快捷公司阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告V1.0.doc

快捷公司质量体系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件编号： ICS-QRE-D01（A）文件名：阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告第9 页 共 13 页 阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告一、验收目的： 检验设备的各项指标是否达到规格书要求，并评估设备工艺能力及产品品质是否达到我司要求。二、验收信息：序号项目信息说明备注1型号Screen LI-5F-M曝光机与威志传送设备2供应商Screen(网屏)、威志3用途阻焊曝光4验收数量15使用厂区/部门/工序ICS/工艺部/阻焊6设备负责人甘斌、曾祥敏7验收人王锋锋、刘成勇8验收时间2015.6.222015.7.3三、验收项目及结果：项目 Item验收标准Aceeptance Standard结果备注机体结构机体完整性机体完整，表面无划痕，损伤，各部件可正常运行OK传送设备不锈钢表面未抛光处理基本规格1.Passline:96030mm2.设备尺寸：符合规格书设计要求3.运行方向（以操作面看）：从右到左4.传送尺寸：415510mm标准OK传送系统1.各马达符合类型、数量和规格符合规格书要求2.马达运行平稳3.马达皮带(链条)转动正常4.与板接触部位材质符合要求5.各搬送部运行稳定，夹持无异常，无异常噪声待改善翻板机为皮带；传送滚轮间距较大；收放板机吸板不平整；放板后吸嘴会粘板（7/25）电气系统1.马达电流正确2.接线正确无误,并标示正确3.接线柱稳定无松动4.线槽稳固良好5.控制箱清洁良好6.入板电眼调试正常7.电源规格符合我司要求8.电控柜需要有调温装置OK控制系统1.运行正常，软件系统至少包括中文2.电脑设有断电缓冲（UPS）装置3.各控制项目符合要求4.参数有分级修改权限设定5.预留收放板机自动控制端口待改善转换文件软件CU-9000无设置页为英文，无中文;曝光机无分级修改权限设定；NG产品暂存机无NG暂存功能（7/25）机台运行1.曝光机，冷却机，温调机等各部运行正常，无异常噪声或者故障2.开机试运行，抽真空后观察真空度数值是否达标待确认验收期间“主机冷却”常出现黄色警报，未知原因；目前正常产品在High模式下真空值约-5kpa。（7/25）机体温、湿度控制1. 温度控制精度：12. 湿度控制精度：5%OK曝光机内部温度约25机体灰尘控制洁净度100级洁净度按1000级控制警报指示1.故障报警正常2.报警指示灯正确3.各种保护、报警、急停等辅助装置可以正常使用4.做各种违规等操作验证报警功能是否有效5.按急停键验证能否实现急停功能6.设备，控制箱，线路等标牌粘贴正确7.异常情况、生产记录等自动存储功能，保存期限6个月待改善曝光主机无报警指示灯；抓板手臂在非指定区域可下降；其他项目此表中未涉及的项目依设备规格书逐项检查待确认能力与品质传送能力1.卡板，掉板，板折等导致的过板失败率0.3%2.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲待确认有吸嘴印迹防翘曲能力水平放置前后翘曲6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象待改善板边翘曲情况下无法正常对位（7/25）产能产能满足：5000m2/month最小开窗1.最小SRO能力：505um2.铜上及基材上阻焊undercut or foot：5um3.开窗形态良好OK能量均匀性1.开窗大小：2505um (245255um)2.均匀性95%OK阻焊桥1.50um2.无发白、桥弯、掉桥等OK台面印记无台面印记、凹坑、吸盘印等待改善产品图形内有吸盘印曝光条纹无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等（依据Taiyo datasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求）OK有轻微曝光条纹位置精度要求310um，cpk1.331.玻璃底片检查测试，1年/次-提供测试报告给FP,OK2.定期校准检查，每季度/次-提供校准报告给FP3.实际图形测试结果满足验收标准（铜面阻焊厚度2510um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）待确认尚未提供校准报告重复精度要求35um，cpk1.331.玻璃底片检查测试，1年/次-提供测试报告给FP2.定期校准检查，每季度/次-提供校准报告给FP3.