正信电子干膜测试报告.doc

苏州正信电子科技有限公司工 艺 试 验结 论 报 告项 目 名 称 (长春、日立、旭化成)干膜测试项 目 编 号 EN001 项 目 类 别 材料测试 填 表 人 干膜测试报告一、 目的 ：以公司现有之设备，测试长春、旭化成、日立三种供应商不同型号厚度干膜是否适合我公司生产品质需求。二、 测试时间 ：2010年01月192月27日。三、 测试人员 ：吴利峰四、 测试干膜 ：长春FF-9030（30um）、长春FF-9020（20um）两种干膜各两卷， 日立H-9030（30um）、日立H-9020（20um）、日立H-9025（25um）三种干膜各两卷旭化成AQ-3088 （30um） 旭化成AQ-209A（20um）两种干膜各两卷，五、 测试工作底片 ：15um-50um不同大小线宽线距解像测试底片1张、 2/2线路菲林测试底片1张六、 测试操作条件 ：1贴膜前处理化学洗板操作条件: 化学洗板速度1m/min, 除油浓度4,酸洗浓度5烘干温度85 ,微蚀速率0.4um/次。230um厚度不同供应商测试操作条件:工序项目测试相关参数测试相关参数测试相关参数长春FF-9030（30um)旭化成AQ-3088（30um)日立H-9030（30um)压膜温度设定（）上温105下温105上温105下温105上温105下温105速度（m/min）111压力（kgf/cm2）555曝光能量格（X/21st）6格/7格/8格6格/7格/8格6格/7格/8格能量设定(mJ/cm2)34/54/7534/54/7534/54/75真空度(KPa)86.586.586.5真空时间(sec)5510显影显影速度（m/min）1.62.02.0显影点（%）505550555055显影喷压（kgf/cm2）上/下：1.3/1.3上/下：1.3/1.3上/下：1.3/1.0显影温度（）30.130.130Na2CO3浓度（wt%）1.021.021.01蚀刻速度（m/min）2.8（1/3oz铜）2.8（1/3oz铜）2.8（1/3oz铜）喷压（kgf/cm2）上/下：1.6/1.3上/下：1.6/1.3上/下：1.6/1.3温度（）484848比重1.2721.2731.272氧化剂35.235.235.2盐酸浓度（ml/l）24.924.924.9去膜速度（m/min）222去膜点（%）404040喷压（kgf/cm2）上/下：1.5/1.5上/下：1.5/1.5上/下：1.5/1.5温度（）484848NaOH(wt%)333220um厚度不同供应商测试操作条件:工序项目测试相关参数测试相关参数测试相关参数长春FF-9020（20um)旭化成AQ-209A（20um)日立H-9020（20um)压膜温度设定（）105105105速度（m/min）111压力（kgf/cm2）5.54.55曝光能量格（X/21st）6格7/格8格6格7/格8格6格7/格8格能量设定(mJ/cm2)45/65/8545/65/8013/22/35真空度(KPa)86.586.586.5真空时间(sec)101010显影显影速度（m/min）1.52.53.5显影点（%）505548545055显影喷压（kgf/cm2）上/下：1.8/1.8上/下：1.5/1.2上/下：1.3/1.0显影温度（）30.13030.1Na2CO3浓度（wt%）1.021.021.02蚀刻速度（m/min）2.2（1/3oz铜）2.8（1/3oz铜）2.795（1/3oz铜）喷压（kgf/cm2）上/下：1.6/1.3上/下：1.6/1.3上/下：1.6/1.3温度（）484848比重1.2721.2721.272氧化剂35.235.135.2盐酸浓度（ml/l）24.924.924.9去膜速度（m/min）3.623.6去膜点（%）505550555055喷压（kgf/cm2）上/下：1.5/1.5上/下：1.5/1.5上/下：1.5/1.5温度（）46.84848NaOH(wt%)333七、测试干膜结果：1.30um不同厚度干膜供应商解像能力测试结果如下：曝光量(mJ/cm2)解像性（最小线宽）解像性（最小线距)