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Semiconductor 半导体MFG Manufacture 制造部Wafer 晶片Boule 晶锭Ingot 晶棒Ascutwafer 毛片Particle 含尘量 微尘粒子Pod 晶盒Cassette 晶片夹CleanRoom 洁净室 Class100000以上 MO MissOperation 误操作 ProcessEngineering 制程工程师 简称为P E 简单称为制程 EquipmentEngineering 设备工程师 简称为E E 简单称为设备 Recipe 程式 PM PreventionMaintenance 预防保养 Alarm 警讯 OI OperationInstruction 规定的标准的正确操作机台的方法的文件 半导体专业词汇汇总 1 2 3 4 5 6 7
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