silvaco TCAD 仿真速成手册.doc

silvaco TCAD 仿真速成手册排行榜 收藏 打印 发给朋友 举报 发布者：kongfuzi 热度4票浏览33次 时间：2010年2月26日 09:01中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试r A*c;n I$dP silvaco TCAD 仿真速成手册*ew-N)p6! f2w0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 iJ3NG u YT6N7h S6_ 第1章: 简介2jJ MnRA9l0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Im0J izQ中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试a(-D7 xjOb 该指南手册针对首次应用SILVACO TCAD软件的新用户。 它旨在帮助新用户在几分钟时间内快速并成功安装和运行该软件。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试tkg)Fz1UM5O.y ,Y&tZ+Y7jS#r0该指南也演示如何快速有效查看手册，查找仿真器中使用的所有参数的解释和定义。它也参照相应章节，来理解等式以及其使用的根本规则。QRf.d7y0 I V4RS+8D 0关于进一步的阅读和参考，用户可参照SILVACO网站的技术支持部分， 那里有丰富的技术材料和发表文献。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Y VlV5sT3QX中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 E(SMO1m$Yi 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试m6t*Ou中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试_x&U96ul,t/|3O 2B3S P0第2章: 快速入门中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试gg J3x%yU中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试ppP;O|? E_mS;3A#Lt02.1: DeckBuild运行时间环境窗口Y#Vx$vlC0 DeckBuild是富含多样特征的运行时间环境， 它是快速熟悉SILVACO的TCAD软件的关键。 Deckbuild 主要特征包括： 自动创建输入文件、编辑现有输入文件，创建DOE，强大的参数提取程序和使得输入文件中的参数变量化。jBZ#P# a!y0 6Z*wf*i4Z,tTAV0更重要的是，DeckBuild包含好几百个范例，涵盖多种电学、光学、磁力工艺类型，便于首次使用该工具的用户。K&vn1XC!J0 2F J:k3|vGEG0使用入门中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试7Nq!s0g T中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Pr D4P4用户可打开一个控制窗口，创建一个目录，用于保存该指南范例将创建的临时文件。 例如，要创建或重新部署一个名为tutorial, 的目录，在控制窗口键入：中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试u*z*W7rO中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试2_(9p v P3AHH mkdir tutorial cd tutorial中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试ac!x b中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试&?/T9?+fT 0W然后键入下列命令开启deckbuild运行环境：J/Srsf0deckbuild中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试E6A1E7fO:O$NA(Z B(o+N$p7A0屏幕上将出现类似于图2.1的DeckBuild运行时间环境。n( 7gaJ0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试XzFO0p3z GUI界面包括两部分： 上部窗口显示当前输入文件，而下部显示运行输入文件时创建的输出。w)T0nyv Pq.n2|-Hs0 e Qo)X t3h,c0d v3C gcc)j4z0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试D(rwcUA 7|f1l5m)e1z5I0图2.1 DeckBuild 运行时间界面GUI$Wl(E /hW0 4K(M%ziSY0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试g,fuQHy+d中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试u#n4rY ysA Pc etj:j0 0o+p9 x ed9i2G02.2: 载入和运行范例中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试#AB,o5nk.XA4cO中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试7l,f, ue;Zvl!TP.ga;f0输入文件可以由用户创建或者从范例库中加载。 为了熟悉软件语法，最好载入第一个实例中范例。要从deckbuild运行时间环境的GUI载入范例，可点击：9p9eb B(:l/a9va_CA0 !E5hDX6RP7LG0Main Control. Examples(范例).中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试h wp&QVj&G5An O$?0屏幕将弹出一个窗口显示一列47个类别的范例。