操作规程2013.doc

浙江合盛硅业有限公司企业标准 硅胶车间安全操作规程分发号：硅胶车间安全操作规程Q/HSGY-J-GJ-002编 制：校 对：审 核：审 定：批 准：2012-08-08发布 2012-08-08实施 生胶岗位安全操作规程1、 范围本标准根据110甲基乙烯基硅橡胶（简称生胶）生产工艺规程制定了生胶岗位的开、停车操作方法、安全生产注意事项及异常情况的处理。二、产品规格与特性本产品分子式为：Me2Vi SiO（Me2SiO）n （MeViSiO）mSi Vi Me2,分子量为：40100万，无色透明，有流动性胶状物，无毒、无腐蚀性。燃烧后生成二氧化硅、二氧化碳和水。3、 主要原料规格和特性1、D4化学式：(CH3)2SiO)4，名称：八甲基环四硅氧烷（D4 ）,分子量：296.62,沸点：175176/760 mmHg,闪点：60、59、52(不同的数据库有不同的资料),熔点：1718,折光率：1.3960,密度：0.956,粘度：2 Cs,外观：无色无味液体。无毒、无腐蚀性。强酸、强碱能催化开环聚合，聚合时几乎不放热。燃烧后生成二氧化硅、二氧化碳和水，氧气不足时会炭化。不溶于水，水在八甲基环四硅氧烷中的饱和溶解度为400ppm。2、VMC化学式：（CH3）(CH2CH)SiO）4名称：四甲基四乙烯基环四硅氧烷，分子量344，外观：无色无味液体。无毒、无腐蚀性。强酸、强碱能催化开环聚合。燃烧后生成二氧化硅、二氧化碳和水，氧气不足时会炭化。不溶于水。3、四甲基氢氧化铵四甲基氢氧化铵 (CH3)4NOH分子量91.15。 含结晶水固体，具强碱性，易吸收空气中的二氧化碳。溶于水和醇。有腐蚀性。应密封保存。4、双封头双封头化学式：（CH3）2(CH2CH)）SiOSi（(CH2CH) （CH3）2）,分子量：186，外观：无色液体。无毒、无腐蚀性。燃烧后生成二氧化硅、二氧化碳和水，氧气不足时会炭化。不溶于水。5、 氮气氮气分子式为：N2，分子量为28.01。外观无色无臭气体。熔点：-209.8，沸点-195.6，相对密度0.81（-196）。遇高热，容器内压力增大，有开裂和爆炸危险。空气中氮气含量过高，使吸入氧分压下降，引起缺氧窒息。吸入氮气浓度不太高时，患者最初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚、步态不稳，称之为“氮酩酊”，可进入昏睡或昏迷状态。吸入高浓度，患者可迅速昏迷、因呼吸和心跳停止而死亡。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧，呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。一般不需特殊防护，泄漏时：迅速撤离污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，尽可能切断泄漏源，合理通风，加速扩散。四、脱水系统操作步骤：1脱水系统开车前工作准备1.1检查设备1.1.1检查真空泵等运转情况是否正常。1.1.2检查所有仪表是否正常，设备是否清洁。1.1.3检查设备的气密性是否合格。1.1.4 所有阀门是否处于开车前应有的开闭状态。1.2 系统预热及干燥 若系统在长期停车后重新启用，在第一批投料前，应对降膜蒸发器、干D中间罐进行预热和干燥。1.2.1 降膜蒸发器预热。打开降膜蒸发器夹套蒸汽阀门，蒸汽压力控制为0.20.3Mpa。1.2.2 系统干燥。开启脱水真空泵，通过脱水受器对降膜蒸发器、干D中间罐抽真空，同时通少量氮气，维持8小时以上。2.脱水2.1打开降膜蒸发器夹套蒸汽阀门，降膜蒸发器温度控制在110（5）。