实际图形测试方法及结果满足验收标准（铜面阻焊厚度2510um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）待确认尚未提供校准报告Offset区域要求重合部分2um,肉眼观察无明显曝光过度线条待确认油墨适应性至少可以对应taiyo所有IC载板类型油墨（包括湿膜和干膜阻焊）OK评估测试AUS308、AUS320、AUS410、EG23、AQ4086，与ORC设备相比，更容易出现台面印迹问题（通过堵部分吸气孔改善）文件格式兼容性至少可以支持Gerber和ODB+格式的文件OK支持gerber、ODB+格式文件，但目前板边设计需作变更设备与服务拆箱1.机台外观无损坏；2.设备无明显划伤；OK部品点收依清单内容，点收各部件，各部件规格以及物品与清单内容相符；OK常规漏电检查无漏电；OK易耗品清单以及寿命提供说明书（中文1本、原版2本无尘纸、英文1本）待确认软件要求随机的PC内用的软件必须正版OK设备安装提供设备安装计划书OK设备可靠性MTBFMTBF(Mean Time Between Failures)1000hrs；(一个月后稳定生产）待确认MTTRMTTR（Mean Time To Repair）2hrs；(一个月后稳定生产）待确认四、验收结论：目前（7/27）确认主要存在问题：1. 传送装置的导轨、丝杠位于曝光台面正上方，导轨上油与灰尘易掉落污染产品；2. 吸嘴排气在曝光机内部，易导致异物增多；对于薄板，吸板板面不平。3. 传送设备运转过程中停止时，需重新启动时操作步骤繁琐，需打开安全门手取板出来。4. 气源停止时，手臂会自动下降，存在损坏产品与设备的可能。5. 滚轮传送速度无数值显示。6. 暂存机感应器不稳定。7. 放板时，吸嘴会有粘板，导致板有移动，最终无法正常对位；8. 板边翘曲时，对位图像模糊，无法正常对位；9. 暂存机在“NG暂存”模式下不能实现NG暂存功能；10. 曝光主机警报清除需消耗很长时间；11. 设置曝光N块板时，第N块板在台面上不会被自动移走。12. 自动运行模式下，无法手动对曝光数据进行强制结束，必须需要等到出现“是否等待”提示框后，才能将数据停止。13. 定位查询模式时，顺时针调节角度过大，会在曝光过程中出现警报。14. 需要调整板尺寸才能让对位点进入CCD镜头区域。在问题改善前，无法用于生产。五、附件：5.1、机体温、湿度控制5.1.1、验收标准：(1)温度控制精度：1(2)湿度控制精度：5%5.1.2、验收方法：(1)利用空气温度计测量机体内部温度数值，在一天内，间隔测量30次(2)利用湿度计测量机体内部湿度数值，在一天内，间隔测量30次5.1.3、测试条件曝光机外部温度：222；湿度：505%5.1.4、测试结果：5.2、机体灰尘控制5.2.1、验收标准洁净度100级5.2.2、验收方法启动机器，利用洁净度测试仪测量机体内部尘埃粒子数量5.2.3、测试条件5.2.4、测试结果5.3、传送能力测试5.3.1、验收标准(1).卡板，掉板，板折等导致的过板失败率0.3%(2).出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲5.3.2、验收方法(1)CCL（0.040mm基材+2m*2铜）连续过板；（2）图形板（0.040mm基材+10m*2铜）连续过板。板尺寸：415mm*510mm5.3.3、测试条件5.3.4、测试结果图形板测试OK，CCL尚未确认。5.4、防翘曲能力测试5.4.1、验收标准水平放置前后翘曲6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象5.4.2、验收方法尺寸415510mm，板厚0.044mm-2.0mm，用不同翘曲程度的板，进行过板测试。5.4.3、测试条件5.4.4、测试结果5.5、设备产能5.5.1、验收标准产能满足：5000m2/month5.5.2、验收方法计算方法：产能（m2/月）=3600（sec/小时）22（小时/天）26（天/月）0.21（m2/pnl）tact time(sec/pnl)5.5.3、测试条件在设定的曝光能量条件下正常进行4点对位曝光。5.5.4、测试结果油墨/干膜型号曝光能量Tact time(sec/pnl)产能AUS308260mj/cm81secAUS320300mj/cm82secAUS410220 mj/cm74secEG23220mj/cm74secAQ408630mj/cm41sec注：Tract Time指产品单面对位+曝光时间,不含曝光能量调整时间与成像头校正时间。5.6、最小开窗5.6.1、验收标准1.最小SRO能力：505um2.铜上及基材上阻焊undercut or foot：5um3.开窗形态良好5.6.2、验收方法尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2510um，设计不同SMD阻焊开窗，曝光、显影、后固化后，分析开窗形貌。