图2.2显示首15个类型范例。要查看剩余的类别，则使用窗口右侧的滑动条滚动选择。&rS)dj0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试7K!m/qGv,r 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试*G$Y*sIK图2.2 首15个类别的DeckBuild 范例lY$f*w-j %g0 G8uC2o0v&cK0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试:X2V,I&X7J!(Q4ogY6B5O QF5p0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试#ft/f&qwf-|/x&VnVz5|x|0只需双击该类别，即可查看每个类别的范例。 如果双击首个类别MOS1: MOS Application Examples， 则得到如图2.3显示的列表。 该类别有15个范例。mKpS$?/CY-T0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Qf6U/T 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试K_&T)t/图2.3 MOS 应用范例列表b#Z Y4pO/i0 _T+ig%|%h0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试fv X K$|Q.x Go!;J-SxRs p g/D9;f0;MQ6e3kt0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试!B d7z E 双击任何期望的范例，即可查看其解释。 双击首个范例NMOS : Id/Vgs and Threshold Voltage Extraction，可查看该范例的解释。 结果如图2.4显示。 滚动拉下窗口可浏览全部解释。.s.AD S:v5_jl0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试m:y.B+LQ7o:L 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试-rVDIZ4X图2.4 范例描述窗口 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试.3zvmD+H3X 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 _/P(|%c5n?:p1XVJxl0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试GvqqWP%v u4u+G1Bdz0j5xE wj0KM0为了在DeckBuild运行环境中载入特定范例， 点击DeckBuild: Examples 窗口右上部的Load Example 按钮。 DeckBuild主窗口如图2.5显示。/JM0a;G2|0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试0PRpu LNy4?$l l+F!F5A cDd0图2.5 DeckBuild已载入输入文件中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试(Z)B)i4pg)中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试M3C5ocR9dO%FMf V T-t)Cvc#Ab0 !e0S*hM%l0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试!v ZP Y,Vs%S u+A中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试fP jaU6l 按下run 按钮即可运行范例。运行完成后，屏幕出现两个图。第一个为显示仿真过程中网路掺杂的彩色轮廓图，第二个则是简单的阈值电压Vg 相对 Id图。它们分别为如图2.6和图2.7所示。 一旦选中Load Example 按钮，结构文件和线图既加载在当前工作目录中，因此不必运行仿真即可浏览结果。X-| W,r&h0*VT pQwWWc0 T4 bZ3H5Sn0_ 5J2U|5KV:js0图2.6 显示网路掺杂的工艺仿真结构 fbw5f3is0b#G4x06x H$o%hY0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试1(JN#A5Z;w L.ELnjk0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试wn(Yp| O9gw x7m b-O9jzk0图2.7显示Vg相对Id的器件仿真线图 (P3d u4o0sK0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试#u1 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试9e7F75 KoFZ e q)a?o qz.d0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试!f C52B9S9BQ cK9x-M 2.3: 查看结果中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 Lv;&yX;U_4X ?,h#qXJC0 MZ Yek(B4?4LL0SILVACO的浏览工具TonyPlot是一个功能丰富的绘图工具。该指南中仅介绍它的某些基本性能。当SILVACO的TCAD软件包中保存一个结构文件或一个线图时，创建结构文件或线图的所有参量将自动包含仅该文件，供绘图之用。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试.s!W j|2S.Ie+tTA;GO!M+fe0例如在结构文件绘图中，如果想要绘制其他变量如Donor Concentration, 则如下点击：nlA4l&to:c0 Bcn#KA(G._!eY+U0Plot. Display. Define. Contours.