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文档简介

ENDURA结构介绍 供电系统 其它部件的作用 PumpFrame提供反映所需的真空度Cryopumpcompressor提供HE给Cryopump 保证冷泵正常工作Heatexchange提供DIWATER 冷却PVD腔体以及Heater MAINFRAME上腔体构成 传输过程 真空系统 Robot HPRobotHomingRoutine Loadlock 2019 12 19 29 可编辑 DifferentialPumpingPort IndexerBrake Presentthecassettestagefromfallingincaseofpowerfailure ORIENT DEGAS ORIENT工作原理 1 OrienterBoard发出信号通知系统开始找平边过程 2 SystemController将有关圆片的尺寸型号等信息传递给OrienterBoard 3 软件校准CCDBoard 使得由激光管发出的光信号转换为数字信号 4步进电机带动圆片旋转 达到正常的转速后 则CPU开始读取CCD中的信息 步进电机每转动四步读取一次 5信息储存在RAM中 直到完成3600的旋转 6软件分析数据 确定圆片的中心 7校正圆片在chuck上的数据 最终确定原片的平边 8把圆片旋转到预定的角度上 9 系统控制器获得圆片的中心和WaferChuck的中心后 指导ROBOT取片 RFSYSTEM PVDchamber 工作原理 在靶才上通负的直流电压 Shield充当接地 电位差使AR原子电离成AR离子 被接负电压的靶才吸引而撞击靶才 生成金属原子沉积在Wafer表面 从而达到Sputtering的目的 GasLines Pneumatic OperationW OInverter Slitvalvewill open butnot close Waferliftswillgoto lift butnotto release LLCdoorswill open butnot close Cassatteswillrotate out butnot in Shutterwillmov
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