（材料学专业论文）高分子基底上氟碳膜的制备、结构和性能.pdf

摘要 本文利用射频磁控溅射的方法，以聚四氟乙烯( p t f e ) 为靶材， 在聚酰亚胺f p i ) 和聚丙烯( p p ) 基底上沉积氟碳膜，对不同工艺条 件( 放电功率、真空度、处理时间) 进行了探讨。利用扫描电镜 ( s e m ) 、原子力显微镜( a f m ) 和透射电镜( t e m ) 观察了氟碳膜 的生长情况和表面形貌，初步探讨了成膜机理以及表面形貌与工艺条 件的关系。从se m 的照片上可以看出：随着功率和压力的提高，氟 碳膜颗粒更加密集，粒径变小且分布均匀。随着时间的增加，成膜颗 粒先连成岛，然后勾连成膜，然后逐层生长成多层膜。a f m 的测试 结果表明在p i 基底上沉积的氟碳膜呈现一种特殊的多叉状粒子，而 在p p 基底上的氟碳膜粒子多呈圆形。t e m 的观察发现在6 0 m i n 内，在p i 基底上氟碳膜的沉积速度较为均匀，在p p 基底上的沉积 速度较慢。 用x 射线光电子能谱( x p s ) 研究了氟碳膜表面结构随功率和 压力的变化规律，发现氟碳比随功率的增加而减小，随压力的增加而 增大。最后研究了不同功率、压力、溅射时间对氟碳膜憎水性能的影 响，并测量了氟碳膜的接触角，发现接触角随功率的增加而减小，随 压力的增加而增大。时间对接触角的影响较为复杂，在30 分钟内， 接触角随溅射时间的增加而增大，30 分钟以后，接触角基本不变。 关键词：射频磁控溅射、p t f e 、氟碳膜、成膜机理、表面形貌、表 面结构、接触角、扫描电镜、透射电镜、x 射线光电子能 谱。 f 1 u 0r o c ar b o nf i l m s m a g r i t e tr 0 1 1 s p u t t e r i n g a bs t r a c t a r e p r e p l t r e d b y f a d i 0 f r e q l i e n c y t h e p 0 1 y t e t r a f l u 0 1 0 e t h y l e n e ( p t f e ) is us e da s t a r g e t s f l t t o r o c a r b o n f i l m sa r e d e p 0 s i t e d0 n t o p 0 1 y i m i d e ( p i ) a n dp 0 1 y pr o p y r e n e ( p p ) s u bs t r a te s r e s p ee t i v e l y v a r i 0 珏s d i s e h a r g e e o n d i t i 0 建s ( v o i t a g e ， v ac u u n la n dt r e a t i r l g t i m e 、a r ed isc u ss e d t h e g r o w t h m e c h a 娃is mo ff l u 0 f o c ar b o nf i l m s8r e i 1 1 i t i a l l y s t u d i e da n d t h e i r r l l o r p h 0 1 0 9 y ar eo b s e r v e d b y m e a n $o f s c a n i l i n g e 1 e c t r 0 1 1m i c r o s c o p y ( s e m ) 、a t o mf 0 r c em i c t o s e 0 p y ( a f m ) a n dtr a n s m i s s i o 建e | e c t r o r lm i e r 0 s c o p y ( t e m )。fr o mt h e p h o t 0 s0 fs e m w ef 0 1 , 1 1 1 dt h a tt h e p a r t i c l e s0 ff 1 1 1 0 r o c a r b o n f i l msd i s tr i b u t em 0 1 - e u n i f o r m l y ，j o i n n l o f e t i g h t l y a n d d i a me t ero ft he p a r t ic l esbec o m es n l a l l erw i t hi ncr e a s i n g 0 f p o w e f a n d p r e s s t i r e 。