中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试6Ft*cC5o2f*t _1T_/DB3fY43g0然后向下滚动选择Quantity: 方框，得到一组可绘制变量。 如果按照该顺序执行，将出现两个另外的GUI 显示，如图所示2.8。 选择新的参量并点击Apply。/r;zWMIR0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试-Da6q0qWp8.X NfXA!aB;$Ii0图2.8 选中可绘制变量的相关GUI中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试_BcP H8ux中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试*S1E,3u.O p3jf9FOqv0 6qk&Ggz9?q0$ik!I9e1R TvZi0 fwx7t%hu&R!f(I0Q0运行时常需要查看一个图表的cutline片断。 这时，关闭其它相关绘图相关视窗，点击OK, 然后返回主要视图和选择下列命令：v TDr-aMnre0Tools. Cutline.中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试*pMp&yknlT中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Oc uL J| 现在将使用默认vertical cutline方框，但在cutline GUI中也可以选择水平或交叉的cutline方框。 返回主图，在cutline起点处点击并按住鼠标左键。竖向直拖动鼠标，到cutline终点处松开鼠标。松开左键后，cutline图表将自动显示当前现实的参量的cutline。完成操作后点击cutline方框上的 OK 键。Z3y2vC.NO!bZk0 nfi3v b6q3Uj0要在新cutline图上覆盖显示其他变量，则左击线图，使之变为当前视图（图表的白色边框表示它为激活现行图表）。然后点击：?m X7Z0d-Fi n0 )dil?rQc0F+q8A)T0Plot. Display.v,e+m-|_z0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试/F)v$Y 来选择要覆盖在线图上的其它参量。 例如，如果在线图上添加Arsenic, Boron和Phosphorus，它应该显示在图2.9上。 Vg 相对Id 曲线也有相似命令，使它可以在线图上覆盖显示其它电学参量。%a(R0Hr1Z!1hcJf0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试)v*$Ec E 6V4Pr5N6S0图2.9 Cutline图中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试/F g)E.p l0cN&u%L8l+W;q0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试QV2o4M,b0uI2o M中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试*eRe;k5Ef w8CFN)n5FQ|x3t*M,Z0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试:WO/%2d 总的来说，在终端或控制窗口键入tonyplot ，可绘制一个文件；或者在DeckBuild中，通过高亮文件名并按下列顺序操作命令，直接绘制结构。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试$uJ6c v&o中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试- B%P4eq2F.ef jw Tools. Plot. Plot Structure中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试b1pI&Zjb/C中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试(HNO tF$i0oD 要自动绘制一个仿真中创建的结构文件，只需简单添加语句：8f#Hz |&lj0 1d./Aw(K *D0structure outfile=中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Wz/D+b5Kw9Ctonyplot中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试9A%TWf4O1_u!Ij )UcaQ 0至输入文件，仿真器将保存创建的器件文件直至输入文件中该点。仿真器在达到该点之后，即自动绘制结构。用户可在仿真过程中的任意点绘制任意数目的结构文件。lPLIIv3z0 /?#u3z-o0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试?-oj-lu;m:snj!h%vQ0章节2.4: 自动创建和编辑输入文件VA-u)dm!S8R0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试4bv*N*KC_oA2mBY0现在，您应该已经了解如何加载、运行和查看TCAD 范例的结果。接下来演示如何简便创建自己工艺仿真输入文件或者修改已有文件。R9K:w,f)_1s0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试2zG N YsjT 输入文件为简单的ASCII文本格式，因此它可使用任何ASCII 编辑器创建。 但是，DeckBuild 包含一个简单的GUI，可自动创建工艺仿真输入文件。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试R/t.C4M&tf*E1c!b6s8Bl qU6e0为了简化程序，而不必每次从头来创建工艺仿真输入文件，这里将演示如何在现有的输入文件中添加几行代码。通过在每个工序中重复该步骤，该方法同样用于创建整个输入文件。