智能型氦质谱检漏仪校准规范.doc

HJ-M-187-2009智能型氦质谱检漏仪校准规程2009-11-20发布 2009-12-01实施陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部 HJ-M-187-2009 本 规 程 签 署 人 员编制： 校对： 审核： 审定： 标审： 批准： 发放单位及份数管理室1长度计量室仪器仪表室2理化实验室 HJ-M-187-2009 代替 HJ-M-187-96智能型氦质谱检漏仪校准规程1. 范围本规范适用于我公司使用中及修理后的ZLS-24C型和ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的ASM182T型氦质谱检漏仪可参照本规范校准）。2. 概述氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分）。由吸枪或喷枪将通过漏孔漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出来，通过校准可计算出漏率值的大小。经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来检查产品和器件的微小漏隙。3. 引用文件Q/20192316-X-61-2001 成都仪器厂企业标准ZLS-26D/T 氦质谱检漏仪说明书ASM182T 氦质谱检漏仪使用手册陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20094. 技术要求4.1 外观质量4.1.1 仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。4.1.2 仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。4.2 绝缘电阻在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5M。4.3 仪器的错、缺相保护功能（ZLS-24C型）使用三相电源的仪器应当有错、缺相保护措施。4.4 仪器启动时间（ZLS26D/T型）仪器开机5min后，真空应达到1102Pa（仪器已停机8h但未超过24h，系统保持真空），可以启动灯丝，进行检漏工作。4.5 仪器漏率音响报警功能漏率音响报警点应能任意设置。开始报警后，音响的频率应随输出示值的变化而变化。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20094.6 检漏率仪器的最小可检漏率ZLS-24C型应优于21011 Pa.m2.s-1（对空气） ZLS-26D/T型应优于51012 Pa.m2.s-1（对空气） ASM182T型应优于51012 Pa.m2.s-1（对空气）4.7 粗抽到检漏的切换点（ASM182T型无此项）粗抽到检漏的切换点，应能在电阻计指示值为40Pa至0.1Pa的范围内任意设定。4.8 加速电压的可调节范围：（100V200V）10V（ASM182T型无此项）。4.9 发射电流的可调节范围：0.5mA1.5mA（ASM182T型无此项）。4.10 仪器的自身漏隙仪器的高真空系统，不应有对自身喷氦久可以检出的漏隙存在。5. 校准环境 5.1 环境温度：535。5.2 相对湿度：80RH。5.3 供电电源：380 V38V ; 220 V22V ; 50HZ0.5 HZ5.4 仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20096. 校准项目及设备校准项目周期校准修理后校准1外观检查检/2绝缘电阻检检3仪器启动时间检检4仪器漏率音响报警功能检/5仪器的最小可检漏率检检6粗抽到检漏的切换点检/7加速电压的可调节范围检检8发射电流的可调节范围检检9仪器的自身漏隙检检7. 校准方法7.1 仪器的外观质量7.1.1 用目视检查，目视检查，仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。7.1.2 仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20097.2 绝缘电阻用500V的兆欧表，的昂电源开关在“开”时，测仪器电源线对机壳之间的绝缘电阻应大于5M。7.3 仪器启动时间试验（对ZLS-26D/T型）用秒表记录仪器自开机后至真空达到1102 Pa的时间（仪器已停机8h但未超过24h，系统保持真空）。7.4 漏率音响报警功能的试验调节放大器的输出示值，检验报警点的设定范围及音响器频率的变化。7.5 仪器的最小可检漏率按正常开机过程，抽到高真空，激发冷规，待抽到真空度为1102 Pa以上时，启动灯丝，调节发射电流为0.751mA左右，待高真空上升至0.5103 Pa以上时，打开漏孔，全开节流阀，调整加速电压，使其氦峰最大。校准漏孔打开前，读取检漏仪的输出指示的本底值UN,再打开漏孔，读取检漏仪输出指示最大值U0。最小可检漏率Q最小的计算： Q最小 Q0 Pa.m2.s-1 UN 关漏孔后仪器的噪声和漂移的绝对值之和Us校准漏孔产生的讯号U0UN Q0校准漏孔漏率，Pa.m2.s-1陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-2009ZLS-24C型Q最小应优于21011 Pa.m2.s-1ZLS-26D/T型Q最小应优于51012 Pa.m2.s-1ASM182T型应优于51012 Pa.m2.s-17.6 粗抽到检漏的切换点的试验调粗抽至检漏切换点电位器，由一端到另一端，制造等效的低真空指示值变化，检验切换点的设定范围。7.7 加速电压调节范围的试验调加速电压电位器，表头示值应能在（100200）V之间可调。7.8 发射电流调节范围的试验调印制板上发射电流电位器，表头示值应能在（0.51.5）mA之间可调。7.9 仪器的自身漏隙检查当仪器处于最佳灵敏状态，对仪器自身的真空系统进行仔细的喷氦检漏，观看是否有漏隙。8. 校准结果处理及校准周期8.1 校准结果处理经检测所检项的指标均符合本规范技术要求的检漏仪应粘贴“B类准用证”。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20098.2 校准周期ZLS-24C型检漏仪的校准周期为2个月。 ZLS-