（凝聚态物理专业论文）化学腐蚀织构多晶硅电池的绒面和机械刻槽电池的研究.pdf

郑州大学硕士学位论文 摘要 摘要 商业化太阳电池降低成本的有效途径之一是提高现有电池的光电转换效 率。尽管多晶硅电池效率比单晶硅太阳电池低约 2 % ，由于其材料制作成本低于 单晶硅材料， 因此多晶硅组件比 单晶硅组件具有更大的降低成本的潜力。 然而多 晶硅太阳电池的表面各晶粒的晶向不一致， 缺乏有效的绒面技术。 而单晶硅电池， 目 前实验室的高效单晶硅太阳电 池的效率己大于2 4 % 。但工艺复杂，成本较高。 单晶硅商业化电池效率较低，一直徘徊在 1 3 % - 1 5 % 左右。如何将实验室的高效单 晶硅电池的制备工艺经过适当简化应用到工业生产上去，提高商业化电池的效 率， 是迫切要解决的问 题。 刻槽埋栅电 池正是借鉴了高效率电 池的优点， 结合常 规电 池的工艺发展起来的 一种新颖电 池，电 池效率在1 5 % - 1 7 % 之间， 成本与常规 电池基本相同， 极具发展潜力。本文针对上述两个问题， 进行了多晶硅太阳电池 的绒面技术和机械刻槽电池的研究，得出了以下结果: 多晶硅太阳电池的绒面技术。 由 于以h f + h n o ，十 h 2 o 为 溶液各向同性腐蚀与硅片的掺杂浓度有关， 结合生产 太阳电 池的实际需要， 本文重点研究了电阻率1 0 . c m 左右的多晶硅的腐蚀情况， 结果如下: ( 1 ) 反射特性 在适当的 h f + h n o , + h , o溶液中制备的多晶硅电 池的绒面，其反射率降到了 5 . 7 % 。 可以 和具有 t i o , - m g f , 双层减反射膜的常规碱腐蚀的结果相比 拟，且 在能 量较高的短波范围内具有更好的减反射特性。 这对于提高太阳电池的效率是极有 益的。 ( 2 )反射特性、形貌和腐蚀液的关系 1 ) 在高 h n o 。 的溶液中， 近似化学抛光， 制备的样品表面相对光滑。 适当 溶液中， 控制好反应时间使表面呈现蓝色， 硅腐蚀表面覆盖了一层s i o l 的减反射 膜， 反射率降到了9 . 3 % ， 比 氧化生成s i 0 2 的减反射效果好。 2 ) 在高h f 的 溶液中， 能够形成多孔的表面，h n o , 的浓度不变，随着 h f浓度的降低，反应速度较慢， 郑州大学硕士学位论文 摘要 腐蚀的结构更加细化， 均匀， 粗糙， 有利于光的吸收。 最好的实验结果反射率降 到了5 . 7 % 0 c 3 ) 反应机制 反应在机械损伤处发生优先腐蚀，导致较小的凹陷，这些凹陷逐渐增大， 最后变成坑， 通过化学腐蚀可以同时完成绒面的织构和去除机械损伤， 简化了 太 阳电池的生产工艺。 2 . 机械刻槽电池 电池结构的设计是依据b p 公司的刻槽电池设计的，在以前工作的基础上， 进一步改变化学镀工艺条件，是串联电阻由原来的0 . 5 0 降低到了0 . 1 4 ，并联 电阻由原来4 5 。 增加到了1 1 1 9 . 7 0。 使填充因子由原来的4 9 . 8 % 增加到了6 6 . 3 % . 电 池效率有7 . 4 % 提高了8 . 2 % ，加上绒面工艺能达到9 . 1 % 。 若进一步改善铝背场 及扩散工艺条件，有望达到 1 4 % 的效率。 郑州大学硕士学位论文 abs t r ac t abs tract o n e o f t h e e ff e c t i v e w a y s l o w e r i n g t h e c o s t o f t h e c o m m e r c i a l s o l a r c e l l i s i m p r o v i n g t h e e f f i c i e n c y o f t h e s o l a r c e l l a t p r e s e n t . a l t h o u g h t h e e f f i c i e n c y o f t h e m u lt ic ry s t a l s i s o l a r c e l l i s l o w e r t h a n t h a t o f m o n o c ry s t a l s i , t h e m u l t i c ry s t a l s i m a t e r i a l i s c h e a p e r t h a n m o n o c ry s t a l s i , s o t h e m u l t i c ry s t a l s i m o d u l e h a s m o r e p o t e n t i a l r e d u c i n g t h e c o s t . h o w e v e r , d u e t o t h e r a n d o m o r i e n t a t io n o f t h e c ry s t a l g r a i n s , t h e r e h a v e n t b e e n s a t i s f a c t o ry t e c h n i q u e s i n t e x t u r i n g t h e s u r f a c e . a t p r e s e n t , t