,Z E,Y H6NS6T0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试XB+MB(G* 一旦使用line和init 语句（参见载入范例的首几行）定义了仿真空间和初始衬底，工艺仿真则仅包含很多连续的扩散、植入、蚀刻和淀积步骤。其中每一步均可使用DeckBuild自动编写。Vz4jq6A0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试m&A1NG9D.hnI 回到输入文件的范例中， 假设打算在第一步之后添加一个低能量10keV P-Well Implant。鼠标左击DeckBuild 顶部视窗中首个P-well 植入之后的一行。 然后如下点击：JH;L He:E:y#y R0 9e6L-l+cR0Commands. Process. Implant)faf Kam0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试8S7JIq!a6nZ 屏幕将出现 DeckBuild: ATHENA Implant 视窗。创建额外的注入语句行只需填充该方框而已，其方法是使用滑动条、或者填充数值后按下回车键。 对于10keV 硼注入, 剂量1e11/cm2 ，垂直夹角7 度，主平面旋转27度，其注入GUI 如图2.10所示。完成输入信息后，点击Write，输入文件中则出现一个新行。2Djm 0 L cm.K(s97D0p/nXr0图2.10 完全填充的注入GUIY$B*pU|3Vp.N0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试k pe2X2Z /5Boj5hK d%Y Ixce0 +m-U$M)Ff6X?KC00FDe(h$ 0 M|)YUO h.Y1ewv0同样的方式可创建淀积、注入、扩散、电极、创建网格、晶元初始化，结构文件保存等等. 由于输入文件为简单ASCII 文本，要在直观的语法输入文件中编辑参数，仅需使用DeckBuild中附带的复制、粘贴和删除功能。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试)l*UJy4o-中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试;UdA2l t 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试6Df1Y p0aX3J(xW-A VI_B g3H7g#0第3章: 简易使用手册和自学方法V2e9RQU0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试9sj6K*DJ#?N8E$MLTi)0该手册很厚，乍看可能使人有点畏缩的。所以本章节将为新用户演示如何简便使用范例浏览手册，从而找到特定信息。2G.C8gl5h#Ceh0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试4dg3T:z3yWt D 以章节2.2中列出的输入文件为例，假设我们要理解SRH参数的用途。它出现在输入文件中器件仿真部分，位于models开头的语句行。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试fN1LS,c-x7j7UK:e+wZ0在工艺和器件仿真器中，任何语句行的开头词语均为语句。 这个范例中，第一个词语是models。如果我们想要了解SRH 的作用，我们需要先找出 models statement 的信息。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试(aO(h_ RzJ4Azj5QT g9?0所有的SILVACO产品均有PDF格式的用户手册。要查找器件仿真器的信息，则需要打开ATLAS用户手册。通过在控制台和端子窗口中键入sman 可启动sman 工具，再通过sman 工具可获得用户手册。用户手册如图3.1所示。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试SO bk中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试az8M0C 8Y0_F u*j F*0图3.1 ATLAS 的PDF用户手册中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试3c!PTbg d!v9U中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试tD U-FwP.Dj 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试E!H;het U中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试8J d cf n)N&li7Z(0ew 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 M%U.H0l0q0p3iw&|7d84Rh8arv#b0此手册最显著的特征是语句章节。 它包含器件仿真器按字母顺序排列的所有语句。 因为我们要找models 语句，点击左边的书签索引上语句章旁边的 +扩展符号。 按字母顺序向下滚动选择 Models 语句。 点击Models 语句旁边的+ 扩展符号，可以查看其内容。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试.meFqz E$r)fa|(lu4G.E,b0这时，我们需要选择 。 如果您已猜到SRH等于Schottky Read Hall 的组合缩写，即可点击 Recombination Models Flags章节。 如果不明白SRH 的含义，则点击MODELS 标题，回到该章节开头。 这个章节的开头是另一个与模型语句有关的参数，也以字母顺序排列。 向下滚动直至 SRH ，表格显示：参数类型，以及默认数值和单位。 一旦知晓其类型，便可向下滚动在描述章节找到参数。 也可使用Edit. Find. 功能在描述部分搜索SRH。 不论使用何种方法，都可以找到描述SRH 参数的部分，其如图3.2所示。