启动脱水真空泵通过脱水受器对降膜蒸发器抽真空同时打开脱水冷凝器进出水阀门，在降膜蒸发器真空度达到-0.08Mpa以上时，打开降膜蒸发器进料阀，开启降膜蒸发器进料泵对DMC进行脱水。2.2 脱水蒸出的DMC流量通过降膜蒸发器进料阀门进行调节。2.3 当干D中间罐液位达到60（5）格时，打开脱水料输送泵平衡阀，开启脱水料输送泵，缓慢打开脱水料输送泵阀门将脱好水的DMC通过过滤器送至各线计量槽阀前，调节脱水料进料量维持干D中间罐液位为60（10）格。2.4 脱水正常后，脱出低分子量维持在30%（5%）。3.进料 开启抽料真空泵，当真空缓冲罐真空到-0.096Mpa时，打开计量槽抽真空阀门。计量槽真空度为-0.09Mpa时，打开计量槽进料阀。 4.停车4.1正常停车4.1.1DMC储槽料脱水完成后，停降膜蒸发器进料泵，关闭进料阀门。4.1.2将脱出的低分子全部打入DMC储槽中A/B中，关闭降膜蒸发器蒸汽阀门。4.1.3关脱水受器真空阀，停真空泵。系统冲0.01MPa压力保压。4.2临时停车4.2.1关闭降膜蒸发器进料阀门。将脱水料全部打入DMC储槽AB中，停脱水料输送泵，关闭脱水料输送泵阀门。4.2.2将脱出的低分子全部打入DMC储槽中AB中，关闭降膜蒸发器蒸汽阀门。4.2.3关脱水受器真空阀，停真空泵。4.3突然停电4.3.1立即关闭脱水受器及降膜蒸发器进料阀门。关闭降膜蒸发器蒸汽阀。4.3.2查明停电原因，如在半小时内又恢复供电，则可继续停电前操作。5 .生产中出现的异常现象及处理方法异常现象原因处理方法脱水效果不好系统漏气检修系统，杜绝漏气真空泵故障检修真空泵脱水冷凝器冻堵提高冷却水温度，或间歇通冷却水6. 设备一览表序号设备位号设备名称单位数量功率KW1E2702A/B脱水冷凝器台22E2703A/B脱水蒸发器台23P2704A/B脱水真空泵台25.54P2705A/B干D输送泵台218.5/225P2706A/B脱水料输送泵台246V-2701A/B脱水料储罐台27V2701C-DDMC储罐台28V2707A-D脱水料受器台49V2708A/B干D中间罐台210V2709A/B脱水真空缓冲罐台211X2701DMC过滤器台1五、生胶开、停车步骤1开车前工作准备1.1检查设备 检查聚合釜搅拌、真空泵、热油泵等运转情况是否正常。 检查所有仪表是否正常，设备是否清洁。 检查设备的气密性是否合格。 所有阀门是否处于开车前应有的开闭状态。1.2 系统预热及干燥 若系统在长期停车后重新启用，在第一批投料前，应对聚合釜、平衡罐、脱低分子器进行预热和干燥。1.2.1 聚合釜、平衡罐预热。打开聚合釜及平衡罐夹套蒸汽阀门，蒸汽压力控制为0.05Mpa。1.2.2脱低分子器预热。脱低分子器下部夹套通0.30.4Mpa蒸汽，开热油循环泵，热油温度保持在115120。1.2.3 系统干燥。关闭生胶中间罐通出胶冷凝器阀门，开启聚合釜底阀，打开两平衡罐底阀进料阀及底阀，开启脱低真空泵，通过脱低分子器受器对脱低分子器抽真空，同时聚合釜通少量氮气，维持8小时以上。2.投料2.1开启脱水真空泵，对计量槽抽真空，将DMC从大槽（V2701C/V2701D）抽入计量槽。从低分子贮槽抽入低分子25格（270kg,可根据实际情况适当调整）。抽入的DMC的量应能使DMC液面达到150格（约2000kg）。关闭进料阀，关闭计量槽的真空阀，打开计量槽放空阀。2.2 打开计量槽底部出口阀和干D泵出口阀，打开聚合釜的进料阀及聚合釜放空阀，启动干D泵，将计量槽内的DMC泵入聚合釜。2.3计量槽内DMC泵入完后，关干D泵，关闭计量槽出口阀和干D泵出口阀，关闭聚合釜进料阀及放空阀。2.4当一批DMC泵入完后，计量槽应立即抽入下一批料备用。3.聚合3.1在向聚合釜泵入DMC的同时，打开聚合釜夹套蒸汽阀门，使聚合釜内物料升温（温度控制在100110）。开动聚合釜搅拌，打开放空阀，将计量好的VMC及封头剂从加料口加入聚合釜，关闭加料阀及放空阀。