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文档简介
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 内容1 化学薄化设备介绍2 化学薄化工艺介绍3 主要不良案例分析 一 化学薄化设备介绍 设备组成 Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元洗气装置供酸装置温度控制器HF酸浓度计 化学薄化设备实图 二 化学薄化工艺介绍 1 反应时间与玻璃质量损失的关系 注 图表中所研究玻璃为石英玻璃 图1 反应时间与玻璃质量损失之间的关系 2 反应速率与反应温度的关系 图2 玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 3 反应速率与HF酸浓度的关系 图3 玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明反应速率与 HF 2的浓度有很大的相关性 是HF酸溶液中的最主要活性成分 因为以氢键形式存在的H F键比HF分子中的H F键更脆弱 与SiO2反应时更容易断裂 三 主要薄化不良案例分析 1 不可擦拭脏污 脏污区域 正常区域 可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生 结论 薄化前的玻璃表面品质直接决定薄化后玻璃表面品质 测量系统 环境 材料 工艺方法 设备 人 检查方法 检查工具 温度 照度 湿度 胶的黏度 无尘布去污性能X3 无尘布更换频度X2 擦拭方法X1 工作技能 识别脏污能力 清洁度 工具 产生脏污 接触位置 酒精浓度X4 接触次数 2 薄化表面不匀 薄化表面不匀产生原因 1 Conveyer故障处理故障必须先停止蚀刻液供应 必将造成玻璃表面药液残留 继续与玻璃进行蚀刻速率不一致的反应 形成水波纹状表面不匀2 瀑布流分叉 瀑布流蚀刻方式 瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉 玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降低造成局部不平整 3 Nozzle堵塞 喷淋式蚀刻方式 Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时 间接降低药液浓度 从而降低蚀刻速率 形成表面不匀 薄化表面不匀对显示的影响 光线透过玻璃表面 在表面不匀处形成折射 造成光的垂直分量减弱 与周围正常相比产生亮度的差异 薄化表面不匀改善方向 以瀑布流蚀刻方式为例 1 对循环药液储罐增加过滤装置 防止蚀刻产物堆积在瀑布流平台 造成瀑布流分叉 2 增加瀑布流平台的保养频度 及时清理瀑布流平台的堆积产物 3 调整蚀刻液配方 使部分蚀刻产物溶于蚀刻液中 减少堆积和堵塞 强力推荐 大量电子行业电子企业 工厂方面 涵盖LCD LCM TFT TP 3D POL实战技术 包括多家著名电子企业的内部管理制度 表格 流程 成本 绩效考核 供应链 质量管理
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