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试N&zP9Ia4Q| yr|q%z I1n z0. Kx i$y0图3.2 查找到SRH参数 Ncm&b7ngC0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试$i;Sd&Q.L$0r9F%cMx4WgH0%H.qV6nM0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试o b5FCeekJ 这组信息足够让用户了解参数的含义及其默认值。 但是，如果您想要了解使用参数的规则和方程，语句章节中关于SRH 的描述指示用户可参照第三章的方程3-290 。 参考方程3-290，可找到如图 3.3所示的SRH模型的完整描述。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试&p-emm#z中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Bm7,E sx,O中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试d,KkqqoL3a3k7F 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Oe:?(p(tT*Z图3.3 参照SRH模型的完整描述。Gi1Mv+Ro0 zq&_Jx0RH%B0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试j:H2FU;i0my1Rcz0*U,k G hK2HN.au0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试81K&gl!:D 仅需简单点击几次鼠标，即可找到用户控制的方程中参数的含义，以及参数在仿真器中作用的完整描述，还有何种其它用户定义参数。现在您应该清楚如何使用用户的范例了。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试5A(h4bkoA ViW中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试_2Ha9Eb5r 6lg Orp6a!u!O)RD7R0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试L0u N$WMGV 第4章: 其他互联网信息中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试9y,L c/P2aD!K-zu?$C M0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试VMg8r+r+Ej SILVACO 的网站提供丰富的技术信息，它位于信息库部分：9iD/Jp lt8PVA0 1Fq ylZTI0/tech_lib/index.htmlGn%nu d ?0信息分为如下中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试i -Na,QuEi KV+u!NC# J0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试#n3T gU d(|q$x- I z 四个类别中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试*9Av$W2B1/ 仿真标准(SILVACO出版)中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试s(v+R WP6ci2/ 陈述材料中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试s9i:P8k;E;m3/ 参考引用SILVACO软件的书籍中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试;t g7S5l$A(t4/ 发表论文(同行技术文献评论)0&n&w2DnP fpkm0中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Hp5w,8jjZ-ba N*d0SILVACO仿真标准是一个TCAD季度刊物，它包括详细的应用注释，以及涵盖广泛技术的仿真结果。它也包括一些常见问题的提示和技巧。 SILVACO网站提供多年来发表的所有仿真标准刊物。使用搜索功能，可寻找您关心的课题。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试F huX5NA中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Jn AHX(m U:j+G2XMN0“Presentation Materials” 包含各类陈述材料。 某些PowerPoint 陈述材料显示应用范例，以及语法解释。也有一些学术课程材料显示如何将SILVACO TCAD 软件编进学生作业中。其它部分列出SILVACO 软件辅助的专利，以及一组参照SILVACO 软件的教科书。8 g.!L.k0!ijly+k5|0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试n&A:Vh9EHO2v Technical Library（技术库）部分的最后两个部分罗列出教科书和发表的论文，它们分为在所有SILVACO 软件开发中使用的多个类别。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试*V%Pf2t S+| J$k%uDq:a4Q#_ Q r C n0 ;o5ju*f7tNaw0-p0如果您觉得信息太多，使用SILVACO提供的简单搜索功能框，您可迅速有效地找到所需信息。;Ky:PVe9l0s(RO9aH90 8pV0_!BGAFEa0总之，希望我们在这里通过范例，充分为新用户演示了如何简单使用SILVACO软件，查找所需信息，自学达到成功运行TCAD 仿真。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试Z9V iv%M,jda:jMar/10 12人逢喜事精神爽0 Comments | Posted by jieyoung in Life1. 话说72pines挂了，这么多天，今天终于好了。 2. 话说找个silvaco for linux 这么久，今天终于找到了，并且运行了，基本符合。 3. 话说回学校之后买了新电脑，现在还很爽呀！ Funny Stuff, Life Hide Feb/10 25Back up the current system0 Comments | Posted by jieyoung in ubuntu还有4天就回学校去了,现在使用的这台电脑将会留在家里给老爸用了,走之前必须将当前这个ubuntu系统的一些东西备份,还有现在那个xp系统也得给老爸弄得干干净净,漂漂亮亮的.今天的主要任务是备份一些ubuntu下面的东西,并做一下相应的记录1. 用户级别的mplayer配置文件/.mplayer 2. 看IPV6电视的文件IPTV.m3u 3. conky配置文件/.conkyrc 4. rotorrent配置文件/.rtorrent.rc 5. 一直使用的中科大的源文件 source.list文件 6. 现在使用的定制的screenlets /.screenlets 文件夹 7. 保存现在浏览器(firefox)中的书签,chrome已经同步到了Google account 上(年个书签基本一样) 8. 保存life area中的导出文件feedlist.opml 9. 经常使用的脚本以及其配置文件/scripts 以上文件都比较小,同步到ubuntu one 中.下面的东西不得不动用移动硬盘了1. H-spice,Modelsim matlab Tcad安装文件 2. 使用的icon theme 当前使用的pointer 3. 保存的资料/Documents 4. 背景图片,呵呵/usr/share/backgound 5. 十几G的音乐,移动硬盘上有过部分备份,只需要增加相应部分: Tools Hide Feb/10 24懒羊羊语录0 Comments | Posted by jieyoung in Life01）幸福的日子，就是吃饱了撑着去睡觉的日子。02）班长，你看我的眼神多坚定。03）我又可爱，又有责任感，我到底犯了什么错？04）灰太狼，大笨狼，永远斗不过喜羊羊，还要伺候红太狼。05）现在你们才是矮冬瓜，我是高冬瓜。06）我是懒羊羊，我爱吃东西，吃很多东西，吃完东西要睡觉，睡个大懒觉，懒觉睡多了，再吃东西，再睡懒觉。07）到处睡觉就是有好处。08）我又做噩梦了，感觉像是与狼共枕。09）为什么受伤的总是我。10）喜羊羊：如果灰太狼变好，你会怎么样？懒羊羊：很伤心，因为这样就不好玩了。11）我还没睡醒那（抱怨中）既然这样，先睡个觉再说吧（ZZZ）别妨碍我睡觉（抓狂中）12）我不想当上校，我当炊事班班长行吗？（牛气冲天）13）我也好久没和我的薯片，巧克力，糖果团聚了。（牛气冲天）14）成功是99%的天才加上1%的努力。15）每年到了这个时候，我都要思考上很久很久，这无疑是我一生中最痛苦的时刻。16）我什么都不做，是为了大家有机会发挥自己的长处。17）村长，我承认我的确是一只没有恒心，没有意志的小羊。18）机会可是靠自己把握的。19）我是不会和普通的羊一般见识的。20）聪明的羊总是会有意想不到的收获的。21）你们都欺负我，我告诉村长去。22）你们就不能照顾一下现在是女孩子的我吗？23）我是为睡觉而生的高贵的羊。24）救命啊！村长，喜羊羊卖小孩啦！25）我也是只废羊，经常被沸羊羊他们笑。26）青蛙大哥，你还是拜我为师吧！我有可爱的外表，惹人怜爱的表情，遇到危险的时候总是会有人来救我的。Funny Stuff Hide Feb/10 23go atlas0 Comments | Posted by jieyoung in Circuits接着上一篇,athena的参数提取完全之后就是”go altas”(真是有点汤姆.李.琼斯在”fugitive”中的那句”go get him”的感觉)“# set material models 设定材料模型models cvt srh print ”1. cvt “cvt transverse field dependent mobility is used “ 2. srh 指定S-R-H复合模型使用固定寿命 3. print 打印所有模型的状态 “contact name=gate n.poly ” 指定电极的物理属性,n.ploy指定n+掺杂的多晶为电机的接触材料“interface qf=3e10 设置半导体和绝缘体边界的参数QF表示固定电荷密度.“method newton” 设定用来解相应算法的数值方式和方程.“solve init” 指示atlas针对某个偏置来解,init表示所有的电压设置为零.“solve vdrain=0.1 就是指出了drain的电压为0.1的情况下的解.“# Ramp the gate”下面有用语句来了个像HSPICE中的扫描的东西.如是又extract了很多的device parameter:1. extract name=”nvt” (xintercept(maxslope(curve(abs(v.”gate”),abs(i.”drain”) - abs(ave(v.”drain”)/2.0) 2. extract name=”nbeta” slope(maxslope(curve(abs(v.”gate”),abs(i.”drain”) * (1.0/abs(ave(v.”drain”) 3. extract name=”ntheta” (max(abs(v.”drain”) * $”nbeta”)/max(abs(i.”drain”) - (1.0 / (max(abs(v.”gate”) ($”nvt”) PS: 还要细细研习呀.TCAD Hide Feb/10 23Athena1 Comment | Posted by jieyoung in Circuits接着上回的写.下面是etch行”etch oxide all” oxide指明刻蚀的材料,all表示所有指明的材料都被Etch掉“extract name=”gateox” thickness oxide mat.occno=1 x.val=0.05 EXTRACT 是参数提取指令,它可以提起一些诸如材料厚度,结深,极限掺杂水平,当然也包括诸如”薄模电阻”,阈值电压,C-V曲线等的电参数提取.(在VWF 的manual中的chapter 5中有更详细的语法,多得不行了,这里只理解这一行就OK了)这里提取的是一个值(也可以提取一个curve的)thickness 厚度,oxide指明了材料,mat.occno=1,x.val=0.05“depo poly thick=0.2 divi=10 沉积一个层,多晶硅层,厚度0.2,DIVISION=10指出了在垂直方向上该层的网格间距的数量.“etch