w i t 蠡i 1 3 cr o a s i l 1 9t r e a t i n g t i 辙e ，t h e p a r t i c l e s gr 0 wi n t 0 i s l a n d s a l l df i n a l l y c o ns tr u c tf i l m t h e t es t0 fa f mi n d ie a te st h a tt h e s h a p e 0 ff l u 0 r 0 c a r b o nf i l 瓣s p a r t i c1 eso np i8 u bs t r a t e q l l i t ep e c u l i ar a n dr 0 1 3 1 1 d n e s s0 n p ps 1 1 bs t r a t e b yi l l e a n so ft e mw ef o u l 3 dt h e s p e e d 0 f d e p o s i t0 1 1 p is u b s t r a t ef a s t e rt h a nt h a to f0r lp ps 1 3 bs tr a t e 。 t 1 1 es ur f a ces tr u c t ur e0 ff l u 0r o c ar b 0 r lf i l msisa 1s 0 i 撞v 。s t i g a t e db y x p s 。t h er a t i 0f cd ee f e 鑫s e sw i t ht h e i 1 1cr e as eo f p o w e r b u ti n cr e asesw h e n p r ess i l l ei nc r e as e t h e p o w e r h a sm o r en l 毫r k e de f f e e t0 矬f et h 鑫nt h a to f p r ess l l r e c 0 t i t a c t a n 9 1 e 0 ff l u 0r o ca r b 0 r lf i l ms0 b t a ir l e da t d i f f e r er l to fp o w e r 、p r e ss ur ea n dtr e a t i n gt i m e i tisf o u n d t h a te o n t a c t a n 9 1 ed e e r e a sew i t h p 0 w e ri n cr e a s e ， a n d i 1 2cr e as ew i t hpr ess 1 r ei ncr e as e t h ea f f ec to ft r e a t i n gt i m e isve r yc o m p i e x k e yw o r d s ：r fm a g n e t r o ns p u t t e r i n g ，p t f e ，f l l l o r o c a r b o n f i l m s ，g r o w t h m e c h a n i s m ， s ur f a c e m o r p h o l o g y ， s u r f a c es t r uc t u r e ，c o n t a g t a n 9 1e ，s e m ，t e m ，x p s 第一章文献综述 第一章文献综述 1 ，1 磁控溅射的发展撅述 溅射现象早在1 8 5 2 年，为英国人g r o v e 在辉光放电中观察到的从阴搬飞溅 出豹锈震浩染在管壁上。从1 8 7 0 年开始就已将溅射现象用于薄膜的制作，但 是，达到实曩他菸在工业上广泛使用却楚1 9 3 0 年以后的事。溅射镀膜遵常是 剥翅气薅教毫产生麴正逡子在墩场掺足下毫速轰老撂为阴极驰靶体，搜靶髂中囊皇 霖子( 或分子) 逸瞧，浣积刘技镀綦体豹表嚣，形成赝熏要螅薄膜。出于溅射镀 藏能制各许多不嗣成分帮特瞧熬磅戆薄貘，辫姥7 0 年代以囊，穗发建成为薄膜 技术中重要静一荦申镀袋方式。至今溅射镀骥已广泛斑建在耄子工业、光学、机 械、纯学、鳌辩工盈等方蘧。毽是营遽豹二投溅射由手操搏燕力蹇( 1 一o 一 m b a r ) 、平均蠢由程小( l o 盔瑶) 、沉积遴率低困褥王洼剥翔徐簋举太。疆潜磅究 的深入，种高效斡溅射方法密瑗了，这就是平蟊磁控溅袈妇。3 。嚣来， c h a p i n “1 和w a i t s 持1 辩平谣磁控溅射分溺进行了研究帮改进。辘嚣磁控溅射疆 究逐渐兴起，各种高速磁藏溅射方戒也层击不穷，如l i f 磁控溅射，反瘟磁控 溅射，d c 磁控溅射。 磁控溅射的綦本原理，就是戬磁场来改变毽予酶运动方向，并束缚和延长 电子的运渤轨迹，从而提商了电子对工作气体的电离凡率和有效魄希j 糟了电予鳃 能量，因此使正离子对靶材轰击所s i 起的靶材溅射熨加膏效。同时，受正交毫磁 场束缚的电子，又只能在其能量要耗尽时才沉积在基片上，所疆磁控溅射其有 “低温”、“高速”两大特点“3 。 磁控溅射目前已成为一种非常有用的加工手段，工业上主要用于生产薄膜 和涂层。磁控溅射之所以发展迅速，主要是因为： ( 1 ) 磁控溅射技术简单易行( 一步法) 而且可靠； ( 2 ) 沉积速率完全能够满足工业生产的需疆，速率可与蒸镀技术相媲美； ( 3 ) 磁控溅射可用予连续化生产，已有工业化的例子，而且溅射膜的率度 强： 第一章文献综述 ( 4 ) 磁控溅射技术具有普适性，元素周期表中的元素几乎都可以溅射； ( 5 ) 磁控溅射中电子可循环利用，溅射效率高，有效动能增加。 ( 6 ) 磁控溅射为干法生产，无溶剂，可减少污染。 磁控溅射主要用于机械零件和工具的涂层、装饰涂层、抗腐蚀涂层、微电 子器件和固体润滑剂等。但大多数研究者以无机小分子和半导体作为基底，9 0 年代中期，我们开始在高分子基底上镀高分子功能膜，该项研究主要用于防水透 湿织物的制备。 1 2 碳氟膜的发展状况 碳氟膜由于具有优良的耐腐蚀性、低介电性、自润滑性、不粘性、疏水疏 油性等性质而得到研究人员的普遍重视 1 2 , 1 3 1 。它的最早研究是在二十世纪七十 年代，b a d d o u r 1 4 1 等人对在碳氟气体的辉光放电现象进行了研究。随后近三十年 中，碳氟膜的研究范围逐渐扩大，其应用范围已涉及到微电子、机械、光学、纺 织品等领域 1 5 - 2 t 】。下面将就碳氟膜的制各方法、性质等方面的研究进展进行综 述。 1 2 1 制备方法 从历史发展来看，碳氟膜的制备方法主要有真空蒸镀法 2 2 , 2 3 】、离子束溅射 法 2 4 , 2 5 和等离子聚合法【2 6 。2 3 1 。 ( 1 ) 真空蒸镀法 此种方法是通过在真空中对p t f e 加热产生气相产物，气相产物在基底上沉 积交联而制各碳氟膜的其加热源主要有电阻加热源和电子束加热源两种 2 2 , 2 3 i ，后一种加热方式的效率高于前一种方式。 w i l d e 2 3 】对电子束加热制备碳氟膜的形式机理进行了研究，通过质谱仪对热 蒸发产物研究，发现了大量的c f 、c f 2 、c f 4 和- c 2 f 2 碎片，而没有发现 c 2 f 2 单体。但另外一些研究人员【2 2 ，2 8 1 对形成过程研究时发现有大量c 2 f 4 单体产 生同时，w i l d e 通过红外吸收光谱的研究认为热蒸发制各的碳氟膜结构类似于 p t f e ，只是链较短、有分支而已，碳氟膜是无定形的。 第一章文献综述 在碳氟膜性质研究中含氟量是非常重要的，许多研究者利用x p s 对溅射 p t f e 7 7 ，引培3 1 和等离子聚合四氟乙烯【7 5 , 7 6 , 8 0 , 8 4 , 8 5 1 的氟碳比进行了计算，溅射p t f e 的氟碳比一般在1 3 - 1 6 ，等离子聚合四氟乙烯的氟碳比一般在1 2 1 6 之间。 r y a n 等人【8 6 】报道了溅射p t f e 中氟碳比与不同放电气体之间的关系，计算了 n e 、h e 、a r 的氟碳比为1 0 2 ，o 8 2 ，o 7 8 。h i s h m e h 7 8 1 利用氩离子溅射p t f e 获取的碳氟膜中氟碳比为0 8 9 。 g o l u b 盯1 针对以往研究人员所用碳氟膜制备条件的不同而难以进行比较的 情况，在同样设备和制备条件下，用溅射和等离子聚合两种方法制备了碳氟膜， 放电气体分别为h e 和a r ，详细研究了不同溅射气体、不同制各方法下碳氟膜的 相似形。 b i e d e r m a n l 8 明利用r f 磁控溅射法制备了碳氟膜，找出了自身溅射( s e l f - s p u t t e r i n g ) 模式所需条件，发现溅射膜是各向异性的，利用f t i r 提出了膜结 构的简单模型。 s a v a g e l 89 1 、p a n c h a l i n g a m t 9 0 】和j a n n h a n n 9 1 分别用脉冲等离子制备了碳氟 膜，s a v a g e 和p a n c h a l i n g a m 制备的碳氟膜中含有大量一c f 2 一基团，而j a n n h a n n 制备了以一c f 3 为主的碳氟膜。 1 3 本课题主要工作 为了开发新型防水透湿织物，我们尝试利用溅射技术在聚酯基底上镀氟碳 膜。前期已经进行了七年的探索，己在制备、结构与性能等方面作了较系统研 究，初步得到具有高憎水性的聚酯基底上的氟碳高分子涂层。但所用基底仅限于 p e t ，用其他高分子材料作为基底镀氟碳膜国内外还没见报道。本课题主要是在 前期经验的基础上，探索在聚丙烯( p p ) 、聚酰亚胺( p i ) 薄膜上镀氟碳膜。 由于基底的不同，氟碳膜的表面形貌、表面结构等方面也会发生大的变化。另 外，氟碳膜和不同基底的界面结合情况也不同，这些方面都值得进一步探索。过 去的研究者多以扫描电镜( s e m ) 和原子力显微镜( a f m ) 观察氟碳膜的表面 形貌，利用透射电镜( t e m ) 观察氟碳膜的表面形貌在国内外还没见报道，我 们在这方面也作了尝试。 r 第一章文献综述 本课题是利用具有优异的拒水、拒油性能的聚四氟乙烯( p t f e ) 作为靶 材，以膜科学中已大量使用的、具有连续化生产工业背景的镀膜技术一射频磁控 溅射法作为制备方法，在聚丙烯( p p ) 、聚酰亚胺( p i ) 薄膜上沉积碳氟膜，此膜由 于含氟量高，表面能很低，类似于聚四氟乙烯。可产生拒水、拒油的效果。 