搅拌15分钟后，即可加入碱胶，加料方法同上。3.2聚合釜温度始终保持在100110，待聚合完全后将其调至反应转速，搅拌1小时后停止搅拌。3.3聚合完毕后，将聚合料压至平衡罐内。一批料压完后，应即刻泵入下一批聚合料，并进行聚合。4.平衡4.1 平衡罐温度始终保持在100110，胶料在平衡罐停留时间不得少于2小时。平衡时打开聚合釜底阀、平衡罐进料阀，同时打开聚合釜氮气阀门，往聚合釜充氮气（0.40.55Mpa）将胶料压至平衡罐。4.2平衡完毕后，将平衡料压至脱低分子器。一批料压完后，应即刻压入下一批聚合料，并进行平衡。5.脱低分子5.1停车后，第一批开车时，应先压上批有余胶的平衡罐内的胶料，待余胶压完后再压本次开车的第一批聚合料。向平衡罐通入氮气，保持压力约0.10.6Mpa(根据分子量及压料时间控制)，打开平衡罐底阀，将罐内余胶压向脱低分子器。此时脱低分子器仍处于预热干燥时状态，可以不用消除真空。5.2 当余胶压完后，关闭已压完的平衡罐的底阀，打开两个平衡罐的平衡管阀门，将压空的平衡罐内的氮气转移到满的平衡罐，然后关闭平衡管阀门，向该平衡罐内通入氮气，氮气压力根据压料速度调整，一般氮气压力范围为0.250.6Mpa。打开该平衡罐底阀，将平衡罐料连续地压入脱低分子器。5.3调节热油温度，使花板上胶料的温度在165175。打开脱低分子器顶上放空阀，使胶料充满脱低分子器上部。待顶上放空口有生胶流出时，关闭此放空阀。5.4在平衡罐开始向脱低分子器压料时，打开低分子冷凝器冷却水阀门，启动脱低真空泵，对脱低分子受器抽真空，但不对脱低分子器抽真空。5.5 当脱低分子器上部充满后，当花板有大量胶丝挂下时，开始对脱低分子器抽真空。5.6胶料通过花板呈细丝状挂下，在真空下迅速脱出低分子物。脱低分子器花板以下应保持残压小于 2Kpa，花板以上以保持0.050.6Mpa正压，以平衡罐氮气压力调节花板压力。列管内必须始终充满胶料。5.7出胶中间罐开始对脱低分子器抽真空的同时打开出胶中间罐真空阀，当真空度达到-0.098MPa以上时，关闭出胶中间罐真空阀，打开出胶中间罐进料阀。当胶料充满出胶中间罐时，关闭出胶中间罐进料阀。切换至另一出胶中间罐。5.8出胶打开生胶冷凝器的冷却水，当出胶中间罐胶料满后，向出胶中间罐通入氮气，保持压力约0.10.7Mpa(根据分子量及出胶速度控制)，打开出胶中间罐底阀，将罐内胶料通过出胶冷凝器压出，胶温控制在5570一批料压完后，应即刻切换至另一出胶中间罐，并进行压料出胶。6. 生产控制条件一览表设备名称控制项目操作参数计量罐DMC+低分子2000 Kg（150格）低分子0300Kg（25格）聚合釜VMC(DMC和加入低分子总量-脱水脱出量)1.16Vi%-加入的低分子量1.16 Vi%2/3-封头剂量0.92封头剂投入量以前数据及生胶所需分子量确定催化剂投入量总投入量的十万分之四聚合温度100110夹套蒸汽压力0.30.45Mpa聚合时间11.5小时平衡罐平衡温度100110夹套蒸汽压力0.30.45Mpa平衡时间23小时脱低分子器花板以下残压2kpa花板以上压力0.6MPa花板温度165175热油系统温度1701807.取样分析 对应于每釜计量罐的生胶作为一批，生胶按批分析。外观可在包装箱内目测。8. 停车8.1正常停车8.1.1平衡罐中的胶料压完后，停止聚合釜和平衡罐的加热蒸汽。关闭平衡罐的氮气阀门，将平衡罐部分放空，保持平衡罐内压0.02Mpa，让平衡罐至脱低分子器管道中胶料自动流回平衡罐。8.1.2继续抽真空脱低分子直至只有很少胶丝挂从花板通过，如全部停车停油加热器和热油循环泵。不关油泵出口阀，使脱低分子器中的热油回入热油槽。8.1.3关脱低分子器真空阀，停真空泵。当出胶中间罐中胶料压完后，停出胶。将平衡罐部分放空，保持平衡罐内压0.02Mpa。