h e e ff i c i e n c y o f t h e h i g h - e f f i c i e n t m o n o c r y s t a l s i s o l a r c e l l m a d e i n l a b o r a t o ry h a s b e e n o v e r 2 4 % , b u t t h e p r o c e s s i s c o m p l i c a t e d a n d t h e c o s t i s e x p e n s i v e . t h e e f f i c i e n c y o f t h e c o m m e r c i a l m o n o c rys t a l s i s o l a r c e l l i s l o w a b o u t 1 3 % , t h e r e f o r e , t h e u r g e n t p r o b l e m i s h o w t o s i m p l i f y t h e p r o c e s s o f t h e h i g h - e ff ic i e n c y m o n o c ry s t a l s i s o l a r c e l l i n l a b o r a t o ry a i d a p p l y t o i n d u s t r i a l p r o d u c t i o n . t h e g r o o v e d b u r i e d c o n t a c t s o l a r c e l l c o m b i n e s h i g h -ef f i c i e n c y o f t h e h i g h - e f f i c i e n c y s o l a r c e l l a n d l o w c o s t o # t h e c o m m e r c i a l s o l a r c e l l , i t h a s l a r g e p o t e n t i a l . a c c o r d in g t o t h e s e i d e a s , t h e p a p e r s t u d i e s t h e t e x t u r i n g o f t h e m u l t i c ry s t a l s i s o l a r c e l l a n d t h e m e c h a n i c a l g r o o v e d b u r i e d c o n t a c t s o l a r c e l l . 1 .t h e t e x t u r i n g o f m u l t i c ry s t a l s i s o l a r c e l l . a s t h e i s o t r o p i c e t c h i n g b e i n g r e l a t e d t o t h e r e s i s t i v i t y o f t h e s i m a t e r i a l a n d c o m b i n i n g t h e p r a c t i c a l n e e d o f t h e s o l a r c e l l p r o d u c t i o n , t h e p a p e r e m p h a s i s o n t h e e t c h i n g o f t h e m u l t i c ry s t a l s i w i t h r e s i s t i v i t y o f a b o u t 1 q .c m. t h e r e s u l t s : ( i )r e fl e c t a n c e c h a r a c t e r i s t i c s t h e a p p r o p r i a t e e t c h in g s o l u t i o n s h a s l e d t o a r e d u c t i o n o f t h e t o t a l i n t e g r a t e d r e fl e c t a n c e t o 5 .7 % , w h i c h i s q u i t e c o m p a r a b l e w i t h c o n v e n t io n a l l y p r e t e x t u r e d s i s u r f a c e c o v e r e d b y a d o u b l e l a y e r a r c . a n d t h e r e fl e c t a n c e i n t h e s h o r t w a v e l e n g t h r a n g e i s l o w e r t h a n t h a t o f a d o u b l e la y e r a r c , w h i c h i s b e n e f i c i a l f o r i m p r o v i n g t h e s o l a r c e l l e f f i c i e n c y . ( 2 ) r e fl e c t a n c e c h a r a c t e r i s t i c s a n d mo r p h o l o g y , t h e e t c h i n g s o l u t i o n s . 