溅射靶材和蒸镀膜料.doc

一、溅射靶材工具镀膜工业非凡物质 奇妙世界 工具镀膜常应用于车削刀具、机械手、模具等各种机械及冶金用途。刀具、模具的超硬保护层，膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、DLC等，镀层产品包括钻头、铣刀、齿轮刀具、丝锥、剪刀、切刀、顶头、冲模等。膜层厚度一般为210m，膜层要求高硬度，低磨损，耐冲击，高附着型等，其技术层次高于装饰镀膜。常用靶材与装饰镀膜基本相同，为Ti、Al、Cr、C、Ti/Al等，常通入N2,O2,C2H2等反应气体，除了以氮化物为主要膜层，还多了类金刚钻膜(DiamondLikeCoating,DLC)。 产品应用为了追求更佳的膜层机械性质，合金靶材也已经被大量采用在刀具上，如Ti/Si、Cr/Si、Cr/Al、Ti/Cr、Al/Ti/Si、Al/Cr/Si等。而且持续有新的多元合金正被开发测试中，制造工艺分为真空熔炼工艺、挤压熔炼工艺、热等静压工艺、热压烧结工艺等，不同的方法制出的靶材特性各有不同。装饰镀膜工业非凡物质 奇妙世界 应用真空阴极电弧源沉积技术(CathodicArcCoating)可在大量民生用五金件上镀上不同的颜色，做为装饰用途，与一般表明处理用的电镀，烤漆相比，有高硬度，高亮度，抗蚀氧化，不易脱落，不掉色等优异特色。目前市场上最常见的卫浴五金（莲蓬头、水龙头等），建筑五金（门锁、门把、电梯内板），汽车五金（后视镜），机壳（手机、电脑等），装饰配件（发簪、纽扣）等都已大量采用此种镀膜技术。镀膜产品包括表件、日用五金件、卫浴洁具、建筑五金件、表壳、表带、小饰品、不锈钢板等等，彩色膜除仿金色外，还有枪黑、乌黑、玫瑰金、棕色、蓝色、绿色、灰色、银色以及幻彩等等。常用的靶材有Ti、Zr、Cr、C、TiAl等几种，通入N2，O2，C2H2等气体后，可形成金黄，古铜，灰黑等多种不同色调。膜层一般在1um以下。具备开发新色彩能力已经成为装饰镀膜业者极力争取的技术优势。 光学/光通讯工业非凡物质 奇妙世界 制备光学薄膜可用来得到各种各样的光学特性，阿石创可提供光学镜片、晶体以及光通讯行业镀膜所需用到的高纯度靶材，产品包括硅靶、铌靶、钽靶、二氧化硅靶、钛靶等。 热反射汽车玻璃非凡物质 奇妙世界 热反射镀膜玻璃又称阳光控制镀膜玻璃，也就是通常说的镀膜玻璃，是指具有反射太阳能作用的镀膜玻璃。一般是通过在玻璃表面镀覆金属或者金属氧化物薄膜，以达到大量反射太阳辐射和光的目的，热反射玻璃具有良好的遮光性能和隔热性能。近年来热反射镀膜玻璃在宾馆、饭店、商业场所得到较多应用，随着节能问题的日益突出，热反射玻璃在南方民用住宅中亦得到了应用。热反射汽车玻璃：使太阳光的红外线有效的被反射（2025%），阻隔热能进入车体内（隔热性能30%），降低空调负荷，同时维持良好的透光性（7075%），保持视野的清晰。阿石创可为客户提供其镀膜常用到的Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni/Cu、SS等不同规格材质的靶材，纯度要求从99%99.9%不等。 低辐射建筑玻璃非凡物质 奇妙世界 Low-E(低辐射镀膜玻璃)建筑玻璃，它是在玻璃表面镀银膜或掺氟的氧化锡膜后，利用上述膜层反射远红外线，达到隔热、保温的目的。并具有可见光高透过率（自然采光），低反射（低光污染），紫外线及近红外线低透过率（遮阳）的效果。真空磁控溅射Low-E镀膜中空玻璃具有最低的辐射率（0.080.15），能够有效降低室内热能的流失，因此是最佳的“采光节能系统”。其使用靶材以大型平面靶和喷涂/浇铸旋转靶材为主，为适合不同的膜层设计，靶材有如下的多种选择。Ag、Ni/Cr、Sn(SnO2Film)、Ti/TiO2(TiO2Film)、Zn(ZnOxFilm)、Si/SiAl(SiNxFilm)、ZnAl、ZnSn、ZnSnSb、Cr、Nb、Nb2O5等，阿石创可为客户提供以上不同规格材质的溅射靶材，纯度要求从99%99.9%不等，可适各种镀膜系统。其中一些脆性材料（SiAl,Si,TiO2），需要用等离子热喷涂工艺制作，其材质具有低含氧量及高清洁度。 硅薄膜电池非凡物质 奇妙世界 目前太阳能电池的主流为结晶硅制程，单晶或多晶硅基板形成P/N接面，再加上Ag浆印刷电路而成，转换效率1116%（最高1624%）。受限于硅晶的供应紧张，体积过大，及重量过重，薄膜太阳能电池成为新的趋势走向。薄膜太阳能电池分为硅薄膜及化合物半导体二大类。硅薄膜技术（转换效率58%）又可分为非晶硅a-Si，微晶硅uc-Si，及薄膜多晶硅Poly-Si三种材料的组成。由CVD法生长的a-Si搭配uc-Si或Poly-Si，形成多层堆叠结构，可改善光劣化现象，提高转换效率。硅薄膜电池要在基板或硅层上镀TCO膜（ITO,AZO,ZnO,SnO2）和金属膜（Al,Ag,NiV）做为导电层，TCO膜是为了改善电池的透光性。