5.6.3、测试条件5.6.4、测试结果油墨型号SRO(设计值50m)SRO（设计值80m）AUS308 注：SMD补偿值按-18m计算5.7、能量均匀性5.7.1、验收标准1.开窗大小：2505um (245255um)2.均匀性95%5.7.2、验收方法尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，板厚0.044mm,铜面阻焊厚度2510um，SRO以250um为考察对象，测量位置：45Points/Panel，能量均匀性计算公式：Min/Max*100%5.7.3、测试条件测试油墨型号：AUS308、AUS410、EG235.7.4、测试结果油墨型号阻焊厚度（m）文件设计SRO（m）实际SRO AVE（m）实际SRO MAX（m）实际SRO MIN（m）实际SRO RANGE（m）MIN/MAXAUS30825.87568547.73552.56534.8717.7096.80%AUS41023.56568554.84556.42549.217.2098.71%EG2326.02568551.82553.43548.015.4299.02%注：SMD开窗补偿+18m5.8、阻焊桥5.8.1、验收标准1.50um2.无发白、桥弯、掉桥等5.8.2、验收方法尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2510um，设计不同尺寸SR dam，曝光、显影、后固化后，分析SR dam能力5.8.3、测试条件5.8.4、测试结果5.9、台面印迹5.9.1、验收标准无台面印记、凹坑、吸盘印等5.9.2、验收方法尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2510um，正常条件下生产5.9.3、测试条件5.9.4、测试结果初期台面印迹明显，后更换新台面；新台面条件下AUS320仍有印迹，堵住部分吸气孔进行改善。5.10、曝光条纹5.10.1、验收标准无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等（依据Taiyo datasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求）5.10.2、验收方法尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2510um，正常条件下生产5.10.3、测试条件5.10.4、测试结果5.11、位置精度5.11.1、验收标准要求310um，cpk1.331.玻璃底片检查测试，1年/次-提供测试报告给FP,OK2.定期校准检查，每季度/次-提供校准报告给FP3.实际图形测试结果满足验收标准（铜面阻焊厚度2510um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）5.11.2、验收方法此测试需在设备供应商处进行，采用预先准备的玻璃底片，学习其上的靶标，以此作为CCD对位靶标（不涨缩），将测试图形曝光到底片上，然后测量测试图形中心与玻璃底片上图形中心的距离，即为对位偏差值。取点数量至少20个。计算如下：偏移量D=(Xi-xi)2+(Yi-yi)20.5,偏移量标准偏差为5.11.3、测试条件5.11.4、测试结果5.12、重复精度5.12.1、验收标准要求35um，cpk1.331.玻璃底片检查测试，1年/次-提供测试报告给FP2.定期校准检查，每季度/次-提供校准报告给FP3.实际图形测试方法及结果满足验收标准（铜面阻焊厚度2510um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）5.12.2、验收方法此测试需在设备供应商处进行，采用预先准备的玻璃底片，学习其上的靶标，以此作为CCD对位靶标（不涨缩），在板的四角和中心各设计4个同心圆环图形，并将测试图形曝光到底片上，每次只曝光一个圆环，多次曝光，测量圆环中心之间的偏差值，检验其稳定性。5.12.3、测试条件5.12.4、测试结果5.13、Offset区域5.13.1、验收标准要求重合部分2um,肉眼观察无明显曝光过度线条5.13.2、验收方法尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2510um，在光铜板上设计阻焊线宽50um，正常参数曝光后，在DMD扫描重合区域内，用显微镜观察阻焊线宽变异宽度。5.13.3、测试条件5.13.4、测试结果5.14、油墨适应性5.14.1、验收标准至少可以对应taiyo所有IC载板类型油墨（包括湿膜和干膜阻焊）5.14.2、验收方法使用多种IC载板用油墨进行曝光，测量并记录