本课题的主要工作是在前人研究的基础上，进一步研究溅射成膜工艺参数 ( 功率、压力) 对碳氟膜表面形貌、表面结构和其应用性能的影响，找出其内在 的变化规律。为进一步的研制和开发打下基础。 1 、 氟碳膜的表面形貌及成膜机理研究 本课题利用扫描电子显微镜( s e m ) 、原子力显微镜( a f m ) 和透射电镜 ( t e m ) 观察了p i 和p p 基底上氟碳膜的生长情况及形貌特征，系统研究了不 同功率、压力、溅射时间对氟碳膜表面形貌的影响，找出其变化规律，并研究了 氟碳膜的成膜机理。 2 、氟碳膜表面结构的研究 氟碳膜的表面结构是薄膜质量的决定因素，我们利用x 射线光电子能谱 ( x p s ) 研究氟碳膜的表面结构，对x p s 谱图进行了分峰，计算了氟碳膜各组 分的百分比及f c 比。 3 、氟碳膜的拒水性能的研究 应用性能的研究才是最终目的，本课题主要是针对氟碳膜的憎水性、透湿 性，用静态接触角测定仪研究了不同工艺条件( 功率、压力、溅射时间) 对氟碳 膜接触角的影响，找出其变化规律，对其应用性能进行初步研究。 第一章文献综述 参考文献 1 】李学丹，万英超等，真空沉积技术，浙江：浙江大学出版社，1 9 9 4 ，6 5 。 2 s d d a h l g r e n ，e d m c c l a n a h a n ，p r o c s y m p d e p o s i t i o nt h i nf i l m ，3 r i d ，u n i v r o c h e s t e r ，p 2 0 ( 19 6 9 ) 3 1 s d d a h l g r e n ，e d m c c l a n a h a n ，j w j o h n s t o n ，a g g r a y b e a l ，j v a c s c i t e c h n 0 1 7 ，3 9 8 ( 19 7 0 ) 【4 j s c h a p i n ，r e s d e v ，2 5 ，1 9 7 4 ，p 3 7 - 4 0 【5 r k w a i t s ，t h i nf i l mp r o c e s s e s ，e d s b yj l v o s s e n ，p 131 - 1 7 0 ，a e a d e m i cp r e s s ， n e wy o r k 【6 扬邦朝，王文生编著，薄膜物理与技术，成都：电子科技大学出版社， 1 9 9 7 ，9 5 。 7 j m u s i l ，j v a c s c i t e e h n 0 1 a1 7 ( 1 9 9 9 ) 2 0 8 2 【8 s s c h i l l e r ，k g o e d i c k e ，j r e s c h k e ，v k i r c h k e ，s s c h n e i d e r ，f m i l d e ，s u r f c o a t t e c h n 0 1 6 1 ( 1 9 9 3 ) 3 3 l 一3 3 7 ， 9 m s w o n g ，w j c h i a ，p y a s h a r ，j m s c h n e i d e r ，w d s p r o u l ，s a b a r n e t t ，s u r f c o a t t e c h n 0 1 6 0 ( 1 9 9 3 ) 5 2 5 - 5 3 0 1 0 b w i n d o w ，n s a v v i d e s ，j v a c s c i t e c h n 0 1 a4 ( 2 ) ( 1 9 8 6 ) 1 9 6 - 2 0 1 11 n s a v v i d e s ，b w i n d o w ，j v a c s c i t e c h n 0 1 a4 ( 2 ) ( 1 9 8 6 ) 5 0 4 - 5 0 8 1 2 】日本精细化学品词典编辑委员会编，精细化学器词典，北京：化学工业出版 社1 9 9 l ，2 5 7 2 6 1 。 【1 3 】周瑞涛，陈世霖等编，建筑材料手册，北京：中国建筑工业出版社，1 9 7 8 。 【1 4 r f b a d d o u r ，d r b r o n f i n ，i n d e n g c h e m p r o d r e s d e v ，4 ( 1 9 6 5 ) 1 6 2 - 1 6 6 【l5 d t m o r r i s o n ，t h i ns o l i df i l m s ，l5 ( 19 7 3 ) 8 7 【l6 m h o r i e ，t t s m u r a ，m o h g a k i ，h y o s h i d a ，t k o b a y a s h i ，y k i s a k a ， y k o b a y a s h i ，j a p p l p h y s ，7 7 ( 1 9 9 5 ) 8 6 5 1 7 t y a m a m o t oa n dr k