1 ) i n t h e 郑州大学硕士学位论文 abs t r a c t s o l u t i o n s w i t h h i g h h n 0 3 c o n c e n t r a t i o n , t h e e t c h i n g i s s i m i l a r t o c h e m i c a l p o l i s h i n g w h ic h p r o d u c e s fl a t s u r f a c e .9 .3 % s u r f a c e r e fl e c t a n c e i s o b t a i n e d t h r o u g h s t o p p i n g e t c h i n g w h e n t h e b l u e c o l o r i s a p p e a r i n g o n t h e s u r f a c e , w h i c h i s l o w e r t h a n 1 5 . 7 % r e fl e c t a n c e o f s i o 2 l a y e r a r c . 2 ) i n t h e s o l u t i o n s w i t h h i g h h f c o n c e n t r a t i o n , t h e p o r o u s s u r f a c e i s f o r m e d o n t h e m u lt i - c s u b t r a c t s . t h e r e a c t i o n s p e e d b e c o m e s s l o w e r w i t h t h e d e c r e me n t o f h f c o n c e n t r a t i o n , w h i c h m a k e s t h e s u r f a c e r o u g h e r . ( 3 ) r e a c t i o n me c h a n i s m t h e t e x t u r i n g p r o c e s s s t a rt s o n a s - c u t m u l t i - s i w a f e r s . t h e r e m o v a l o f s a w d a m a g e a n d s u r f a c e t e x t u r i n g i s b e i n g d o n e s i m u l t a n e o u s l y i n o n e s h o rt c h e m i c a l s t e p . 2 . t h e m e c h a n i c a l l y g r o o v e d b u r i e d c o n t a c t c e l l s t h e s t r u c t u r e o f c e l l s i s d e s i g n e d a c c o r d i n g t o t h e g r o o v e d b u r i e d c o n t a c t c e l l s o f b p c o m p a n y . i m p r o v i n g t h e e l e c t r o l e s s p l a t i n g p r o c e s s b a s e d o n t h e w o r k o f t h e p a s t d e c r e a s e s t h e s e r i e s r e s i s t a n c e f r o m 0 . 5 0 t o 0 . 1 。 ， i n c r e a s e s t h e p a r a l l e l r e s i s t a n c e f r o m 4 5 t z t o 1 1 1 9 . 7 q，i m p r o v e s t h e f i l l i n g f a c t o r s f r o m 4 9 . 8 % t o 6 6 . 3 %, t h e r e f o r e t h e c o n v e r s i o n e ff i c i e n c y c o m e s t o 8 .2 %. 9 . 1 % e ff ic i e n c y c a n b e a t t a i n e d w i t h t e x t u r i n g p r o c e s s . t h e c o n v e r s i o n e ff i c i e n c y o f 1 4 % i s p o s s i b l e i f t h e a l b a c k s u r f a c e f i e ld a n d t h e d i ff u s i o n p r o c e s s a r e i m p r o v e d . 