活污水职工生活污水 生活用水按照员工每人每班用水 25L，全年工作 300 天计算，项目劳动定员 1250 人，则全年生活用水量约 9375t/a。生活污水量按生活用水量的 85%计算，则生活污水 量为 7968.8t/a，主要污染因子为 CODCr、BOD5、SS、氨氮，排入园区 1#生活污水处 理站，处理后排入市政管网。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 17 7、排放去向及总排口排放达标情况、排放去向及总排口排放达标情况 海信信息产业园在园区东门和北门分别设有 1 处排污口，在园区内东南侧和北侧 各设 1 处生活污水处理站，编号分别为 1#和 2#，污水处理站均采用生化处理，设计处 理能力均为 150t/d，目前处理负荷分别达 75%、60%。 现有工程生活污水排入 1#生活污水处理站，处理后与清洗废水一同经园区东门排 污口排至市政管网。园区于 2016 年 6 月 13 日委托监测单位对东排放口废水水质进行 取样监测，监测采样两次，监测结果表明东排口所排废水（含本企业现有工程外排水） CODCr54mg/L、SS69mg/L、氨氮0.2mg/L，东排口混合废水中的污染因子排放浓度 均满足污水排入城镇下水道水质标准 （CJ343-2010）中 B 等级，经市政管网输送至 镰湾河水质净化厂。 现有工程厂区废水污染物排量详见表 4.4-1。 表 4.4-1 现有厂区废水排放情况一览表 废水种类排放量 t/a主要污染物污染物排放量 t/a CODCr0.67 BOD50.13 氨氮0.017 生产废水 和生活污水 0.86008 万 SS0.66 2、废气、废气 现有工程废气主要来自于激光器芯片生产过程中产生的 MOCVD 一次四次外延 尾气、PECVD 尾气和清洁尾气，涂胶烘干废气、RIE 刻蚀 SiO2尾气和光栅尾气，氢氟 酸腐蚀挥发 HF、氢溴酸腐蚀挥发 HBr 以及与晶片表面 InP 反应生成的 PH3，丙酮挥发 过程中产生的有机废气等，以及光通信器件生产产生的焊接烟尘，以及粘接、固化过 程中使用胶类产生的有机废气。 青岛经济技术开发区分局于 2016 年 3 月、2014 年 10 月分别对激光器芯片、光通 信器件生产线进行验收监测，监测结果表明废气均能实现达标排放，同时评价期间对 废气排放情况进行现场实测。具体废气排放情况如下所述： 1、MOCVD 一次一次四次外延尾气四次外延尾气 MOCVD 一次四次外延尾气中主要污染因子包括颗粒物、AsH3、PH3。各外延废 气均设备自带双重粒子过滤器净化处理后，通过风机引风至干法吸附尾气处理装置+电 加热燃烧式净化装置，净化处理后于 1 支 15m 高排气筒排放。过滤器对颗粒物的净化 效率达 90%以上，干法吸附尾气处理装置对颗粒物、AsH3、PH3净化效率高达 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 18 99.99995%以上，电加热燃烧式净化装置对尾气中携带的大量 H2和反应生成的少量 CH4进行燃烧净化，确保外排废气安全、不易燃，该净化效率达 99%以上。 光电子器件扩建工程项目验收监测（调查）报告 （青环院验监2016第 011 号） 对该排气筒废气中颗粒物进行验收监测，具体监测结果见下表 2.5-1。 AsH3、PH3国内目前暂无相关排放标准和监测方法，无法对其进行现场实测。本 次评价引用光电子器件扩建工程项目环境影响报告书 （2014 年 11 编制）以及参照 国外相关标准进行评价。具体源强见下表 4.4-2。 表 4.4-2 MOCVD 外延废气有组织排放情况 排放情况 污染源 名称 主要污染 因子 排放浓度 （mg/m3） 排放速率 （kg/h） 环保措施来源 颗粒物4.525.330.003950.00648 光电子器件扩建工程项目验 收监测（调查）报告（青环 院验监2016第 011 号） AsH30.0000171.410-7 MOCVD 外延尾气 PH30.000181.510-7 过滤器+干法 吸附尾气处 理装置+电加 热燃烧式净 化装置+15m 高排气筒 引用光电子器件扩建工程项 目环境影响报告书（2014 年 11 编制） 由上表可知，外延废气经净化处理后，废气中颗粒物排放浓度满足山东省区域 性大气污染物综合排放标准 （DB37/2376-2013）中表 2 重点控制区大气污染物排放浓 度限值；颗粒物排放速率满足大气污染物综合排放标准 （GB16297-1996）中的二 级标准。 AsH3排放浓度参照执行工业企业设计卫生标准 （TJ36-79）居住区日平均容许 浓度限值；排放速率根据制定地方大气污染物排放标准的技术方法 （GB/T13201- 91）计算，经对比分析，AsH3能够实现达标排放；PH3排放浓度和排放速率满足荷 兰排放导则 （NER）中标准限值要求。 