容删及反馈传感器教学课件PPT.ppt

10cgq04 2 1 复习 1 电容传感器原理 被测量 电容的变化 r s 电压 流 的变化 2 分类 变极距型 变面积型 变介电常数型 3 静态灵敏度 变极距型 差动接法 10cgq04 2 2 4 4电容式传感器举例及应用 一 基本数据 1 测线位移 变极距型 量程 0 01 m 102 m 分辨力 0 001 m 纳米 精度 0 01 m 变面积型 量程 mm 102mm 分辨力 0 01 m 0 001 m 线性 优于0 5 10cgq04 2 3 2 测振动 振幅 50 m 频率 2khz 3 测压力 量程 50mpa 二 电容式位移传感器 测主轴的径向跳动 电子测微仪 10cgq04 2 4 测板材厚度 厚度 cx 板材为电容器一极 带材的振动不影响测量精度 10cgq04 2 5 二 电容式加速度传感器 壳体固定在振动物体上 相对质量块位移 此位移与加速度成正比 使两个电容变化 三 电容式压力传感器 10cgq04 2 6 10cgq04 2 7 10cgq04 2 8 电容传声器 液面高度测量 液面高度测量 四 电容式集成传感器 间距极小 测量电路与敏感电容集成在一起 电容式传感器01 exe 10cgq04 2 9 五 容栅式传感器 1 结构及原理 变面积型的组合 w 2b 10cgq04 2 10 灵敏度 10cgq04 2 11 2 差动接法 定栅 动栅对 差动电容 10cgq04 2 12 3 容栅式传感器的特点 电容传感器的优点 多极电容 平均效应 灵敏度高 抗干扰能力强 测量精度 5 m 量程 1m 反射式 透射式 倾斜式 圆容栅 10cgq04 2 13 六 反馈式电容传感器 1 闭环传感器的原理 输出 被测量 1 框图 10cgq04 2 14 2 反馈元件 线位移 动圈元件 压电元件 2 力平衡式加速度传感器 1 原理 10cgq04 2 15 壳体振动向上 质量块受力fx max 相对于壳体向下 y 电容 进而i 随y 进而随fx 变化 力矩器产生反馈力f i也作用于质量块 fx f 10cgq04 2 16 2 方块图 fd fx f 10cgq04 2 17 3 特性参数分析 闭环静态灵敏度 固有频率 阻尼比 与m c b参数的关系 保证措施 10cgq04 2 18 4 应用 惯性导航系统 gps globalpositioningsystem 多星 高轨 测时 测距 gps卫星位置的确定 加速度传感器 10cgq04 2 19 小结 1 电容传感器的应用 2 容栅式传感器的基本结构 3 闭环式传感器的基本组成 位移 振幅 压力 加速度 复习p80 89 预习p90 106 思考 p89 3 6 10cgq04 2 20 提纲 4 4电容式传感器应用 一 基本数据 1 测线位移 2 测振动 3 测压力 二 电容式位移传感器 三 电容式压力传感器 四 电容式集成传感器 4 6容删式传感器 一 结构及原理 二 差动接法 三 容删式传感器的特点 4 7反馈式