o i s h i ，j m a g n s o c j p n ，15 ( 1 9 9 1 ) 7 5 7 18 r k o i s h i ，t y a m a m a t o ，m s h i n h a r a ，t r i b 0 1 t r a n s ，3 6 ( 1 9 9 1 ) 4 9 0 第一章文献综述 一一_ _ - _ - _ - _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ - - _ _ - _ - _ _ _ - - _ ，_ _ _ ，一 1 9 1 t e k a r i s ，g w t y n d a l l ，d f e n z e l a l e x a n d e r ，j v a c s c i t e c h n 0 1 ，a 15 ( 4 ) ，l 9 9 7 2 3 8 2 2 0 e g a s h i r a ，k y o k o ，e u r ，p a t a p p l e p 8 2 3 7 2 5 ，a 2 ，1 9 9 8 ，1 7 p p 2 1 p a r k ，j i n 。g o o ；k w o n ，m y o n g j o n g ；l e e ，s a n d - h o ；l e e ，k a n g - k u k ；j p n j a p p l p h y s ，p a r t l ，3 7 ( 1 2 b ) 1 9 9 8 ，7 0 5 8 - 7 0 6 3 2 2 1 p p l u f f ，m w h i t e ，v a c u u m ，l8 ( 1 9 6 8 ) 4 3 7 4 4 0 【2 3 w d ew i l d e ，t h i ns o l i df i l m s ，2 4 l ( 1 9 7 4 ) 1 0 1 i1 2 2 4 p r o v p a t u k ，n 0 2 9 0 5 9 6 7 ( 1 9 6 7 ) ，t on f j a c k s o na n dp j h a tr o p 【2 5 i h p r a t t ，t c l a u s m a n ，t h i ns o l i df i l m s ，l o ( 1 9 7 2 ) 1 5 卜1 5 4 2 6 1 s m l e e ，i n s u l c i r c u i t s ，( 19 7 1 ) 3 3 - 3 6 【2 7 l h o l l a n d ，l l a u r e n s o n ，r e h u r l e y ，k w i l l i a m s ，n u s l i n s t r u m m e t h o d s ， 3 f 1 9 7 3 ) 5 5 5 5 6 0 【2 8 e m a t h i a sa n dg h m i l l e r ，j p h y s c h e m ，7 1 ( 1 9 6 7 ) 7 1 7 5 2 9 j m e h a r p e r ，g r p r o t o ，p d h o h ，i b i di s ( 1 9 8 1 ) 1 5 6 3 0 j m e h a r p e r ，j j c u o m o ，h r k a u f m a n ，j v a c s c i t e c h n o l ， a i ， n o 2 ( 19 8 3 ) 3 3 7 - 3 3 9 【3 1 】c w e i s s m a n t e l ，t h i ns o l i df i l m s ，3 2 ( 1 9 7 6 ) 1 1 3 2 m s h e n ，a t b e l l , p l a s m ap o l y m e r i z a t i o n , a c ss y m p o s i u m s e r i e s 1 0 8 ， a m e r i c a mc h e m i c a ls o c i e t y ( 1 9 7 8 ) 【3 3 1 筏羲人编，徐德恒，肖衍繁，刘庆普译，北京：化学工业出版社，1 9 9 0 ， 2 17 。 3 4 h b i e d e r m a n ，v a c u u m ，3 1 ( 1 9 8 7 ) 2 8 5 3 5 3 d ，j m o r r i s o n ，t r o b e r t s o n ，t h i ns o l i df i l n s ，1 5 ( 1 9 7 3 ) 8 7 【3 6 1 h b i e d e r m a n ，t h i ns o l i df i l n s ，8 6 ( 1 9 8 1 ) 1 2 5 - 1 3 5 【3 7 1 j j a n c a ，l a m b r o z ，k n a u r a t i l ，j j u r s a ，j m a j e r ，s c r f a