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行业资料：_真空退火炉工安全技术操作规程单位：_部门：_日期：_年_月_日第 1 页 共 5 页真空退火炉工安全技术操作规程6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。7.真空度高于0.133Pa后关闭热电偶电源,打开电离计电源,用电离计测量真空度。8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把PID调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%150%,积分时间为62.5min,微分时间为54min)9.把电路电源手动给定旋钮调到最小,开关打到自动位置,把PID调节器的手动调到最小,开关打到手动位置,并接通PID电源。10.电炉送电,调整PID的手动,使三相电流表的输出指示基本均衡在3070A。11.待炉温接近给定值时,把PID的炉温控制从手动打到自动以便进行自动控制。12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把PID由自动打到手动,靠手动调节冷却。13.350以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。15.炉温高于150时,不准放气和打开炉盖。16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。第 3 页 共 5 页真空镀膜岗位安全操作规程1、员工着穿整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋。2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示38020V。3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关置在零或者关的位置上。4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况。5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象。6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。8、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。9、扩散泵加热时，避免人身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤。10、工件旋转时，禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业。11、镀膜作业完成后，需要打开门时，应有作业人员扶住拉手，缓慢的将门打开，并将插销插入固定孔中。12、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使
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