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文档简介

真空吸笔使用规范 使用真空吸笔的目的 一 避免Wafer的正面在传递和转移中和其他物体有物理接触 从而把Particle和Scratch等造成的不良降到最低 二 用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免和杜绝 正确的使用方法示范 Step1 首先把Cassette放置在作业台上 并保证放置平稳 方便操作 放置平稳 方便操作 正确的使用方法示范 Step2 认真检查Cassette放置方向是否正确 Cassette内的Wafer是否有方向防反的现象 检查Wafer的方向是否正确 确保方向一致 正确的使用方法示范 Step3 拿紧真空吸笔 用食指夹紧开关的前端 拇指推动开关 拿稳吸笔 用拇指控制开关 正确的使用方法示范 Step4 笔头平行轻触Wafer背面 并确保笔头完全和Wafer接触 吸稳Wafer 笔头完全和Wafer接触 防止吸力不足而导致滑落 正确的使用方法示范 Step5 以Wafer的背面为着力点 垂直将Wafer抽出 速度保持平稳 垂直平稳抽出 以Wafer背面受力 并保持Wafer正面不受力 以Wafer的背面为受力点 避免正面和Cassette摩擦 正确的使用方法示范 Step6 将Cassette倾斜一定角度 将Wafer对好要放置的位置 倾斜一定角度 并将Wafer对准位置 避免错位 Step7 以Wafer的边缘和背面为受力点 插入Cassette 插入Wafer 避免正面和Cassette产生摩擦 以Wafer背面和边缘为受力点插入 Step8 笔头前端和前一片Wafer平齐时 关闭真空开关 使其轻轻滑入Cassette 笔头不要没入Wafer内 避免与邻近的Wafer光面接触到 Step9 关闭真空开关 使Wafer边缘和背面与Cassette接触并轻轻滑落 让Wafer轻轻滑落入Cassette 错误的使用方法 以下列举几种错误使用方法 请大家在今后的使用过程中坚决避免 错误的使用方法 未垂直抽取Wafer 造成与领近的Wafer摩擦 错误的使用方法 未垂直抽取Wafer 造成与领近的Wafer摩擦 错误的使用方法 笔头插入过深 容易造成邻近的Wafer划伤 错误的使用方法 笔头插入过深 容易造成邻近的Wafer划伤 错误的使用方法 摆放错位 错误的使用方法 摆放错位 错误的使用方法 摆放错位
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