c s c i n a t u n i v p u r k y n i a n a eb r u n ，p h i s i c a1 ，8 ( 1 9 7 8 ) 5 1 3 8 h ，y a s u d a ，c e l a m a z e ，j a p p l p o l y m s c i ，1 5 ( 1 9 7 1 ) 2 7 7 3 9 p d d a v i d s e ，j m a i s s e l l ，j m a i s s e l l ；，a p p l p h y s ，3 7 ( 2 ) ( 1 9 6 6 ) 5 7 4 i f 第一章文献综述 【4 0 i l h o l l a n d ，t p u t n e r ，g n j a c k s o n ，j s c i i n t r u ，2 ( 1 9 6 8 ) 1 3 2 【4 1 c f l o t h r o p ，l f h e r t e ，a v s t r a n s 1 4 “n a t l v a c s y m p ，( 1 9 6 7 ) 1 4 1 4 2 p j h a r r o p ，i nt r a n s c o n f s p u t t e i n g ( m r c ) ，b r i g h t o n ，19 6 9 ，m a t e r i a l r e s e a r c hc o m p a n y ，1 9 6 9 ，p 10 6 【4 3 i b r o d i e ，l t l a m o n t ，d 0 m y r e s ，j v a c s c i t e c h n 0 1 ，6 ( 1 ) ( 1 9 6 9 ) ，1 2 4 【4 4 1 r h h e r l ，i nt r a n s c o n f s p u t t e i n g ( m r c ) ，b r i g h t o n ，1 9 6 9 ，p l 1 6 【4 5 t r o b e r t s o n ，d t m o r r i s o n ，t h i ns o l i df i l m s ，2 7 ( 1 9 7 5 ) 1 9 3 7 4 6 p j o z a w a ，i e e et r a n s p t s m a t e r p a c k a g i n gp m r5 ( 2 ) ( 19 6 9 ) 1 12 4 7 r s a l g e r ，i nd f o x ，m m l a b e s a n da w w i s s b e r g e r s ( e d s ) p h y s i c sa n d c h e m i s t r y o ft h e o r g a n i c s o l i d s t a t e ，v 0 1 2 ，i n t e r s c i e n c e ，n e wy o r k ， 19 6 5 ，p 7 7 0 【4 8 r m b l a c k ，a c h a r l e r b y ，p r o g r e s si nd i e l e c r t r i c si i ，h e y w o o d ，l o n d o n ，1 9 6 0 【4 9 h b i e d e r m a n ，s m c j h a ，l h o l l a n d ，t h i n s o l i d f i l m s ，4 1 ( 1 9 7 6 ) ，3 2 9 【5 0 j r h a r r o p ，p j h a r r o p ，t h i ns o l i df i l m s ，3 ( 1 9 6 9 ) 1 0 9 【5 1 】c c e l i a ，g ，f r a v o t ，j j g a r e r m e ，l ev i d e ，l e s c o u c h e sm i n c e s 1 6 5 ，( s u p p l ) ，c i p 7 3 ，1 4 3 ( 1 9 7 3 ) 5 2 i s u g i m o t o ，s m i y a k e ，t h i ns o l i df i l m s ，5 8 ，5 11 ( 1 9 8 8 ) 5 3 j p hn a b o t ，a a u b e r t ，r g i l l e t ，p h r e n a u x ，s u r f c o a t t e c h n 0 1 4 3 4 4 ，6 2 9 ( 19 9 0 ) 5 4 y y a m a d a ，k t a n a k a ，k s a i t o ，s u r f c o a t t e c h ，4 3 4 4 ( 1 9 9 0 ) 6 1 8 6 2 8 【5 5 l h o l l a n d ，h b i e d e r m a n ，s m o j h a ，t h i ns o l