电子厂学习报告.doc

_华天科技（昆山）电子有限公司实习报告姓名：吴星飞 工号：14136 部门：制造部区域:切割 撰写日期：2016.7.26目录：一、 激光打标 3二、 对比分析 4三、 感悟 4一、激光打标1. 目的：根据客户要求，给晶圆进行标记，使晶圆具有身份信息。2. 意义：激光打标是利用高能量密度的激光对晶圆进行照射，使表层材料气化或发生颜色变化的化学反应，从而留下永久性标记，对产品的防伪有特殊意义。3. 设备使用：华天科技（昆山）电子有限公司的激光打标有两种，分别为大族激光打标和华天激光打标。4. 两种不同打标机的作业流程如下：华天激光打标大族激光打标1.进站交接核对产品的型号及数量，并对产品进行进站检查。2.打标前确认1）根据wafer ID，在MES系统中查询达标内容，核对MES系统与流程卡上的达标内容保持一致。2）将wafer从料盒中取出在低倍显微镜（20X）下核对晶圆ID号3）将核对好的MES流程卡放入料盒中产品玻璃面朝外。3.选择程式1）在CCD电脑上选择相应CCD程式2）华天打标在流程卡上的打标内容扫描到程式中点“替换”按钮。3）华天打标点击“编辑区观察”按钮即可目测核对。 1）选择相应CCD程式，并且关闭其他程序，防止电脑卡死，以及运行缓慢造成打标不合格如字体看不清等问题。2）将流程卡上的打标内容扫描到程式里，将原有的打标内容替换为现需要打标的内容，点击“应用”按钮。3）点击“缩放全部对象”，确认机器内的打标内容已经被替换为所需打标内容华天激光打标大族激光打标上片1） 检查工作台，确认台面是否干净，是否需要清洁。2） 检查wafer胶带表面有无异物，然后玻璃面朝下，notch口朝外对准指定位置。试打标1） 产品表面放置在工作台点击界面上的“洗盘打开”按钮，吸附真空-65KPa以上。2） 点击“CCD校正”然后在打标程式上，框一颗至两颗die，点击界面上“选择标刻”进行试打。1） 在打标程式中的示意图框一颗die，然后点击打标界面上的米字形按钮，在弹出的晶圆打标对话框中打开洗盘，检查真空并有无漏气情况。2） 在晶圆打标控制对话框的界面上，勾选“选中打标”然后点击“打标”按钮，设备自行寻找对位。3） 观察监控显示屏角度偏移，并修正。二、对比分析通过对比华天打标和大族打标两种设备，我们不难发现大族打标程序较为繁琐，手动操作过多，与华天打标比较而言，后者更依赖机器，这样能大大的避免由于人为因素造成打标错误或者不合格的情况，很大程度避免人因误操作，神智不在最佳状态，以及其他受干扰因素导致对产品打标造成的损失，华天打标程序简单明了，使用人群更加广泛，这使得华天打标被逐渐认可和使用的主要因素。三、感悟通过作业员以及自己的亲身体验，我觉得即使很简单的操作，我们也一定要谨慎、仔细，特别是对流程卡的核对，防止与晶圆信息不相符从而造成错误操作，这会对公司造成很大损失，所以时刻保持冷静、清醒的头脑显得尤为重要。或许设备在未来可以设定为固定操作模式，每个步骤被提醒并弹窗只需观察和点击n“next”即可。我认为无论哪个职位都得