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电池的 绒面技术和机械刻槽电 池 第一章引言 1 . 1 研究太阳能电 池的 意义 早在本世纪五十年代，第一个实用化的硅太阳能电池就在美国贝尔实验室 诞生了川 。 不久， 他即 被用于人造卫星的发电系统上。 迄今为止， 太空中成千上 万的飞行器都装备了太阳电池发电系统。 尽管如此， 太阳电池在地面的应用却一 直未得到广泛的重视， 直到七十年代世界出现“ 石油危机”， 地面大规模应用太 阳电池发电系统才被列上许多国家的议事日 程。 进入八十年代时期， 环境继能源 之后又成为国际社会普遍关注的焦点之一， 越来越多的政府和老百姓认识到， 常 规能源不仅数量有限， 而且使用时对环境的污染和生态平衡的破坏日 益严重， 人 类要生存下去， 现代文明要持续地发展下去， 必须寻找一条可持续发展的清洁的 能源道路。光伏发电具有无污染、无可动部件、资源的普遍性和不枯竭等特点， 符合保护环境和可持续发展的要求。因此全人类再次把目 光集中到太阳光发电 上， 从而大大加速了开发利用的步伐。 现在光伏发电已 成为新能源领域之中发展 最快的 研究方向之一。 世界各国都非常重视其发展， 发达国家近几年纷纷出台 促 进太阳电池产业和市场发展的政策和措施， 如日 本通产省公布了 新的光伏、 风能 和太阳能热利用计划， 计划到2 0 1 0 年光伏发电累计安装达到5 g w ; 欧盟的可再生 能源白 皮书及相伴随的“ 起飞运动” 是驱动欧盟光伏发展的 里程碑， 计划到2 0 1 0 年的光伏发电量计安装量达3 g w ; 美国能源部更是抓住新世纪开始的机遇，于 2 0 0 0 年1 月日公布了新的五年国家光伏计划和2 0 2 0 - 2 0 3 0 年的长期规划， 新计划 宏大且富有挑战性， 美国将其与阿波罗登月计划相媲美。 其挑战性表现在要使光 伏技术象其他能源技术一样地发展， 要使太阳电池板安装在每一个房屋上， 安装 在地球上的每一个角落， 并认为新世纪的能源供应最终将有象光伏这样的可再生 能源取代。 1 9 9 5 初我国国家科委，国家计委和国家经贸委共同制定的 中国新能源和 可再生能源发展纲要 )中也指出: “ 从能源长期发展战略高度来审视， 我国必须 寻求一条可持续发展的能源道路， 新能源和可再生能源对环境不产生或很少产生 污染，既是近期必需的补充能源，又是未来能源结构的 基础。 ”并将太阳光伏发 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电池的绒面技术和机械刻槽电 池 电技术列为优先发展的项目 之一。 可见，光伏发电对解决能源危机和环境问题具有重要意义。 1 . 2单晶硅电池的发展 在各种硅太阳电池中，晶体硅电池一直占据着最重要的地位。近年来晶体 硅电池在提高效率和降低成本方面取得了巨大成就。 晶体硅电池的发展大致经历 了三个阶段。 第一个阶段( 1 9 5 4 - 1 9 7 0 ) : 硅太阳电 池的 效率从最初的6 % z 迅速提高到1 2 % 左右， 这个阶段硅太阳电池效率迅速提高是由 于电 子工业的发展和对硅材料及硅 平面工艺的研究不断深入造成的。 第二个阶段( 1 9 7 2 - 1 9 8 0 ) : 这个阶段太阳电 池开始了 一个蓬勃发展的时期， 这个阶段不仅出现了许多新型的电池， 而且新引入了许多新技术， 使电池的效率 提高到 1 5 % 左右。主要如下: 1 . 背表面场 ( b s f ) 电池一在电 池的背面接触区引入同型重掺杂区。由于改 进了接触区附近的收集性能而增加了电 池的短路电流; 背场的作用可以降低饱和 电 流， 从而改善开路电 压， 提高电 池效率叼 。 2 . 紫光电池一这种电 池最早 ( 1 9 7 2 ) 是为通信卫星开发的。因其浅结 ( 0 . 1 - 0 . 2 u m ) 密栅 ( 3 0 / c m ) , 减反射 ( t a z 0 5 一 短波透过好) 而获得高效率， ) 。 3 . 表面织构化电池一也称绒面电池，减小了电池表面的反射并提高了光生 载流子的收集fi 。 最早 ( 1 9 7 4 ) 也是为通讯卫星开发的， 其a m o 时电 池效率11 - :1 1 5 % , a m 1 时 r i 1 8 % 。这种技术后来被高效电池和工业化电 池普遍采用。 4 . m i n p 电 池和m i s 电 池 一氧化层减小了 正表面的复合。 5 . 钦一 把一 银金属化电 极(9 1和减反 射膜 1o 1在硅太阳电 池发展起了 重要作 用。 第三个阶段 ( 1 9 8 0 一 今) :8 0 年代初， 硅太阳电 池进入快速发展的时期。 这个时期的主要特征是把表面钝化技术、降低接触复合效应、后处理提高载 流子寿命、改进陷光效应引入到电池的制造工艺中。以各种高效电池为代表， 电 池效率提高到2 4 % 。 商业化生产成本进一步降 低。 1 . 