关冷凝器和冷却器进出水阀门。8.2临时停车8.2.1关闭平衡罐底阀,关闭出胶中间罐底阀，关闭各真空阀。8.2.2若聚合釜正在聚合则关闭聚合釜蒸汽阀门，若已聚合完，则釜内充0.01Mpa氮气保护。8.2.3停真空泵。停循环热油加热，停油循环泵。8.3突然停电8.3.1立即关闭脱低分子器及出胶中间罐各真空阀门。关闭聚合蒸汽阀。关闭平衡罐底阀。关闭出胶中间罐通出胶冷凝器阀门，避免倒吸。8.3.2查明停电原因，如在半小时内又恢复供电，则可继续停电前操作。9.生产中出现的异常现象及处理方法异常现象原因处理方法聚合釜聚合效果不好系统漏气检修系统，杜绝漏气真空泵故障检修真空泵脱水冷凝器冻堵提高冷却水温度，或间歇通冷却水脱低分子器花板上压力超过0.6MPa平衡罐氮气压力过高减小氮气压力花板部分堵塞清理花板生胶分子量太低封头剂过多严格核准封头剂用量物料中水未脱尽严格控制脱水操作聚合、平衡温度偏低保持进料DMC的温度碱胶活性低更换碱胶DMC质量不好更换DMC乙烯基环体质量差更换乙烯基环体生胶分子量太高封头剂用量太少适当补加封头剂生胶挥发份太高热油温度偏低提高热油温度电热棒损坏检修更换电热棒温控系统失灵检修温控系统脱低分子器真空度偏低提高真空度系统漏气检修系统，更换漏气阀门真空泵真空度低检修真空泵生胶外观发黄DMC发黄或有酸性更换好DMC10. 设备一览表序号设备位号设备名称单位数量功率KW1R2711-R27101聚合釜台10552R2712A/B-R27102A/B平衡罐台203R2713-R27103脱低分子器台104R2714A/B-R27104A/B出胶中间罐台105E271(2)1-E279(10)1放空冷凝器台56E2712-E27102出胶冷凝器台107E2713-E27103低分子冷凝器台108E2714-E27104油加热器台106*69P2711-P27101干D泵台10410P2712-P27102低分子泵台101.111P2713-P27103热油泵台102.212P271(2)4-P279(10)4抽料真空泵台57.513P2715-P27105脱低真空泵台107.5+314V2711-V27101计量罐台1015V271(2)2-V279(10)2放空受器台516V2713A/B-V27103A/B脱低分子受器台2017V2714-V27104低分子储槽台1018V271(2)5-V279(10)5储油罐台519V271(2)6-V279(10)6抽料真空缓冲罐台520V2717-V27107真空缓冲罐台1021V2710膨胀槽台122E2701碱胶冷凝器台123E2702A/B脱水冷凝器台224E2703A/B脱水蒸发器台225T2701A/B尾气吸收塔台226P2701DMC循环泵台127P2702A/B洗气水泵台22.228P2703碱胶真空泵台1429P2704A/B脱水真空泵台25.530P2705A/B干D输送泵台218.531P2706A/B脱水料输送泵台2432P2707A/B蒸发器进料泵台21533V2701A-DDMC储罐台434V2702A/B尾气缓冲罐台235V2703氮气缓冲罐台136V2704碱胶水受器台137V2705碱胶真空缓冲罐台138V2706计量罐台139V2707A-D脱水料受器台440V2708A/B干D中间罐台241V2709A/B脱水真空缓冲罐台242R2701A/B碱胶釜台23+3*243X2701DMC过滤器台144V27011(12)配料罐台2装机运行总功率：1273.9KW，电机总台数：68台，设备总台数（套）：248台（套）。11 .