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2019年12月23日星期一4时10分13秒 0 ToPowerOurFuture PECVD岗位培训教材 电池设备部 上饶晶科光电高科技有限公司 2019年12月23日星期一4时10分14秒 1 参数的影响 2019年12月23日星期一4时10分14秒 2 沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间 片子发白要减少沉积时间 如偏红则要适当的增加 每一舟片子要全面的确认 不允许把不良品流入到下道工序 如色斑 水印镀膜不良 应及时挑出做返工处理 参数的影响 2019年12月23日星期一4时10分14秒 3 Handing界面的介绍 Arm的位置 Paddle Middle storage 其余显示均为错误 桨的信息 free无舟 occupied有舟 机械臂上石墨舟的感应器 empty 无舟 occupied有舟 石英管信息显示 ready 准备状态 notready 运行状态 机械臂运行状态 free 运行 lock 锁定 显示存储架的存储信息 机械臂目前所的位置 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 4 BOAT信息设置方法介绍 BOAT信息的设置将直接影响机械臂的自动运 行是否正常 舟号 点击过后可对BOAT信息设置 运行状态 桨号 管号 工艺号 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 5 设定实际信息 选择此项后可对信息进行修改或重新设定 点击取消 后 才可选择 下面一项 删除此舟的信息 点击进入下一步 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 6 舟号 硅片规格 此舟的起始位置 一般固定为Storage1 不做修改 管号 选择需要在哪管进行工点 下拉键进行选择 选择 Automatic 为自动选择管号 此步设置结束后按此键进行下一步设 定 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 7 此舟的当前实际位置 类型 晶片 一般情况下不作修改 舟的负载类型 晶片工艺 一般不作修改 舟当前的运行状态 1 nochange不选择 一般舟在 storage1时选择此项 2 coolingend冷却结束 等待卸舟 3 waitforendprocess等待工艺结束 4 waitfortube等待管子空闲 一般舟在storange1 2时选择此项 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 8 工艺号选项 选择当前需要进行的或者已经在进行的工艺号 后面 Recipeerror 前面若是有红色 X 请点击后取消它 输入操作人员的姓名拼音首写字母 按下 Finish 键后完成所有设定 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 9 如果出现下列的信息 就表明你设定的信息系统可以接受 但是你必须对你所设定的信息再次进行确认 如果不能显示此信息 就说明你设定的是错误的 系统将会自动跳转到你设定错误的那一步 要求你重新进行设定 完全确认后 点击 ok 后设定结束 返回主界面 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 10 特殊情况下如何进行手动关门 在特殊情况下有时候为了需要必须手动关闭炉门 1 检查所有管子都处于等待状态 2 将压缩空气总阀关闭 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 11 3 打开门 将此炉门气动阀上的两个气管拔下 上面的调节阀不要动 并将气管的头对折后用紧扎带绑紧 防止压力阀开启后漏气 调节阀 气管 PECVD岗位基本操作及注意事项 2019年12月23日星期一4时10分14秒 12 PECVD工艺流程 1 processingstarted工艺开始 2 filltubewithN2充氮 达到大气压的标准值 机器后面的压力并能准确测试 得到进舟信号以后炉门才会开启 3 loadingboat paddleinupperposition 进舟 SLS显示桨位于高位 若此时桨位于低位 进舟将会失败 舟有撞击到石英管的可能性 4 paddlemovesdownwards桨降至低位 5 moveoutpaddle lowerposition桨在低位退出 此时应注意石墨电极有可能会桨带出 关炉门时会损毁石墨电极 6 evacuatetubeandpressuretest管内抽真空 并进行管内压力测试 空气接触到硅烷会发生爆炸 7 plasmaprecleanandcheckwithNH3通过高频电源用氨气预清理和检查 8 purgecycle1清洗管路 1 9 leaktest测漏 2019年12月23日星期一4时10分14秒 13 10 waituntilallzonesareonmin temperature恒温 11 ammoniaplasmapreclean通过高频电源用氨气清理 12 deposition镀膜 13 endofdepposition结束镀膜 14 evacuatetubeandpressuretest抽真空及测试压力 15 purgecycle1清洗管路 1 将特气管内的剩余硅烷和氨气抽走 防止与空气接触发生爆炸 16 filltubewithN2充氮 同第二步 17 moveinpaddle lowerposition桨在低位进入炉内 18 SLSmovingtoupperpositionSLS移至高位 PECVD工艺流程 2019年12月23日星期一4时10分14秒 14 19 unloadingboat退舟20 endofprocess结束工艺PECVD操作注意事项 下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏 1 SLS处于 UP 位置时 管内有舟时不可手动进桨 2 SLS处于 Down 位置时 桨上有舟时不得手动进舟 3 桨上有舟时 舟不在正确位置 不准切换到自动运行状态 4 进舟 退舟失败报警时 一定要检查舟的位置是否在合理的位置 才可以对报警进行复位 自动 手动的切换要谨慎 若舟不在正确位置 请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位 炉门是以桨的位置作为开闭的标准 图 4 5 PECVD工艺流程 2019年12月23日星期一4时10分14秒 15 5 舟位于存储架 storage2 storage3 时 一定要确认存储架上的感应器有没有感应到 图 2 3 否则有可能导致撞舟 6 清理碎片时要注意热探针 两根玻璃棒 清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置 否则进退舟时有可能被撞掉 图 6 7 从手动切换到自动状态时 机械臂一定要在Middle位置 否则机械臂有可能无法正常运行而报警 图 7 8 进退舟时 小车不得混用 并且务必确认小车有无被缩定 9 进舟后 工艺无法正常运行时 先确认舟在桨上的位置 以及Tube ready SLS up TGA yes 然后进行其他操作10 小车被锁定后 不得转动石墨电极的方向 图 7 否则石墨电极会撞到桨或者机械臂11 石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错 否则有可能撞坏高频的两根电极 PECVD工艺流程 2019年12月23日星期一4时10分14秒 16 真空管 炉管 压力 手动开门步骤 10000 最大最小值 2019年12月23日星期一4时10分14秒 17 气体 氮气 气体阀 Open Close打开 关闭 Open Close 2019年12月23日星期一4时10分14秒 18 舟 位置 设置点 进舟 开门 2082 10 手动开门步骤 2019年12月23日星期一4时10分14秒 19 1 ManualTabVacuumTubePressure 手动切换真空管