高效电池一近年来硅电池的一个重要进展来自 于表面钝化技术的提高，从 p e s c 电 池， ” 12 的薄 氧化层( 小 于1 0 n m ) ， 到p c c u .0 、 p e r c 0 , r e r l 0 电 池的 厚 氧 郑州大学硕士学位论文 多品硅电池的绒面技术和机械刻槽电池 化层 ( 约1 1 0 n m ) ， 热表面氧化钝化技术使表面态密度降到1 0 0 / c m ， 以 下， 表面复 合速度降到低于1 o o c m / s 。 表面v 型槽和倒金字塔技术 12 . 14 1 、 双层减反射膜技术 的 提高p c l 和陷光理论的完善( 17 1 也进一步降低电 池表面的反射和提高了 对红外光 的吸收。 单晶硅高效电池的典型代表是新南威尔士大学( u n s w ) 的钝化发射区电池 ( p e s c , p e r c , r e r l )、斯坦福大学的背面电 接触电 池 ( p c c )以及f r a u m h o t e r 太 阳能研究所的局域化背表面场电池 l b s f )等。其效率都在2 0 % 以上。 2 ， 低成本硅电池一激光刻槽埋栅电池是u n s w 开发的适应产业化发展的高效 电池， 具有栅线阴影面积小， 接触电阻损失小， 较高的电流收集效率等优点。目 前常规的b c s c 电 池的效率最高达到1 9 . 6%b1 ， 而采用了p e r l 电 池背面结构的 b c s c 电 池的效率达到2 1 . 5 % 0 b 1 。 机械刻槽埋栅电 池以 机械刻槽代替激光刻槽便于 实现机械化生产， 比l g s c 更具有产业化前景。 目前国内m g s c电池的最高效率为 1 8 . 4 7 % . 1 . 3 多晶硅电池的发展 多晶硅太阳电池的出 现主要是为了降低成本。其优点是能直接制备出适合 于规模化生产的大尺寸型硅锭， 设备比较简单， 制造过程简单省电， 节约硅材料， 对材质要求比较低， 因而多晶硅组件比单晶硅组件在降低成本方面具有更好的前 景。提高多晶硅电 池效率的研究工作也更加受到重视，近1 0 年来多晶硅高效电 池的发展很快， 其中比 较有代表性的 工作是g e o g i a t e c h 电 池， u n s w 电 池， k y o c e r a 电池等。 1 . g e o r g i a t e c h 电池z ll g e o g i a 工业大学光伏中心的多晶 硅电 池，n 发射区的形成和磷吸杂结合，采 用快速过程制备铝背场， 用l i f t - o f f 法制备t i / p d / a g 前电极， 并加双层减反射 膜。l c m ， 电池的a m i . 5 下达到1 8 . 6 % 0 2 . u n s w电池 u n s w 光伏中心的高效多晶硅电池工艺基本上与p e r l 电池类似，只是前面织 构化不是倒金字塔，而是用光刻和腐蚀工艺制备的蜂窝结构。l c m ， 电 池的效率 a m i . 5 下达到1 9 . 8 % 2 ， 1 0 3 . k y o c e r a电池 日本k y o c e r a 公司在多晶硅高效电池上采用体钝化和表面钝化技术， 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电 池的绒面技术和机械刻槽电池 p e c v d - s i 3 n ; 膜作为减反射膜，又作为体钝化措施。表面织构化采用反应性粒子 刻蚀技术。背场则采用丝网漏印铝浆烧结形成。电 池前面栅线也采用丝印技术。 1 5 c m x 1 5 c m 大面积多晶硅电 池效率达1 7 . 1 % 2 1 0 4国内多晶硅电池 北京有色金属研究总院在多晶 硅电池方面作了 大量研究工作，目 前 l o c m x 1 0 c m 电池效率达到1 1 . 8 % ， 北京太阳能研究所在 “ 九五”期间开展了多晶 硅电 池研究， l c m ， 电池效率达到1 4 . 5 % 。 我国中式生产的l o c m x 1 0 c m 多晶硅太阳 电池的效率为1 0 - 1 1 % e 1 . 4 开题思想 目 前太阳电池价格较高，极大的限 制了它的应用范围和发展速度。光伏发电 能否成为下一世纪主要能源的形式之一， 关键在于其成本能否尽快下降到可与常 规能源相竞争的程度。 多晶硅电池的出现主要是为了降低成本，其材料制作成本低于c z 材料. 但由 于其表面各晶粒呈现不同的晶向，不如单晶硅那样能经由n a m腐蚀得到理想的 绒面结构， 所以增加了其表面光的反射， 降低了效率。 如果能寻找一种理想的多 晶硅绒面技术， 对于降低太阳电池成本具有重要意义。 因而对其表面进行各种处 理以 达到减反射的作用成为近期研究的目 标。 人们主要采用了以下几种措施: 1 . 反 应性 粒 子刻 蚀技 术 23 反应性粒子刻蚀技术是用氯等离子气体在多晶硅表面形成类似金字塔的结 构。 其缺点是降低表面反射的同时也增加表面载流子的复合， 且其工序时间较长， 不适合工业化生产。2 4 2机械v 微型槽绒面技术2 5 1 机械v 型槽绒面技术是用多刀砂轮进行表面刻槽，形成v 字型结构，能够很 好地降低光的表面反射， 且由 于多刀砂轮的应用其生产量能够满足工业生产的要 求，但其表面深的沟槽影响其电极的制作。 