岛津SPM-9500原子力显微镜原理及操作流程.ppt

原子力显微镜 岛津SPM 9500 1 研究背景2 AFM简介3 AFM的基本原理4 AFM主要构件及功能5 AFM成像模式及特点6 AFM的功能 原子力显微镜 7 对样品的要求8 AFM操作流程9 注意事项10 AFM应用领域11 AFM在生命科学中的应用12 AFM应用前景 1 研究背景 以光学显微镜 电子显微镜 扫描隧道显微镜为代表的一系列先进显微技术的出现与应用 为人类科技和社会进步做出了巨大贡献 1986年 IBM公司的G Binning和斯坦福大学的C F Quate及C Gerber合作发明的原子力显微镜 AtomicForceMicroscope AFM 更为突出地显现了显微观测技术对人类的重要性 它是在扫描隧道显微镜基础上为观察非导电物质经改进而发展起来的分子和原子级显微工具 并以高分辨 制样简单 操作易行等特点在生命科学 材料科学等领域发挥了重大作用 推动了纳米科技的发展 促使人类进入了纳米时代 2 AFM简介 原子力显微镜 AtomicForceMicroscope AFM 是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器 它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质 将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定 另一端的微小针尖接近样品 这时它将与其相互作用 作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化 扫描样品时 利用传感器检测这些变化 就可获得作用力分布信息 从而以纳米级分辨率获得表面结构信息 原子力显微镜SPM 9500 3 AFM的基本原理 当样品在针尖下面扫描时 同距离密切相关的针尖 样品相互作用会引起微悬臂的形变 微悬臂的形变是对样品 针尖相互作用的直接反映 通过检测微悬臂产生的弹性形变量 Z 就可以根据微悬臂的弹性系数 和函数式 k Z直接求出样品 针尖间相互作用 再利用照射在悬臂尖端的激光束的反射接收来检测微悬臂的形变 由于光杠杆作用原理 即使小于0 01nm的微悬臂形变也可在光电检测器上产生10nm左右的激光点位移 由此产生的电压变化对应着微悬臂的形变量 通过一定的函数变换便可得到悬臂形变量的测量值 当样品在XY平面内扫描时 对某一点其坐标为 x y 若保持样品在Z轴方向静止 且令探针的竖直初始位置为零 则可根据针尖 样品相互作用与间距的关系得到样品表面的高度变化信息 h x y 即样品表面任意点 x y 相对于初始位点的高度 对样品表面进行定域扫描便可得到此区域的表面形貌A A x y h x y 4 AFM主要构件及功能 1 为反馈光路提供光源的激光系统 Laser 2 进行力 距离反馈的微悬臂系统 Cantilever 3 执行光栅扫描和Z轴定位的压电扫描器 x y zPiezo scanner 4 接收光反馈信号的光电探测器 Detector 5 反馈电子线路 CurrentCircle 6 粗略定位系统 7 防震防噪声系统 8 计算机控制系统与数据处理软件 9 样品探测环境控制系统 湿控 温控 气环境控制等 10 监控激光 悬臂 样品相对位置的显微及CCD摄像系统 其中 前四大系统是该仪器的核心部件 4 1激光系统 激光器是光反馈通路的信号源 由于悬臂尖端的空间有限性 就对照射器上的光束宽度提出了一定要求 足够细 单色性好 发散程度弱 同时也要求光源的稳定性高 可持续运行时间久 工作寿命长 而激光正是能够很好地满足上述条件的光源 4 2微悬臂系统 微悬臂是探测样品的直接工具 它的属性直接关系到仪器的精度和使用范围 微悬臂必须有足够高的力反应能力 