ITO导电玻璃检验标准.doc

深圳市正星光电技术有限公司内部编号ZX-WI-PZ-009编制部门品质部页 次8/9文件名称ITO导电玻璃检验标准版本/次A/1制定日期2014-09-4生效日期2014-09-41.0范围本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO产品。2.0规范性引用文件 2.1 JIS B06011994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。 2.2 GB28282003计数抽样检验程序第一部分 按照接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划。3.0玻璃基片的规格 3.1 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表序号检验项目标准范围测量方法1长度/宽度0.20mm数显游标卡尺2厚度1.10mm0.1mm0.70mm0.05mm0. 55mm0.05mm0.4/0.33mm0.05mm千分尺3垂直度0.10%宽座角尺和塞尺 3.2垂直度 玻璃基片的垂直度的公差等级a/L0.1%（见图1，a为公差带，L为被测玻璃基片的相应边长）。图1 玻璃基片的垂直度 3.3 弯曲度（h/L)图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S形弯曲 3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面）微观表面波纹度的数值Rt的最大值应符合表2要求序号厚度玻璃类型弯曲度微观波纹度11.10mm非强化0.10%0.15um/20mm强化0.20%20.70mm非强化0.15%0.20um/20mm强化0.25%30.55mm非强化0.15%0.25um/20mm强化0.30%40.4/033mm非强化0.15%0.30um/20mm强化0.30%bcd*d浮法方向切角磨边示意图 a0.3*45C型边 3.5磨边倒角:R型边编号项目标准要求检验方法1C型倒边0.05mmW0.4mm10倍放大镜2R型倒边宽度:0.1mmW1.0 曲半径: R50 mm10倍放大镜3标识角b=2.01.0mmc=5.01.0mm10倍放大镜4相同角A=1.50.5mm10倍放大镜5崩边长1mm,宽0.3mm深度1/2基片厚度10倍放大镜6破裂不允许目测7边、角未磨不允许目测 3.6表面质量 包括内部气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。 点状缺陷的直径d定义为：d=（L+W）/2，见图5。划伤缺陷的定义为：L 3mm,W 0.03-0.07mm见图6：图5点状缺陷的尺寸 图6划伤图形的尺寸 3.6.1双面ITO产品表面质量检验标准No缺陷分类A品标准范围B品测量方法1内部气泡、杂质点、针眼、污点、锡斑、亮点、表面凹凸点、颗粒d=(W+L)/2d0.05mm不计0.050.20mm不允许 D0.2mm,10个/片,允许; D0.2mm,不允许.裸眼1000LUX（30W日光灯）光照条件距离玻璃 30cm（注：客户有特别要求的，以客户要求为准）2玻筋日光灯下不可见3划伤宽度W0.03mm,不计;0.03mmW0.07mm,单个长度3mm,1条/片允许;W0.07mm,不允许.W1mm,单个长度100mm,1条/片允许.单个长度50mm,2条/片允许.单个长度10mm,5条/片允许.单个长度5mm,不计.间隔距离100mm以上W1mm,不允许.4污染使用专用清洗剂经过正常清洗过程后清洗不干净的沾污不允许5膜层针孔d=(L+W)/2d0.05mm不计0.050.20mm不允许d0.05mm不计0.050.20mm不允许6毛边.锡斑.发霉批量性.表面看比较明显不允许7手指印超出边缘5mm，批量性可擦拭不允许8亮道划伤.污渍.手指印.轮印偶尔1-2片日光灯不可见允许，批量性日光灯不可见不允许。9颜色日光灯检验有异色不允许10漏镀ITO不允许11裂 纹不允许12结疤不允许13玻璃屑不允许14粘附力不允许15质量保证区允许边缘5mm质量保证区域以外,即四周边缘5mm以内区域除崩边角,裂纹、毛边较严重以外的其他种类缺陷(包括划伤、气泡、针眼、污渍、节疤)可以不考虑。 3.6.2玻璃镀膜后表面质量经过100%在线检验,祼眼使用反射光法或透射光法在距离玻璃30cm检验 图6 检验方法 3.7膜层质量 3.7.1电阻测试:距边缘20mm用四探针检测面电阻. 