3 . 蜂窝绒面结构技术【2 2 1 蜂窝绒面结构技术是用s i n 作为掩膜，采用光刻技术和湿腐蚀技术而在其表 面形成蜂窝结构， 起到了 很好的陷光作用， 但其工艺复杂， 成本较高， 不适应工 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电池的绒面技术和机械刻槽电池 业化生产。 4 . 电 化 学 腐 蚀2fi 电化学腐蚀需要在特定装置进行，如图 1 . 1 示 生 白 ，:rik ,娇 1 二 ，几 二 f- a m5 . ?.浓 图 1 . 1 刀 ， 弓 阳极腐蚀装置 以上几种方案在面向工业化生产中都存在一定问题。而化学腐蚀法是在 h f , h n 0 3 和h 2 o溶液中发生的各向同性腐蚀。方法简单，成本低，适合工业化 生产。 国 外学者r e n a t r . b i l y a o v , l . s c h i r o n e z - t 等人采用化学腐蚀法制作的多 孔硅层， 主要是用其多孔硅氧化膜作为减反射膜， 得到了较好的减反射性能。 为 了不增大电极的接触电阻， 此方案一般是先做电池， 然后在发射区上面腐蚀形成 一层多孔硅，而发射区只有0 . 3 - 0 . 5 u m ，对多孔硅层的厚度要求十分严格，存 在着厚度难以控制的问题。 且尚未在多孔硅的织构化上多加考虑。 用化学法形成 的多孔硅织构多晶硅的表面， 先形成绒面， 然后再做电池， 对其腐蚀厚度的要求 不 是 十 分 精 确， 同 样 可以 达 到 减 反 射 的 效 果 。 j . s z l u f e i k , f . d u e r i n c k 1 2 等 人采用化学法织构多晶硅表面， 获得了理想的绒面， 使多晶硅电池的效率达到了 1 6 . 8 % 。国内 学者林安中， 孟凡英78 - 4 0 等人用化学法织构多晶 硅的表面， 均未获 得较好的效果。 因此， 进行化学腐蚀法织构多晶硅电池的绒面研究， 对于提高国 内商业化多晶硅电池效率，降低太阳电池成本具有重要意义。 单晶硅高效电 池国外最高效率己 达到2 4 . 7 % ， 国内也达到了2 0 . 4 % 。 而商业化 电池效率国外在1 3 % - 1 6 t oo 之间，国内 更低，因此，当前的最大问题是如何将高效 电池制造技术应用到商业化电池上， 提高商业化电池的效率， 增加单位面积电池 板的输出，达到进一步降低成本的目的。而u n s w开发的刻槽埋栅电池是一种高 效率且适用于规模化生产的新颖电池，其成本与常规电池差不多，而效率较高， 结合当前国内单晶硅商业化电池效率普遍较低的实际情况， 研究适于工业化生产 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电 池的绒面技术和 机械刻槽电 他 的机械刻槽埋栅电池， 能够提高商业化电 池效率， 这对于太阳电池的推广和应用 具有重要意义。 因此，针对上述存在的问题，我们重点进行了多晶硅电池的绒面制备技术和 机械刻槽硅太阳电池研究。 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电池的绒面技术和机械刻槽电 池 第一章 参考文献 1 d . c h a p t e r e t a l . ，j . a p p l . p h y s . ， 2 5 , 6 7 6 ( 1 9 5 4 ) 2 赵玉文， 8 5 - 9 4 , 林安中，晶体硅太阳电池及材料，太阳能学报，v o 1 : 1 0 , p p : 1 9 9 9 3 m . g r e e n e t a l，2 ” w c p e c , ( 1 9 9 8 ) 4 m a n d e l k o n j , l o m n e c k j h . a n e w e l e c t r i c f i e l d e f f e c t i n s i l i c o n s o l a r c e l l . j a p p l i e d p h y s i c s , 1 9 7 3 , 4 4 : 4 7 8 - 4 7 8 7 5 l i n d e r j , a l l i s o n j . t h e v i o l e t c e l l : a n i m p r o v e d s i l i c o n s o l a r c e l l . c o m s a t t h e h n i c a l r e v i e w , 1 9 7 3 , 3 ; 1 - 2 2 6 h a y s o n s j , a l l i s o n j , a r n d t r , e t a l . t h e c o m s a t n o n - r e f l e c t i v e s i l i c o n s o l a r c e l l :a s e c o n d g e n e r a t i o n i m p r o v e d h a m b u r g : c e l l . i n : i n t c o f o n p h o t o v o l t a i c p o w e r g e n e r a t i o n . 