这就要求悬臂必须容易弯曲 也易于复位 具有合适的弹性系数 使得零点几个纳 nN 甚至更小的力的变化都可以被探测到 同时也要求悬臂有足够高的时间分辨能力 因而要求悬臂的共振频率应该足够高 可以追随表面高低起伏的变化 根据上述两个要求 微悬臂的尺寸必须在微米的范围 而位于微悬臂末端的探针则在10nm左右 而其上针尖的曲率半径约为30nm 悬臂的固有频率则必须高于10kHz 通常使用的微悬臂材料是Si3N4 其弹性系数k 3 9 57 其中E I分别为杨氏模量 转动惯量 L m f分别是微悬臂的长度 质量和共振频率 微悬臂的劲度常数一般为4 2 0N 4 3压电扫描系统 压电换能器是能将机械作用和电讯号互相转换的物理器件 它不仅能够使样品在XY扫描平面内精确地移动 也能灵敏地感受样品与探针间的作用 同时亦能将反馈光路的电讯号转换成机械位移 进而灵敏地控制样品和探针间的距离 力 并记录因扫描位置的改变而引起的Z向伸缩量 h x y 这样 就实现了对样品的表面扫描 常见扫描器的最小分辨率0 1nm 0 1nm 0 01nm 4 4光电检测与反馈系统 目前AFM探测悬臂微形变的主要方法 光束偏转法用一束激光照在微悬臂的尖端 而用位置灵敏光检测器 PSPD 来接收悬臂尖端的反射激光束 并输出反映反射光位置的信号 由于悬臂的形变会引起反射光束的偏移 导致反射光在PSPD上位置的变化 进而产生反应悬臂的形变的电讯号 以供调节压电扫描器的伸缩控制 5 AFM成像模式及特点 原子力显微镜的操作模式分为三大类型 接触模式 ContactMode 非接触模式 Non contactMode 和轻敲模式 TappingMode 图3给出了AFM不同操作模式在针尖和样品相互作用力曲线中的工作区间和力属性 5 1接触模式 ContactMode 接触模式是AFM最直接的成像模式 样品扫描时 针尖始终同样品 接触 而相互作用力是排斥力 扫描时 悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构 因此力的大小范围在 N 若样品表面柔嫩而不能承受这样的力 便不宜选用接触模式对样品表面进行成像 此模式通常产生稳定 高分辨图像 针尖 样品距离在小于零点几个纳米的斥力区域 对应图3中的1 2段 5 2非接触模 Non contactMode 非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方5 10nm的距离处振荡 样品与针尖之间的相互作用由范德华力控制 通常为N 样品不会被破坏 而且针尖也不会被污染 适合于研究柔嫩物体的表面 此模式的不利之处是要在室温大气环境下完成 针尖 样品距离在几到几十纳米的吸引力区域 对应图3中的3 4段 由于针尖 样品距离较大 因此分辨率比接触式的低 到目前为止 非接触模式通常不适合在液体中成像 在生物样品的研究中也不常见 5 3轻敲模式 TappingMode 轻敲模式是上述两种模式之间的扫描方式 扫描时 在共振频率附近以更大的振幅 20nm 驱动微悬臂 使得针尖与样品间断地接触 当针尖没有接触到表面时 微悬臂以一定的大振幅振动 当针尖接近表面直至轻轻接触表面时 振幅将减小 而当针尖反向远离时 振幅又恢复到原值 作用在样品上的力保持恒定 由于针尖同样品接触 分辨率几乎与接触模式一样好 又因为接触非常短暂 剪切力引起的样品破坏几乎完全消失 轻敲模式适合于分析柔软 粘性和脆性的样品 并适合在液体中成像 5 4三种模式的比较 1 接触模式 ContactMode 优点 扫描速度快 是唯一能够获得 原子分辨率 图像的AFM垂直方向上有明显变化的质硬样品 有时更适于用ContactMode扫描成像 缺点 横向力影响图像质量在空气中 因为样品表面吸附液层的毛细作用使针尖与样品之间的粘着力很大 