薄化工艺介绍及不良案例分析.ppt_第1页
薄化工艺介绍及不良案例分析.ppt_第2页
薄化工艺介绍及不良案例分析.ppt_第3页
薄化工艺介绍及不良案例分析.ppt_第4页
薄化工艺介绍及不良案例分析.ppt_第5页
已阅读5页，还剩10页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 内容1 化学薄化设备介绍2 化学薄化工艺介绍3 主要不良案例分析 一 化学薄化设备介绍 设备组成 Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元洗气装置供酸装置温度控制器HF酸浓度计 化学薄化设备实图 二 化学薄化工艺介绍 1 反应时间与玻璃质量损失的关系 注 图表中所研究玻璃为石英玻璃 图1 反应时间与玻璃质量损失之间的关系 2 反应速率与反应温度的关系 图2 玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 3 反应速率与HF酸浓度的关系 图3 玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明反应速率与 HF 2的浓度有很大的相关性 是HF酸溶液中的最主要活性成分 因为以氢键形式存在的H F键比HF分子中的H F键更脆弱 与SiO2反应时更容易断裂 三 主要薄化不良案例分析 1 不可擦拭脏污 脏污区域 正常区域 可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生 结论 薄化前的玻璃表面品质直接决定薄化后玻璃表面品质 测量系统 环境 材料 工艺方法 设备 人 检查方法 检查工具 温度 照度 湿度 胶的黏度 无尘布去污性能X3 无尘布更换频度X2 擦拭方法X1 工作技能 识别脏污能力 清洁度 工具 产生脏污 接触位置 酒精浓度X4 接触次数 2 薄化表面不匀 薄化表面不匀产生原因 1 Conveyer故障处理故障必须先停止蚀刻液供应 必将造成玻璃表面药液残留 继续与玻璃进行蚀刻速率不一致的反应 形成水波纹状表面不匀2 瀑布流分叉 瀑布流蚀刻方式 瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉 玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降低造成局部不平整 3 Nozzle堵塞 喷淋式蚀刻方式 Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时 间接降低药液浓度 从而降低蚀刻速率 形成表面不匀 薄化表面不匀对显示的影响 光线透过玻璃表面 在表面不匀处形成折射 造成光的垂直分量减弱 与周围正常相比产生亮度的差异 薄化表面不匀改善方向 以瀑布流蚀刻方式为例 1 对循环药液储罐增加过滤装置 防止蚀刻产物堆积在瀑布流平台 造成瀑布流分叉 2 增加瀑布流平台的保养频度 及时清理瀑布流平台的堆积产物 3 调整蚀刻液配方 使部分蚀刻产物溶于蚀刻液中 减少堆积和堵塞 强力推荐 大量电子行业电子企业 工厂方面 涵盖LCD LCM TFT TP 3D POL实战技术 包括多家著名电子企业的内部管理制度 表格 流程 成本 绩效考核 供应链 质量管理
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论