扫描电子显微镜.doc

2009-07招标设备清单序号设备名称数量技术参数备注1扫描电子显微镜1见附件进口2透射电子显微镜1见附件进口3冷冻超薄切片机1见附件进口附件：1、扫描电子显微镜（进口）场发射扫描电子显微镜主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，可配备X射线能谱仪等附件，可同时进行微区的成分分析，应具有配备X射线能谱仪系统等的相应安装接口。技术参数1、分辨率：二次电子图像：1.0nm (15kV), 1.4nm (1kV)背散射电子像：3.0nm(15kV) 2、加速电压: 0.1 - 30KV 连续可调3、束流范围：1pA2nA连续可调4、 放大倍率25X 1,000,000X ；5、真空度：电子枪室高真空 10-7Pa 样品室真空 10-4Pa6、泵系统：磁悬浮分子泵、离子泵和机械泵7、电子光学系统电子枪： 高稳定性场发射电子源，能自动合轴调整聚光镜： 电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；光阑角度控制透镜控制束斑尺寸物镜光阑：X/Y方向精细可调对中电图像位移：5m，可通过控制电子束移动实现8、样品室和样品台样品台：5轴马达驱动全对中样品台, 示意图在监视器上显示样品台尺寸 可装直径不小于150mm的样品行程：X70mm, Y=50mm, Z=1.5 - 25mm倾斜 -5 - +70旋转 360样品更换：快速气锁更换样品(直径最大150mm)9、附件接口：样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器。10、探测器及成像系统高位和低位二次电子探测器： 二次电子像背散射电子探测器： 纯成份像和形貌像成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像二次电子和背散射电子混合信号图像，且其相对含量连续可调11、扫描电镜计算机系统操作系统 Windows XP Professional显示器 19英寸 LCD12、自动离子溅射仪 （进口）1套工作压力：好于20Pa 溅射电流：10,20,30,40mA溅射靶：白金样品台：直径64mm真空室：120mm(直径)x100mm(高)13、配件拉伸台一套其它需要的附件、备件、特殊工具和消耗品提供二年以上备品备件，提供备用场发射电子枪一支2、透射电子显微镜（进口）本系统主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构、成分分析，系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成1、电子枪：六硼化镧(LaB6)灯丝2、分辨率：点分辨率：0.19nm；线分辨率：0.14nm3、加速电压: 200kV4、物镜电流稳定度： 1ppm/min (peak to peak)5、物镜焦距： 1.9mm球差系数：0.5mm色差系数：1.1mm最小聚焦步长：1.0nm6、最小束斑尺寸TEM模式：20nm以下EDS模式/纳米束电子衍射(NBD)模式/会聚束电子衍射(CBD)模式：0.5nm以下放大倍率：MAG模式： x2,000 - x1,500,000；LOW MAG模式：x50 - x6,000SA MAG模式： x8,000 x800,000；7、样品更换：气锁方式，自动2段抽气样品防污染液氮冷阱：标准 样品台重复精度：优于2m8、EDS分析几何条件固体角：0.13 str. 以上（30mm2 活区面积检测器）取出角：25以上 （30mm2 活区面积检测器），9、真空系统：高真空泵：（电子枪和样品室）离子泵，150 l/s，一个 （观察室和照相室）扩散泵，420 l/s，一个低真空泵：机械泵，100 l/min，一个真空度：优于210-5 Pa10、图像观察窗大荧光屏：直径160mm以上小荧光屏：标准双眼目镜：标准10、X射线能谱分析仪(EDS)（进口）该设备作为分析电子显微镜的主要附件之一，通过测量在电子束的照射下产生的X射线的能量来确定材料的成份，特别适于测量重元素的成份，对轻元素也可进行定性分析。是材料科学研究中不可缺乏的研究手段之一探测器： Si(Li)半导体探测器能量分辨率：优于138eV 有效检测面积：30mm2 以上元素分析范围：B5-U92液氮罐容量： 9升探测器制冷方式： 液氮冷却应用软件： 定性分析、定量分析、彩色面分析等11、CCD相机技术要求CCD相机是用来对电子衍射斑点及高分辨像进行实时数字化的设备，并有进行图像处理的功能，因此要求含有先进的软件分辨率：4K x 2.7K 像素以上 (SIS)每个像素尺寸：18m x 18m应用软件： 图像采集、处理软件包耦合方式： 光纤耦合安装部位： 底装式3、冷冻超薄切片机（进口）1. 独立的彩色触摸屏控制单元，操作简便。控制器支持热插拔。可控制切片机和冷冻室。 彩色触摸屏可以控制切片机和冷冻室，控制方式更方便，简洁2. 重力切片动力系统，无震动，切片精度高，带有自动保护装置，不会损坏刀片和刀架。3. 切片厚度： 半薄切片厚度：0.5 m5m 增量,连续可调，超薄切片厚度：1 nm1m，增量,连续可调4. 切片速度：切片速度0.05-100mm/s5. 马达驱动刀台： 马达驱动刀台步进:10mm的N-S移动 马达驱动刀台步进: 25mm的E-W移动6. 切片记数器和进样累加器，切片速度和厚度数值设定的记忆系统57. 全方位体视显微镜，观察角度可面向操作者倾斜，中心位置可移动。非常方便操作者观察。8. 有冷冻功能，温度范围-15C-185C；烘干温度：110 C，能够完全除湿，切片机不会生锈。-15度的工作温度，可以温暖聚合物切片。 9. 液氮地上放置，波纹管连接，震动小、噪音低。冷冻室连接在切片机主机机架上，可以减小外来震动。冷冻室外壁