长春FF-9030（单位um）旭化成AQ-3088（单位um）日立H-9030（单位um）长春FF-9030（单位um）旭化成AQ-3088（单位um）日立H-9030（单位um）6格4522224525227格5025255030308格5528305535352.20um不同厚度干膜供应商解像能力测试结果如下：曝光量(mJ/cm2)解像性（最小线宽）解像性（最小线距)长春FF-9020（单位um）旭化成AQ-209A（单位um）日立H-9020（单位um）长春FF-9020（单位um）旭化成AQ-209A（单位um）日立H-9020（单位um）6格3523203522207格3525203525238格4030254028253.日立H-9025（25um）干膜解像能力测试结果如下：曝光量解像性(mJ/cm2)日立H-9025（最小线宽) （单位um）日立H-9025（最小线距) （单位：um）6格22227格30308格3535430um厚度不同供应商干膜曝光能量测试比较：曝光量能量格数供应商日立H-9030旭化成AQ-3088长春FF-9030单位(mJ/cm2)单位(mJ/cm2)单位(mJ/cm2)6格45457格50508格5555520um厚度不同供应商干膜曝光能量测试比较：曝光量能量格数供应商日立H-9020旭化成AQ-209A长春FF-9020单位(mJ/cm2)单位(mJ/cm2)单位(mJ/cm2)6格1335457格2245658格356580630um厚度不同供应商干膜曝光线路显影后SEM图片比较：能量格数6格7格8格干膜供应商SEM图片SEM图片SEM图片长春FF-9030旭化成AQ-3088 日立H-9030720um厚度不同供应商干膜曝光线路显影后SEM图片比较：能量格数6格7格8格干膜供应商SEM图片SEM图片SEM图片长春FF-9020旭化成AQ-209A日立H-9020日立H-90258不同供应商干膜显影点测试结果比较:干膜显影有效槽长显影速度显影压力显影点长春FF-90301.0M1.5m/min上/下1.3/1.3kg/cm250%日立H-90301.0M1.6m/min上/下1.3/1.3 kg/cm252%旭化成AQ-30881.0M1.8m/min上/下1.5/1.2kg/cm254%长春FF-90201.0M2.2m/min上/下1.5/1.3kg/cm254%日立H-90201.0M3.5m/min上/下1.3/1.0kg/cm248%旭化成AQ-209A1.0M2.5m/min上/下1.5/1.2kg/cm254%日立H-90251.0M2.3m/min上/下1.3/1.0kg/cm254%七、测试干膜效果分析：1、长春、旭化成、日立供应商30um、20um干膜按以上操作条件测试脱膜后检查无脱膜不干净现象。2、长春FF-9030 和长春FF-9020两种干膜型号曝光能量在6-7格内显影后检查附着力OK，曝光能量控制在上限8格干膜线路有脱落现象，显影后干膜比较脆。（如上SEM图）3、旭化成AQ-3088 、AQ-209A两种干膜型号和日立H-9030、H-9020、H-9025三种型号干膜曝光能量在6-8格内显影后检查附着力OK。4旭化成、日立供应商30um干膜按以上操作条件测试解像能力测试分析可做3/3线路以上产品。5旭化成、日立供应商20um干膜按以上操作条件测试解像能力测试分析可做2/2线路产品。6长春FF-9030 和长春FF-9020两种干膜型号在测试中和日立、旭化成同型号干膜相比含胶量要大，贴膜后有气泡现象。八、实验测试结论：1长春FF-9030、FF-9020和旭化成、日立同型号干膜相比品质要差,不适合我公司生产，建议长春干膜不要选用。2旭化成AQ-3088型号干膜经过小批量试产样品2001、2003、2004、2005、2006、2007、2008、2009、2010、2011、2012料号产品测试干膜无异常，此干膜建议可批量生产3/3线路以上产品。3旭化成AQ-209A型号干膜经过小批量试产样品2002料号产品，测试干膜无异常，此干膜建议可批量生产2/2线路以上产品。4日立H-9030型号干膜经过初步测试干膜无异