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文档简介

管式炉与马弗炉的使用、注意事项及禁止操作,使用说明,1管式炉用途：目前有大小两种管式炉，两者均能通氮气（惰性气氛）进行热处理实验；大炉子开始应用于CVD（化学气相沉积）。装置：气体流量；石英管；炉子。,使用说明,2管式炉使用方法如图示，顺时针旋转解开lock，显示turnon的状态。按下右上角A/M键开始设置温度和时间，每设置好一个参数按下左上角按钮确定。程序升温即表示升温过程按设定参数进行，C01经过t01后达到C02，再经过t02达到C03，以此类推。设定的参数为起始/终止温度及其时间段。实验前要了解实验所需升温速率及保温时间设置参数完毕，同时按下第一排的两个按钮归位至起点，长按左下角RUN开启升温。,使用说明,3气体流量装置流量装置可通入氢气，氮气，乙炔和甲烷（左到右）。目前使用：氮气和乙炔惰性气氛热处理，需要先氮气吹扫。开启流量装置和相应气体，将示数下的档位拨至清洗档即吹扫10min，再拨至阀控档即可开始升温。,2019/12/12,5,可编辑,使用说明,4使用管式炉，石英管1)Fig1,石英管右端装有法兰，适当调整长度ab,以免管子产生应力损坏；承受温度900；2)Fig2,瓷舟内含KOH样品膨胀较大会引起样品受热区域的改变，可适当调整位置。可适当减少样品量减少KOH对石英管的腐蚀；3)Fig3,高温区域尽量避免管子可能腐蚀损坏的位置。另外，CVD系统单独使用石英管。,使用说明,5马弗炉用途及使用方法马弗炉常用于制备氧化物材料中的热处理过程。马弗炉不能通入惰性气体。使用方法同管式炉，均为程序升温。,注意事项及禁止操作,1、CVD使用乙炔时，不能用小管式炉进行氮气保护热处理；2、热处理过程中务必开启通风橱；3、在温度降至200以下时可以打开管式炉少许，加快降温；4、使用务必预约登记；5、严禁将屋外钢瓶的分压阀调至0.5兆帕以上，以免损坏流量装置；6、严禁随意取出他人样品；如需取出务必通知样品所
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