3.7.2镀ITO导电玻璃膜层参数指标高温产品检验标准产品规格电阻范围/透过率刻蚀时间膜厚颜色HTP50040050094%20S120 30淡紫红-淡蓝色XY TP50040050090%20S120 30无色透明XY双面ITO正面60120,反面180-30087%30S正面:250 50反面:150 50无色透明XY双面ITO正面80120,反面200-30087%30S正面:250 50反面:150 50无色透明TP50040050090%20S120 30无色透明TP40035045090%20S120 30无色透20S220 50无色透明1008010087%30S250 50无色透明90709087%30S250 50无色透明80608086%40S300 50无色透明60406084%60S350 50无色透明50405082%60S450 50无色透明40304082%60S500 100无色透明30253081%100S700 100无色透明25202580%120S800 100无色透明20152080%140S900 150无色透明17131782%140S1100 150淡黄色-金黄色15101582%180S1250 200淡紫红-紫红色1071082%250S1800 200青蓝色74777%300S2500200紫红色53578%350S3100 400绿色低温产品检验标准产品规格电阻范围/透过率刻蚀时间膜厚热稳TFT1000500-70097%20S12050120烤1H110%150100-15087%30S25050150烤1H110%12080-12087%30S30050150烤1H110%10080-10087%30S30050150烤1H110%9070-9087%35S30050150烤1H110%8060-8086%40S35050150烤1H110%7050-7086%60S400100150烤1H110%8040-8086%60S400100150烤1H110%6040-6084%65S400100150烤1H110%5040-5084%65S450100150烤1H110%4030-4082%70S600200150烤1H110%3020-3081%105S800200150烤1H110% 151580%210S1500500150烤1H110% 3.8可靠性实验 3.8.1 ITO膜层可靠性实验序号实验项目测试标准范围检验方法1刻蚀时间10A/秒刻蚀液成分：HCL：H2O：HNO3=50：50：3，刻蚀温度：5522热稳定性Rt/R0300%条件：烤烘温度300 30min(TN/STN)Rt/R0110%高温ITO条件：烤烘温度180 60min(TP/HTP)Rt/R0110%低温ITO(OGS)条件：烤烘温度150 60min(XY)3耐碱性Rt/R0110%10%NaOH 60 5min4耐酸性Rt/R0110%6%HCL，25 2min5耐溶剂性Rt/R0110%IPA、丙酮或酒精25 5min6附着性无掉膜使用百格刀在基板上划1*1mm方格，用3M 610#胶带粘玻璃7耐磨性无开路用橡皮1公斤力摩擦玻璃1000次8耐湿性Rt/R0110%60，90%RH，48H9水煮膜层无开裂及脱落纯水100时间 24HNa+15ug/dm2,纯水962 48H(LCD产品)备注：R0为实验前电阻，Rt为实验后电阻 3.9 检测方法操作 3.9.1 SiO2阻挡性能水煮试验(用于LCD产品,只做半年频次检测) 在962进行48小时水浴锅,将试验溶液装好送外检测,测量基片中迁移出来的钠离子质量,若 Na+质量M15ug/dm2,则SiO2阻挡层试验合格. 3.9.2 光学性能在波长为550nm时，不同规格ITO玻璃成品的透过率满足3.7.2。 3.9.3 SiO2 膜层厚度 SiO2膜层厚度为25050。（也可根据客户要求而订） 3.9.4 电学性能(做日频次检验) 不同规格ITO导电膜玻璃的方块电阻及ITO膜层膜厚应符合3.7.2。 3.9.5 蚀刻性能测试(做日频次检验) a)酸刻液配制:酸刻液按如下比例配置: H2O:HCL:HNO3=50:50:3(体积比),实际按纯水100ML:盐酸 (36%)100ML:硝酸6ML配制;将此刻蚀液入刻蚀烧杯内,保持温度为552 b)将玻璃片切成约40mmX120mm长条状,用D水清洗,冲洗、吹干后，放入刻蚀液中蚀刻;产品的蚀刻时间测定按3.7.2执行,产品在3.7.2中规定的时间全部刻蚀掉ITO膜层,说明该产品ITO膜层酸刻指标合格. c)不同规格的ITO导电膜玻璃经上面酸刻试验,ITO导电膜层在刻蚀性能上满足3.7.2要求;则刻蚀性能指标为合格。 