1 9 7 4 . 4 8 7 7 g r e e n m a , b l a k e r a w , s h i j , e t a l . i e e e t r a n s e l e c t r o n d e v i c e s , 1 9 8 4 3 1 ( 5 ) : 6 7 9 - 6 8 3 8 g o d f r e y r b , g r e e n m a . a p p l . p h y s . l e t t，1 9 7 9 , 3 4 : 7 9 0 - 7 9 3 9 m a n d e l k o r n j , m c a f e e c , k e s p e r i s j , e t a l . f a b r i c a t i o n a n d c h a r a c t e r i s t i c s o f p h o s p h o r u s - d i f f u s e d s i l i c o n c e l l s . j e l e c t r o n s o n , 1 9 6 2 , 1 0 9 : 3 1 3 1 0 s e x t o n f w . p l a s m a n i t r i d e a r c o a t i n g s f o r s i l i c o n s o l a r c e l l s . s o l a r e n e r g y m a t e r i a l s , 1 9 8 2 , 7 ( 9 ) :1 一 1 4 1 1 b l a k e r a w , g r e e n m a , a p p l i e d p h y s i c s l e t t e r s , 1 9 8 5 , 4 7 ( 8 ) : 8 1 8 - 8 2 0 1 2 b l a k e r a w , g r e e n m a , a p p l i e d p h y s i c s l e t t e r s , 1 9 8 6 , 4 8 ( 3 ) : 2 1 5 - 2 1 7 1 3 s i n t o n r a , k w a r k y , g r u e n b a m p . e t a l . 1 8 i e e e p h o t o v o l t a i c s p e c i a l i s t s c o n f e r e n c e . 1 9 8 5 . 6 1 - 6 5 1 4 b l a k e r a w , w a n g a , m i l n e a m , e t a l . a p p l i e d p h y s i c s l e t t e r s , 1 9 8 9 , 5 5 03 ) : 1 3 6 3 - 1 3 6 5 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电池的绒面技术和机械刻槽电池 1 5 b l a k e r a w , z h a o j , g r e e n m. a , a p p l i e d p h y s i c s l e t t e r s , 1 9 9 0 5 7 ( 6 ) : 6 0 3 - 6 0 4 1 6 z h a o j , g r e e n m . a , i e e e t r a n s e l e c t r o n d e v i c e s , 1 9 9 1 , e d - 3 8 : 1 9 2 5 - 1 9 3 4 1 7 c a m p e l l p , g r e e n m a . j a p p l i e d p h y s i c s , 1 9 8 7 , 6 1 : 2 4 3 - 2 4 9 仁 1 8 c h o n g c m , w e n h a m s r , g r e e n m . a . h i g h - e f f i c i e n c y l a s e r g r o o v e d b u r i e d c o n t a c t s i l i c o n s o l a r c e l l s , a p p l i e d p h y s i c s l e t t e r s , 1 9 8 8 , 5 2 ( 5 ) : 4 0 7 - 4 0 9 仁 1 9 s . w e n h a m e t a l . ， s o l a r e n e r g y m a t e r i a l s a n d s o l a r c e l l s , 3 4 , 1 0 1 ( 1 9 9 4 ) 仁 2 0 z h a o y u w e n , l i z h o n g m i n g , m o c h u n d o n g , l i z h i m i n g , y u y u a n , c h e n z h i y u n , h e s h a o q i , i n t e r . p v s e c - 9 - 3 1 5 2 1 r o h a t g i a , s a n a p , s a l a m i j , i n : p r o o f t h e 1 1 e u r o p e a n p h o t o v o l s o l a r e n e r g y c o n f . m o n t r e x : 1 9 9 2 . 