i df i l m s ，3 5 ( 1 9 7 6 ) l 1 9 【5 6 1 h b i e d e r m a n ，t h i ns o l i df i l m s ，5 5 ( 1 9 7 8 ) l 1 1 【5 7 h b i e d e r m a n ，s m c j h a ，l h o l l a n d ，t h i n s o l i d f i l m s ，4 1 ( 1 9 7 6 ) ，3 2 9 【5 8 p p l u f fa n dm w h i t e ，v a c u u m ，18 ( 1 9 6 8 ) 4 3 7 4 4 0 5 9 1 r d c o l l i n s ，p f i v e a s ha n dl h o l l a n d ，v a c u u m ，1 9 ( 1 9 6 9 ) 1 1 3 1 1 6 6 0 a m m a v l a n o v ，t m m i n o va n de a k o b i l o v ，d o k l a k a d n a u k t a s z h ，s s r ， 1 4 ( 1 9 7 i ) 2 4 - 2 7 6 1 ”m t i b b i t ，m s h e na n da t b e l l ，t h i ns o l i df i l m s ，2 9 ( 1 9 7 5 ) l 4 3 - 4 5 1 2 第一章文献练述 【6 2 】李商宏，富泽祥，纯振湖，大连理工大学学报，3 6 ( 1 9 9 6 ) 1 2 4 。 【6 3 g r 。b l a n c h e t ，j r ，c 。b f i n c h e r ，c ，j a c k s o n ，s 王s h a h ，k 。鞭。g a r d n e r ，l a s e r a b l a t i o n a n dt h ep r o d u c t i o no f p o l y m e r f i l m s c i e n c e 1 9 9 3 ，2 6 2 ，7 1 9 - 7 2 1 f 6 4 h 。w 。l e h m a m n ，k + f r i c k ，r w i l d m e r ，j 。l ，v o s s e na n de j a m e s ，t h i ns o l i df i l m s ， 5 2 2 3 1 ( 1 9 7 8 ) 6 5 m h o r i e ，j v a e s c i t e c h n 0 1 a 13 ( 5 ) ，19 9 5 ，2 4 9 0 。 【6 6 h 。y a s u d aa n dt 。h s u ，s u r f s c i 7 6 ，2 3 2 ( 1 9 7 8 ) 【6 7 d t c l a r ka n dm z a r a h m a n ，j p o l y m s c i p o l y m c h e m e d ，l8 ，2 7 ( 18 0 ) f 6 8 l 。j g e r e n s e r ，j f 。e l m a n ， m 。g m a s o na n d j 。m p o c h a n ，p o l y m e r2 6 ， l1 6 2 f 1 9 8 5 ) 【6 9 l ，j 。g e r e n s e r ，j v a e 。s c i t e c h n o l 。a 8 ，3 6 8 0 ( 1 9 9 0 ) 。 f 7 0 l ，j m a t i e n z o ，j a 。z i m m e r m a na n d f d e g i t t o ，j v a c s e i t e c h n 0 1 a 1 ， 2 6 6 2 ( 1 9 9 4 ) 【7 1 】a m w r o b e l ，j + m a c r o m 0 1 s c i c h e m a 2 2 ，1 0 8 9 ( 1 9 8 5 ) 。 【7 2 m m o r r a ，e o c c h i e l l o ，r m a r o l a ，f g a r b a s s i ，p a u m p h r e ya n dd j o h n s o n ，j c o i l i n t 。s c i 。，1 3 7 ，l1 ( 1 9 9 0 ) 【7 3 m e r y a n ，j l ，c f o n s e c a ，s t a s k e r a n d j p s b a d y a l ，j p h y s c h e m ， l9 9 5 ，9 9 ，7 0 6 0 - 7 0 6 4 【7 4 d i k s ，a ；k a y ，e m a c r o m o l e c u l e s ，1 9 8 1 ，1 4 ，8 5 5 ( 7 5 t i b b i t ，j m ；s h e n ，m ；b e l l ，a t ；t h i ns o l i df i l m st 9 7 5 ，2 9 ，l 4 3 7 6 y a s u d a ，壬 。