2、PECVD、刻蚀尾气、刻蚀尾气 PECVD 尾气污染因子主要为 SiH4、N2O，PECVD 腔体内壁清洁尾气为 SF6、SiF4、SO2、F2；RIE 刻蚀 SiO2尾气 SiF4、CHF3；RIE 刻蚀光栅尾气污染因子为 BCl3、Cl2、CHF3、颗粒物（成分 InClx、GaClx、Aslx等）。废气均经由风机引风至电 加热燃烧水洗式净化装置分解、吸收处理后，于 1 支 25m 高排气筒排放。 尾气废气在电加热燃烧过程中，分解或与通入空气中氧气发生氧化反应生成其他 物质，包括 SiH4具有自燃性，燃烧分解生成 SiO2和水蒸气，SiF4燃烧生成 SiO2、H2O 和 HF；SF6燃烧分解为 SO2和 HF；N2O 具有不稳定性，在高温下氧化成 NO2；CHF3转化为 CO2、H2O 和 HF；BCl3转化为 HCl 和硼酸。电加热分解效率达 99%。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 19 分解废气经冷却段冷却后，进入水洗段水箱内，水箱中盛有氢氧化钠溶液，废气 中 HCl、HF、BCl3、SiO2、SO2、F2、Cl2、氯化铟/镓/砷等颗粒物物质均与氢氧化钠发 生反应，被吸收或生成沉淀物质，水洗对该部分因子的净化效率达 90%。 光电子器件扩建工程项目验收监测（调查）报告 （青环院验监2016第 011 号） 对该排气筒废气中颗粒物、HCl、SO2、Cl2进行验收监测，具体监测结果见下表 2.5- 2。 N2O 排放量较少且国内、国外均无相关评价标准，因此本次评价不再对其进行分 析。 SiH4、BCl3国内目前暂无相关排放标准和监测方法，无法对其进行现场实测。本 次评价引用光电子器件扩建工程项目环境影响报告书 （2014 年 11 编制）以及参照 国外相关标准进行评价。具体源强见下表 4.4-3。 表 4.4-3 PECVD、刻蚀尾气有组织排放情况 排放情况 污染源 名称 主要污染 因子 排放浓度 （mg/m3） 排放速率（kg/h） 环保措施来源 氟化物0.160.317.4810-41.0510-3 颗粒物4.105.720.01330.0184 SO2120.002890.00782 HCl未检出1.0未检出0.0034 Cl2未检出0.48未检出0.00163 光电子器件扩建工程项目验 收监测（调查）报告（青环 院验监2016第 011 号） SiH40.223.3310-5 PECVD、 刻蚀尾气 BCl30.821.2310-4 电加热燃 烧水洗式 净化装置 +15m 高排 气筒 引用光电子器件扩建工程项 目环境影响报告书（2014 年 11 编制） 由上表可知，PECVD、刻蚀尾气经净化处理后，废气中颗粒物排放浓度满足山 东省区域性大气污染物综合排放标准 （DB37/2376-2013）中表 2 重点控制区大气污染 物排放浓度限值；颗粒物排放速率，以及氟化物、HCl、SO2、Cl2排放浓度和排放速 率均满足大气污染物综合排放标准 （GB16297-1996）中的二级标准。 SiH4、BCl3排放浓度和排放速率满足荷兰排放导则 （NER）中标准限值要求。 3、有机废气、有机废气 有机废气主要包括涂胶烘干废气和丙酮去胶废气，其中涂胶烘干工序上方均设有 集气罩，丙酮操作工作台设于通风橱内，通风橱设废气收集装置。收集有机废气一同 引入屋顶活性炭净化装置，其净化效率不低于 90%，净化处理后的废气于 15m 高排气 筒排放。少量未经收集有机废气排放至车间内，经车间通风换气于室外无组织排放。 青岛海信宽带多媒体技术有限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书简本 青岛华益环保科技有限公司 20 光电子器件扩建工程项目验收监测（调查）报告 （青环院验监2016第 011 号） 对该排气筒废气中非甲烷总烃和丙酮进行验收监测，具体监测结果见下表 4.4-4。 表 4.4-4 有机废气有组织排放情况 排放情况 污染源 名称 主要污染 因子 排放浓度 （mg/m3） 排放速率 （kg/h） 环保措施来源 非甲烷总 烃 0.381.380.003250.0069 涂胶烘干废 气和丙酮去 胶废气丙酮1.410.00.008250.05 活性炭净化 装置+15m 高 排气筒 光电子器件扩建工程项目验 收监测（调查）报告（青环 院验监2016第 011 号） 由上表可知，有机废气经收集、活性炭装置净化处理后，排放浓度和排放速率满 足 GB16297-1996大气污染物综合排放标准中表 2 二级标准要求；丙酮排放满足 德国大气污染物排放标准限值要求。 4、酸性废气、酸性废气 酸性废气包括氢氟酸腐蚀挥发 HF、氢溴酸腐蚀挥发 HBr 以及氢溴酸与晶片表面 InP 反应生成的 PH3。氢氟酸、氢溴酸均盛放在烧杯使用内，使用操作工作