1 5 9 - 1 6 3 2 2 j i a n h u a z h a o , a i h u a w a n g , p a t r i c c a m p e l l , a n d m a r t i n a . g r e e n , a 1 9 . 8 % e f f i c i e n t h o n e y c o m b m u l t i c r y s t a l l i n e s i l i c o n s o l a r c e l l s w i t h i m p r o v e d l i g h t t r a p p i n g , ”i e e e t r a n s a c t i o n s o n e l e c t r o n d e v i c e s , v o l . 4 6 , p p . 1 9 7 8 - 1 9 8 3 , 1 9 9 9 2 3 y . i n o m a t a , k . f u k u i , k . s h i r a s a w a , s u r f a c e t e x t u r i n g o f l a r g e a r e a m u l t i c r y s t a l l i n e s i l i c o n s o l a r c e l l s u s i n g r e a c t i v e i o n e t c h i n g m e t h o d , ” s o l a r e n e r g y m a t e r i a l s a n d s o l a r c e l l s , v o l . 4 8 , p p . 2 3 7 - 2 4 2 , 1 9 9 7 2 4 h . d e k k e r s e t a l ，1 6 t e c p v s c , g l a s g o w , m a y 2 0 0 0 , t o b e p u b l i s h e d 2 5 f . d u e r i n c k x , j . s z l u f c i k e t a l . ， h i g h e f f i c i e n c y , m e c h a n i c a l l y v - t e x t u r e d , s c r e e n p r i n t e d m u l t i c r y s t a l l i n e s i l i c o n s o l a r c e l l s w i t h s i l i c o n n i t r i d e p a s s i v a t i o n , ”2 w o r l d c o n f e r e n c e a n d e x h i b i t i o n o n p h o t o v o l t a i c s o l a r e n e r g y c o n v e r s i o n , v i e n n a ( 1 9 9 8 ) ，1 2 4 8 口 6 黄庆安编著， 硅微机械加工技术， 科学出 版社，1 9 9 6 2 7 l . s c h i r o n e , g . s o t g i u , f . p . c a l i f a n o , c h e m i c a l l y e t c h e d p o r o u s s i l i c o n a s a n a n t i - r e f l e c t i o n c o a t i n g f o r h i g h e f f i c i e n c y s o l a r c e l l s t h i n s o l i d f i l m s , 2 9 7 ( 1 9 9 7 ) 2 9 6 - 2 9 8 郑州大学硕士学位论文 多晶硅电池的绒面技术和机械刻槽电池 2 8 s . s t r e h l k e , d . s a r t i , e t a l，p o r o u s s i l i c o n e m i t t e r a n d h i g h e f f i c i e n c y m u l t i c r y s t a l l i n e s i l i c o n s o l a r c e l l s , b a r c e l o n e , s p a i n , 3 0 j u n e - 4 j u l y 1 9 9 7 , 2 4 8 0 - 2 4 8 3 2 9 d . d i m o v a - m a l i n o v s k a , m . s e n d o v a - v a s s i l e v a , e t a l . ，p r e p a r a t i o