p l a s m ap o l y m a r i z a t i o n ；a c a d e m i cp r e s s ：o r l a n d o ，f l ，1 9 8 5 ； p p l 8 4 1 8 5 f 7 7 y a m a d a ，y ；k a r o d a tj a p 。a p p l ，p h y s ，1 9 9 3 ，3 2 ，5 0 9 0 ， f 7 8 h i s h n e h ，g a ；b a r r ，t l ；s k l y a r o v ，a ；h a r d c a s t l e ，s ，j v a c p h y s c h e m ，l9 9 5 ，9 9 ，7 0 6 0 【7 9 s h a h ，s i 。；b l a n c h e t ，g b ；m a t e r 。r e s 。s o c s y n p ，p r o c ，1 9 9 3 ，2 8 5 ，5 9 9 。 【8 0 w y d e v e n ，t ；o o l u b ，m a ；l e r n e r ，n r ，j a p p l p o l y m s c i 1 9 8 9 ，3 7 ， 3 3 4 3 。 f 第一章文献综述 8 1 h o r i e ，m ，j v a c ，s c i t e c h n 0 1 a 1 3 ，1 9 9 5 ，2 4 9 0 8 2 p i r e a u x ，j j ；d e l r u e ，j p h e c q ，a ；d u c h o t ，j p ，i np h y s i c o c h e n i c a l a s p e c t so fp o l y m e rs u r f a c e ；m i t t a l ，k l ，e d ；p l e n u mp r e s s ；n e wy o r k ，1 9 8 3 9 9 ，7 0 6 0 【8 3 m a rc h a l ，n ；p a u l e a u ，y j v a c s c i t e c h n 0 1 1 9 9 2 ，a 1 0 ，4 7 7 8 4 g o l u b ，m a ；w y d e v e n ，t ；c o r m i a ，r d ；j a p p l p o l y m s c i ，p a r ta ：p o l y m c h e m 1 9 9 2 ，3 ，2 6 8 3 8 5 g o l u b ，m a ；w y d e v e n ，t ；f i n n e y ，l s p l a s m ap o l y m 1 9 9 6 ，1 ，7 7 3 8 6 r y a n ，m e ；f o n s e c a ，j l c ；t a s k e r ，s ；b a d y a l ，j p s j p h y s c h e m 1 9 9 5 ， 9 9 ，7 0 6 0 8 7 m o r t o n ，a g o l u b ，t h e o d o r ew y d e v e n ，a n da l l e nl t o h n s o n ，l a n g r n u i r 1 9 9 8 ，1 4 ，2 2 1 7 - 2 2 2 0 8 8 h b i e d e r m a n ，d b i l k o v a ，j j e z e ，p h l i d e k ，d ，s l a v i n s k a ，j o u r n a lo f n o n - c r y s t a l l i n es o l i d s ，2 18 ( 1 9 9 7 ) 4 4 4 9 8 9 s a v a g e ，c r ；t i m m o n s ，r b ；l i n ，j w ；c h e m m a t e r ，1 9 9 1 ，3 ，5 7 5 9 0 p a n c h a l i n g a m ，v ，；p o o n ，b ；h u o ，h 一h ；s a v a g e ，c r ；t i m m o n s ，r b ； e b e r h a r t ，r c ；j b i o m a t e r s o c ：p o l y m e d 1 9 9 3 ，5 ，1 3 1 9 1 h e n n h a n n ，w a n g ；j i n j i a n ，c h e n ；r i c h a r db t i m m o n s ；c h e m m a t e r ，1 9 9 6 ， 8 2 2 1 2 2 2 1 4 4 第二章溅射成膜的实验设计与过程 第二章溅射成膜的实验设计与过程 2 1 磁控溅射的工作原理”。1 磁控溅射镀膜是一种低温和高速