集中显示一览表序号位号用途工程单位测量范围1TI2711 TI27101聚合釜温度951152TI2713TI27103平衡罐A温度951153TI2715TI27105平衡罐B温度951154TI2717TI27107脱低分子釜 花板温度1591755TI2718TI27108热油温度165190六、低分子脱水系统1开车前工作准备1.1检查设备1.1.1检查真空泵等运转情况是否正常。1.1.2检查所有仪表是否正常，设备是否清洁。1.1.3检查设备的气密性是否合格。1.1.4 所有阀门是否处于开车前应有的开闭状态。1.2 系统预热及干燥 若系统在长期停车后重新启用，在第一批投料前，应对脱水系统进行预热和干燥。1.2.1 脱水系统预热。打开脱水釜（R-2702）蒸汽阀门，蒸汽压力控制为0.4Mpa。1.2.2 系统干燥。开启脱水真空泵(P-2710)，通过脱水受器(V-2712)对脱水釜抽真空，同时通少量氮气，维持3小时以上。2.投料2.1开脱水真空泵（P-2710），对计量罐（V-27010）抽真空，将低分子从（主系统中低分子储槽（V2714-27104）经过过滤器（X-2703）抽入计量罐。抽入的DMC的量应能使DMC液面达到140格（约2000kg）。关闭过滤器至低分子储槽的阀门，关闭过滤器出口阀，关闭计量槽的真空阀，打开计量槽放空阀。2.2 通过脱水冷凝器对脱水釜抽真空,打开计量槽底部出口阀，打开脱水釜的进料阀，把DMC从计量罐抽入脱水釜中。2.3计量槽内DMC抽完后，关闭计量槽出口阀，关闭脱水釜进料阀及计量罐放空阀。2.4当一批DMC抽入脱水釜后，计量槽应立即抽入下一批料备用。3.脱水3.1在向脱水釜泵抽入DMC的同时，打开脱水釜夹套蒸汽阀门，使脱水釜内物料升温。脱水温度升至至90110。打开脱水釜氮气阀门通过氮气减压阀调节氮气流量为2m3/h3m3/h，通过氮气流量调节脱水速度，脱水时间控制在2小时左右。3.2 当脱水蒸出的DMC达到脱水受器25格（100Kg）时，关闭脱水釜至冷凝器之间的大阀，关闭氮气阀门。关闭真空阀，开脱水受器的放空阀，启动低分子泵将将脱水受器的低分子打入低分子储槽中。3.3打开脱水釜至冷凝器之间的大阀，将釜内多余氮气通过脱水受器排入大气中。打开脱水釜底阀，启动干D泵，将脱水釜中物料通过干D泵打入干低分子储罐中。3.4当一批DMC泵入完后，脱水釜立即进入下一批物料开始脱水。4 取样分析 当干低分子储罐液位达到3米以上停止进料，对低分子进行取样分析。每罐低分子作为一批，脱水料按批次取样分析。5.停车5.1正常停车5.1.1DMC储槽料脱水完成后，关闭脱水釜蒸汽、氮气。5.1.2将脱好的低分子及DMC全部打入储槽中。5.1.3关脱水受器真空阀，停真空泵。5.2临时停车5.2.1关闭脱水釜蒸汽阀门，关闭脱水釜氮气阀门，关闭真空阀。5.2.2釜内充0.08Mpa氮气保护。5.2.3停真空泵。5.3突然停电5.3.1立即关闭脱水釜真空阀门。关闭脱水釜蒸汽阀。5.3.2查明停电原因，如又恢复供电，则可继续停电前操作。6生产中出现的异常现象及处理方法异常现象原因处理方法脱水效果不好系统漏气检修系统，杜绝漏气真空泵故障检修真空泵脱水冷凝器冻堵提高冷却水温度，或间歇通冷却水6 设备一览表序号设备位号设备名称单位数量功率KW1E2704A/B脱水冷凝器台22P-2708干D泵台143P2709低分子泵台11.14P2704A/B脱水真空泵台211*25R2702A/B脱水釜台26V-2710计量罐台17V2711A/B干低分子储罐台28V27012A/B脱水受器台29V-27013低分子储槽台110V27014A/B真空缓冲罐台211X2703过滤器台1七、热油系统1开车前工作准备1.1检查设备 检查热油泵等运转情况是否正常。 检查所有仪表是否正常，设备是否清洁。 检查设备的气密性是否合格。 所有阀门是否处于开车前应有的开闭状态。2.进油2.1开启1#平台脱水真空泵，对储油槽抽真空，将导热油从油桶中抽入储油槽。抽入的导热油量应能使导热油系统全面循环。