横向力与粘着力的合力导致图像空间分辨率降低 而且针尖挂擦样品会损坏软质样品 如生物样品 聚合体等 2 非接触模式 Non ContactMode 优点 没有力作用于样品表面 缺点 由于针尖与样品分离 横向分辨率低 为了避免接触吸附层而导致针尖胶粘 其扫描速度低于TappingMode和ContactModeAFM 通常仅用于非常怕水的样品 吸附液层必须薄 如果太厚 针尖会陷入液层 引起反馈不稳 刮擦样品 由于上述缺点 on contactMode的使用受到限制 3 轻敲模式 TappingMode 优点 很好的消除了横向力的影响 降低了由吸附液层引起的力 图像分辨率高 适于观测软 易碎 或胶粘性样品 不会损伤其表面 缺点 比ContactModeAFM的扫描速度慢 6 AFM的功能 6 1表面形貌的表征通过检测探针 样品作用力可表征样品表面的三维形貌 这是AFM最基本的功能 由于表面的高低起伏状态能够准确地以数值的形式获取 对表面整体图像进行分析可得到样品表面的粗糙度Roughness 颗粒度 Granularity 平均梯度 StepHeight 孔结构和孔径分布等参数 对小范围表面图像分析还可得到表面物质的晶形结构 聚集状态 分子的结构 面积和表面积及体积等 通过一定的软件也可对样品的形貌进行丰富的三维模拟显示如等高线显示法 亮度 高度对应法等 亦可转换不同的视角 让图像更适于人的直观视觉 6 2表面物化属性的表征AFM的一种重要的测量方法是力 距离曲线 它包含了丰富的针尖 样品作用信息 在探针接近甚至压入样品表面又随后离开的过程中 测量并记录探针所受到的力 就得到针尖和样品间的力 距离曲线 通过分析针尖 样品作用力 就能够了解样品表面区域的各种性质如压弹性 粘弹性 硬度等物理属性 若样品表面是有机物或生物分子 还可通过探针与分子的结合拉伸了解物质分子的拉伸弹性 聚集状态或空间构象等物理化学属性 若用蛋白受体或其它生物大分子对探针进行修饰 functionization 探针则会具有特定的分子识别功能 从而了解样品表面分子的种类与分布等生物学特性 7 对样品的要求 1 研究对象 有机固体 聚合物以及生物大分子等 2 样品的载体 云母片 玻璃片 石墨 抛光硅片 二氧化硅和某些生物膜等 最常用的是新剥离的云母片 因为其非常平整且容易处理 抛光硅片最好用浓硫酸与30 双氧水的7 3混合液在90 下煮1h 利用电性能测试时需要导电性能良好的载体 如石墨或镀有金属的基片 3 样品的厚度 最大为10mm 4 样品的大小及重量 试样的大小以不大于试样台的大小 直径20mm 为标准 最大值约为40mm 样品不宜过重 如果过重 有时会影响Scanner的动作 8 AFM操作流程 1 启动仪器 接通电源 先打开控制器 再打开AFM主机 开启计算机并双击SPM 9500打开软件 待主机的READY键变亮稳定后 预热20 30分钟 2 放样品 待信号为5个以上时 将待测样品用镊子轻轻放入样品台 3 软件设置 A 打开软件后出现 SPMManager 窗口 B 单击窗口中的online按钮出现 SPMOnline 窗口及 ScanningCondition 子窗口 C 点击 Oscilloscope 前的对勾出现 LeftOscilloscope 波动图像窗口并拖动其至右下方 D 点击 SPMOnline 窗口中 Setting YScanStart Top 设置扫描探针自上而下扫描 点击 PanelDisplay 出现 SignalDisplayPanel 窗口 将垂直 VerticalDeflection 用垂直齿轮调至 2 将水平 HorizontalDeflection 用水平齿轮调至0 反复调节至少3次后 关闭窗口 AFM样品台示意图 SPMOnline 工作窗口 4 设置参数 在 ScanningCondition 