阿石创可为该领域提供ITO、AZO、ZnO、SnO2、Al、Ag、NiV等不同材质及规格的溅射靶材。 化合物半导体薄膜电池非凡物质 奇妙世界 化合物半导体薄膜太阳能电池主要分为CdTe和CIGS（CuInGaSe）二大类。用CdTe/CdS和CIGS/CdS取代硅晶的P/N接面，可改善光电转换效率（CdTe810%,CIGS1012%）。因材料不同，适用的电极层及TCO层材料也不同。CdTe时采用ITO、SnO2、CuorCr；CIGS时采用ITO,ZnO,AZO,Mo。CIGS膜层不易直接以溅镀法完成，因此采用各种次合金的共镀制程，阿石创可提供材料有CuInGa、CuInSe、InGaSe、CuSe、CuGa、CuIn、InSe,、Cu、In、Ga、Se等。新的透明半导体材料有InGaZnO4、SrCu2O2、CuAlO2、CuCrO2等。 光热管薄膜非凡物质 奇妙世界 另外使用太阳能做完加热用途的光热管(太阳能热水器真空管)也需要在表面镀膜，以增强光的吸收性，常用靶材有SiAl，Si等。 液晶面板(LCD)非凡物质 奇妙世界 液晶显示器（TFT-LCD）已取代阴极管（CRT）成为显示器的主流。其制程主要分为三段，第一为阵列基板（Array）制程，主要是在玻璃基板上制作薄膜电晶体（TFT）。第二段为Cell制程，主要是将阵列基板与彩色滤光片结合，并在二片玻璃基板之间灌入液晶，第三段为Module模组制程，主要是将Cell制程的半成品与背光板，偏光板，IC电路，外框等多种组建组装起来。其中阵列基板制程和彩色滤光片基本上是以溅射镀膜制程完成，需要高均匀性和平坦性的薄膜，靶材要求大型化、高密度及细晶。阿石创可为用户提供显示器使用的使用的高品质靶材，其种类包括：1、透明电极材料：ITO2、阻隔层材料：Mo、Cr3、介电材料：Al2O3、SiO24、电极材料：Al、Cr、Ni、Ta、Nb5、黑色矩阵材料：Cr、Ta 触摸屏(TP)非凡物质 奇妙世界 触摸面板（TP）是21世纪的人机界面，主要为电阻式，其次为电容式。结构主要是ITO玻璃（基材）及ITOPETFilm(表面)，加上其间的阻隔材和导电胶组合而成。镀膜制程常使用的靶材是ITO，Mo，Al,SiO2。 屏蔽镀膜非凡物质 奇妙世界 真空溅镀EMI具有高导电性和高电磁屏蔽效率等特点，广泛应用于通讯制品(移动电话)、电脑(笔记本)、便携式电子产品、消费电子、网络硬件(服务器等)、医疗仪器、家用电子产品和航空航天及国防等电子设备的EMI屏蔽。同时适用于各种塑胶制品的金属屏蔽（PC、PC+ABS、ABS等）。屏蔽（EMI）溅射镀膜具有以下特点：1、价格低廉；2、金属薄膜厚度只有0.52m，不影响装配使用；3、环保制程，绝对环保无污染；4、溅射材料无限制,任何常温固态导电金属及有机材料、绝缘材料皆可使用（例：铜、铬、银、金、不锈钢、铝、SiO2等）；5、被溅射基材几无限制（ABS、PC、PP、PS、玻璃、陶瓷等）；6、膜质致密均匀、膜厚容易控制；7、附着力强，可同时搭配多种不同溅射材料镀制多层膜。 阿石创可为客户提供，Ag、Cu、Al、Cr、Ni/Cr、SS等靶材。二、蒸镀膜料低折射率材料非凡物质 奇妙世界 低折射率材料 MU1SiO2中折射率材料非凡物质 奇妙世界 中折射率材料 注： 蒸发源 E电子枪 B电阻加热氧化铝 高折射率材料非凡物质 奇妙世界 高折射率材料 注： 蒸发源 E电子枪 B电阻加热 Ti2O3HfO2Nb2O5氧化锆金属与合金薄膜材料非凡物质 奇妙世界 金属膜具有反射率高、截止带宽、中性好以及偏振效应小等优点，因此它们对于设计一些特殊应用的膜系具有重要的作用。 锡SnNi 光学性能可变薄膜材料非凡物质 奇妙世界 在固体和液体中，分子结构、对称性及能带的可逆变换是一种很普通的现象。目前所知道的这种可变换的产生既可以是渐进的也可以是突变的，二在发生突变的可逆变换是，则是非常有意义的。这种变换可用电的方法、热的方法、加压的方法或暴露于紫外-可见辐射的方法进行诱导。在可见光范围用光谱的变化、显著地着色响应这些激励的材料分别是电致变色显示材料、热致变色显示材料、受压变色显示材料或光致变色显示材料。电致变色现象是一种与低电压下电化学诱导氧化还原反应相关的透射率或反射率可逆的看得见的变化，其典型的直流电压大约为1V。将变色材料沉积在透明导电的电极上，比如涂SnO2：F或铟-锡-氧化物的玻璃上。将电极浸在含有碱离子的一种适当的电解液中或者在某些有机薄膜的情况下，将电极浸没在一种适宜的阴离子电解液中。其代表材料有WO3、MO3。热致变色材料是一些过渡性金属化合物可见光区吸收光谱的变化因金属离子周围环境变化而发生变色的材料。其代表材料有VO2、Ag2S、FeS。受压变色显示材料是一些由于压力的变化材料的晶格发生急剧的体积变换，使材料结构进行