关闭进料阀，关闭储油槽的真空阀，打开储油槽放空阀。2.2 打开储油槽底部出口阀和热油泵进口阀、出口阀，打开油加热器出口阀，打开脱低分子器加热列管进出油阀。打开膨胀槽底部出油阀，开启2#平台脱水真空泵，对膨胀槽抽真空，将导热油从储油槽中抽入膨胀槽，当膨胀槽液位达到30-40格液位时。关闭膨胀槽底部出油阀和真空阀，打开膨胀槽放空阀。3.热油循环3.1依次启动热油循环泵，将导热油打入脱低分子器列管中，待热油完全循环后，打开泵前回油管，关闭储油槽顶部回油阀。3.2热油循环正常后，打开膨胀槽出油口，及溢流口。4.加热4.1 将油加热器控制温度调制120，将热油中水汽通过油气分离器经膨胀槽排除。4.2热油循环12小时后，可将温度调制使用温度。5热油控制条件参数5.1热油温度控制在200以下（根据花板温度调控）。6.停车6.1关闭膨胀槽出油口及溢流口阀门。关闭油加热器，关闭热油循环泵，关闭脱低分子器进出油阀门，关闭热油泵进出口阀门。6.2突然停电6.2.1立即关闭膨胀槽出油口及溢流口阀门。关闭油加热器，关闭热油循环泵，关闭脱低分子器进出油阀门，关闭热油泵进出口阀门。6.2.2查明停电原因，如在半小时内又恢复供电，则可继续停电前操作。7.生产中出现的异常现象及处理方法异常现象原因处理方法热油温度不足热油循环量不足适当补加导热油电热棒损坏检修更换电热棒温控系统失灵检修温控系统8. 设备一览表序号设备位号设备名称单位数量功率KW1P2713-P27103热油泵台102.22V2714-V27104低分子储槽台103V271(2)5-V279(10)5储油罐台54V2710膨胀槽台1八、碱胶制备操作指引1.0投料配方原料名称数量重量四甲基氢氧化铵晶体 40瓶 10kgDMC45格280kg 碱胶浓度 1.5% 2.0% 2.0操作2.1启动真空泵，将计量好的DMC抽入碱胶釜，开动搅拌。从手孔将四甲基氢氧化铵晶体加入碱胶釜,2.2设定仪表控制温度为45，使物料逐渐升温并自动维持在4550，调节氮气流量,使釜内的真空度为-0.0850.005Mpa，保持3小时。注意观察脱水试镜流量。2.3升温到65，保持3小时。注意观察脱水试镜流量。2.4 设定仪表控制温度为80, 使物料逐渐升温并自动维持在8085，保持5小时。2.5 停止抽真空，关闭真空阀，用氮气消除釜内真空，直至釜内压力为0.10.05Mpa正压，以避免空气进入。2.6 观察碱胶釜内碱胶颜色，碱胶颜色乳白粘稠时，适当增加脱水时间，如颜色为无色透明后，碱胶做好。取样分析碱含量，备用。2.7 将仪表设定控制温度调整为45。九、动转设备操作1.罗茨真空泵机组1.1开车前的准备1. 1.1检查并确定被抽容器至真空泵进气口的真空管路、法兰完好，各阀门处于开启状态，被抽容错上的各阀门应处于关闭状态。1.1.2确认泵前的真空缓冲罐内无积液，放空阀及底阀均处于关闭状态。1.1.3检查罗茨泵内的润滑油液面应在油窗上指示的刻度范围内，并确认润滑油清洁。1.1.4检查确认往复式真空泵曲轴箱内的润滑油液面在油窗上指示的刻度范围内，曲轴箱内无杂物。1.1.5向油杯内加入清洁的润滑油，使润滑油能一滴滴地注入气缸中。2.2开车程序2.2.1先后分别开启往复式真空泵和罗茨泵的冷却水出、进阀门。2.2.2关闭往复式真空泵通向被抽容器的阀门。2.2.3开启往复式真空泵的尾气冷却回收系统。2.2.4启动往复式真空泵，泵的转向从带轮一面看是顺时针方向。2.2.5微开往复式真空泵通向被抽容器的阀门（开启时要注意关注泵的运转情况，应使泵运转平稳无急促或冲击声）。3.3停车3.3.1先关后级罗茨泵。3.3.2关闭往复式真空泵通向被抽容器的阀门。3.3.3关停前级往复式真空泵。3.3.4在停车10分钟后关闭各级泵的冷却水进出阀门。4.4注意4.4.1真空泵冷却小的水温不能