子窗口中设置 A Size 微悬臂在样品表面水平扫描范围 设置为20um B Rate 微悬臂扫描速度 设置为2HZ C ZRange 微悬臂扫描时Z方向波动范围 一般设置为 X1 Z方向波动范围为扫描器规定的最大波动范围 X2 指Z方向波动范围缩小一半 D Operating 操作电压为1V E ProportionalGain 比例增益设置为10 F IntegralGain 积分增益设置为0 01 G X Y Z设置为清零模式0 在 SPMOnline 窗口中 ZRange 根据检测对象设置合理数值 5 开始检测 A 点击 FastApproach 快速趋进按钮 微悬臂会自动趋近样品 并且在距离样品10um处自动停止 B 点击 SlowApproach 慢速趋进按钮 当微悬臂接触到样品后 慢速进针自动停止 开始扫描样品并出现扫描图像 慢速进针一般进行8格自动结束 检测进程中出现扫描图像 6 调节图像 A 点击 SPMOnline 窗口中的Zoom选择图像中的合适区域进行放大扫描 B 调节 scancondition 中的 Zrange 使沿Z方向波动的范围缩小相应的倍数 C 当图像出现竖道时 将Data从256 256先设置为512 512 再设置为256 256 D 有时候出现的扫描图形可能是伪图 因此应该回针再重新扫描 E 要看扫描图像中测得的某处样品的高度先按住Shift 再用鼠标在样品处划线 7 保存图像 在工具栏内点击 Save 按钮 选择要保存的图片信息 然后再点击 OK 当扫描到底或在顶时 本次保存才能结束 保存的文件以当前日期和时间命名 当图像上出现SAVETHIS时不能改变检测的各参数 点击任何抬针按钮 都可以停止扫描 8 结束测试 9 处理图像 A 在 SPMManage 窗口下点击 Offline 按钮 出现 SPMOffline 操作窗口 B 在 SPMOffline 窗口的工具栏内 点击文件夹树按钮 Browser 出现图片库窗口 C 在图片库窗口内 双击要处理的图片 会出现它的单独的 SPMOffline 窗口 对于已经平滑好的图片 如果希望看到样品信息的三维信息 点击3D显示按钮 然后在3D设置内可以选择3D视角 D 在 SPMoffline 图片处理窗口的工具栏内 点击平滑按钮 选择 lineflatten 按钮 平滑图片 E 三维图像显示操作 10 结束试验 a 关闭SPMonline软件 b 关闭SPM主机 c 关闭电脑 d 关闭SPM控制器 e 盖好防尘布 9 注意事项 1 各参数设置好后要按回车键 检测中改变参数后也要按回车键 2 开始检测要关闭空调 防止空气流动对检测造成影响 3 检测中 实验员不能碰触仪器桌面 不能在仪器附近来回走动 4 未抬针坚决不能放样品 每次更换样品及试验结束后都必须抬针 每次抬针大约5 6次 5 READY键不亮时可能死机 死机时会发出声响 在垂直于水平旋钮互相切换时也会发出声响 此时要先关闭SPM软件再按POWER键关闭主机 等待稳定后再按POWER键重新启动主机 10 AFM优缺点 优点 1 AFM具有超高的空间分辨率 放大倍数远远超过以往的显微镜 光学显微镜的放大倍数一般不超过1000倍 电子显微镜的放大倍数的极限是100万倍 而AFM的放大倍数是电子显微镜的1000倍 高达10亿倍 可以直接观察到物质的分子和原子 2 AFM的制样过程简单易行 不需要对样品做特殊处理 如镀铜或碳等 只需对样品稍加固定便可进行观察 3 AFM还具有多样的试验环境 既可以在真空中试验 也可以在大气中 甚至还可以在溶液中观察样品 同时对温度没有特殊要求 高温低温皆可以进行 4 AFM具有广泛的研究对象 可研究生物 物理 化学等领域 并能研究生物宏观分子 甚至活的生物组织 5 AFM不仅提供二维图像 而且提供真正的三维表面图 缺点 AFM的成像范