3.9.6化学稳定性测试(只做月频次检测) a)耐碱性(只做月频次检测) 在温度为602、浓度为10%的氢氧化钠（分析纯）溶液中浸泡5分钟后，ITO导电膜层方块电阻值应不超过原方块电阻值的110%. b)耐酸性(只做月频次检测) 在温度为252的6%的HCL的溶液中浸泡2分钟后，ITO导电膜层方块电阻值应不超过原方块电阻值的110%. c) 耐溶剂性能(只做月频次检测)在丙酮（分析纯）、无水乙醇（分析纯）或100份去离子水加3份EC101配制成的25清洗液中浸泡5分钟后，ITO导电膜层方块电阻值应不超过原方块电阻值的110%3.9.7附着力(只做周频次检测) 用胶带贴附在膜层表面并迅速撕下，ITO膜层无损伤,证明膜层附着力合格.3.9.8 热稳定性(做日频次检测) 在大气状态下放于30030加热炉中，恒温加热30分钟后，在大气中自然泠却,ITO导电膜层方块电阻值应不大于原方块电阻值的300%。(按3.8.1)3.10公司采用GB2828.1-2003抽样方法进行抽样检验以迎合客户的需要。抽样检验的AQL值和IL值见下表。如果正星光电技术有限公司批量产品因品质问题在客户处出现特采、退货、换货等情况，则客户有权要求正星光电技术有限公司对产品在下表所示的抽检标准的基础上进行加严检验。No检验项目AQLIL1规 格N=5 R=1R/A2垂直度N=5 R=1R/A3表面质量1.0一般I4翘曲度N=5 R=1R/A5磨边倒角N=5 R=1R/A6平面度N=5 R=1R/A7透过率N=5 R=1R/A8面电阻1.0一般I9膜层性能N=5 R=1R/A3.10.1 本公司的测量设备经过周期检定，可以追溯至国家标准或国际标准，以保证测量数据的准确性。3.10.2 本公司对出厂的产品提供出厂检验报告，为客户提供真实，准确的产品参数以方便客户使用。4.0包装和标识4.1 正星光电技术有限公司的产品使用标准包装，可以根据客户要求更换包装。4.2 包装描述4.2.1 玻璃与玻璃之间采用隔条间隔或采用拷贝纸间隔，以防止玻璃间的相互滑动造成划伤。4.2.1.1隔条采用PP材质，隔条厚度2mm、宽度5mm，间隔用隔条在使用前必须用超声波清洗方式洗净后烘干，采用隔条加热缩膜包装后不得发生玻璃之间的粘片问题。4.2.1.2 使用隔条间隔时，1.1 mm 、0.7 mm 、0.55 mm 、0.50mm、0.40mm规格均为10片每包，上下各放一张厚度不小于1.1mm的挡板玻璃（挡板玻璃确保磨边无锐角），用热塑膜对玻璃进行包裹形成玻璃小包装。 4.2.1.3 使用拷贝纸间隔包装时，1.1mm为20片每包，0.7 mm为25片每包，0.55 mm 、0.5 mm、 0.4 mm、0.3mm 均为30片每包。4.2.2正星光电技术有限公司使用木箱包装玻璃，木箱底层泡沫厚度不小于30mm，四周的泡沫厚度不小于30mm，中间的泡沫厚度不小于30mm，我司将小包装装入木箱。木箱盖先用铁钉固定，再用三根包装钢带扎紧，且钢带位置固定在箱盖加强筋上，确保箱盖不张开。4.2.3为了塞紧玻璃防止玻璃窜动，木箱的两头须用泡沫板塞紧。为防止玻璃受潮，木箱包装内部须用塑料薄膜包裹玻璃小包装，内包装塑料薄膜必须用胶带封口，且每箱内须放2袋防潮砂。4.3 标识4.3.1我司用不干胶贴标识我司产品。玻璃小包装侧面大角处的热缩膜上贴有该标识。标识显示生产该包玻璃的规格，片数以及生产批号并有对应的检验员代码。4.3.2 我司在每次发货时均提供给客户装箱单，贴在外装箱上。内容包括箱号、规格、生产批号、及数量。4.3.3我司生产批号（LOT No） 解释为：ZX 11 11 03 02 01 002正星年 月 日 班组 检验员 包号4.3.4 ZX-XY2ITO-550A1/SG 代表玻璃是强化玻璃（PSG代表抛光强化玻璃）代表玻璃基板厂商是AGC（2、 板硝子、 3、南玻 、4、洛玻、 5、中央硝子、6、龙迹、7、其他） 代表玻璃厚度是1.1mm(B、0.7mm C、0.5mm D、0.55mm E、0.4mm F、0.33mm） 代表玻璃尺寸是450*550 代表玻璃是双面ITO镀膜 （ ITO单面镀膜） 代表型号是消影玻璃（TP、TN、HTP、STN、MOALMO) 代表公司简写代码 5.0 运输和贮存 5.1 在运