真空压力表.ppt

真空压力表头,制作人：RS-Tech审核：RS-Tech,01,02,外部结构简介,用途及基本性能,目录/contents,I/O电路图,03,04,输出模式及设定模式,05,皮拉尼真空计及机械压力表,01,外部结构简介,02,用途及基本性能,用途,基本性能,具备复制功能在主传感器上每次连接一个传感器，即可通过数据通信复制主传感器的设定内容。需要对多个传感器进行相同设定时，复制功能可以防止因设定错误而引发的故障。此外，也能在装置进行设计变更时，减少作业指示书的变更。,功能,设定步骤,注意事项,03,I/O电路图,04,2个独立输出和3种输出模式（标准型）,具备2个独立的比较输出，可以分别选择不同的传感检测模式。2个比较输出中有1个可用作警报输出，此外，还能将不使用的输出设为无效。,吸附用途，真空破坏也能确认,确认基准压力用途，可进行基准压力的警报输出,1.EASY模式进行比较输出ON/OFF控制的模式。,（注1）：应差可以固定为8级。（注2）：副显示部在比较输出1时显示“P-1”，比较输出2时显示“P-2”。,2.滞后模式任意设定比较输出的应差（滞后）、进行ON/OFF控制的模式。,（注1）：副显示部在比较输出1时显示“H1-1”、“Lo-1”，比较输出2时显示“H1-2”、“Lo-2”。,3.窗式比较模式按照设定范围内的压力，使比较输出为ON或OFF的模式。,（注1）：应差可以固定为8级。（注2）：副显示部在比较输出1时显示“H1-1”、“Lo-1”，比较输出2时显示“H1-2”、“Lo-2”。,1级：日常进行的操作设定为“RUN模式”2级：基本设定为“菜单设定模式”3级：高级功能为“PRO模式”,设定操作模式,05,皮拉尼真空计及机械压力表,皮拉尼真空计是全压真空计，利用了气体热传导性与压力有关的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。,Pirani(皮拉尼)真空计原理,1、极宽的测量范围从大气压到1x104mbar.2、极好的重复性,过程压强范围10-810-2毫巴均为5%3、皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁4、双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝5、可选图形显示和现场总线接口6、自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预7、容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性,特点,半导体工艺和输送室中的压强测量工业镀膜一般真空测量和控制,从低至超高真空范围,应用,机械压力表工作原理弹簧管在压力和真空作用下，产生弹性变形引起管端位移，其位移通过机械传动机构进行放大，传递给指示装置，再由指针在刻有法定计量单位的分度盘上指出被测压力或真空量值。,机械压力表内部构造,构造：a溢流孔：若发生波登管爆裂的紧急情况的时候，内部压力将通过溢流孔向外界释放，防止玻璃面板的爆裂。注：为了保持溢流孔的正常性能，请在表后面留出至少10mm的空间，不要改造或塞住溢流孔。b指针：除标准指针外，其他指针也是可选的。（零调指针最大值指针或设定指针）请在选型表中列出。c玻璃面板：除标准玻璃外，其他特殊材质玻璃，如强化玻璃，无反射玻璃也是可选的。,是带有波浪的圆形膜片，膜片本身位于两个法兰之间，或焊接在法兰盘上或其边缘夹在两个法兰