膜技术在电子工业纯水制造中的应用.doc

膜技术在电子工业纯水制造中的应用 摘要：纯水在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一水质要求也越来越高在电子元器件生产中高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同关键词：膜技术纯水一、纯水在电子元器件生产中的作用纯水在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一水质要求也越来越高在电子元器件生产中高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同在电解电容器生产中铝箔及工作件的清洗需用纯水如水中含有氯离子电容器就会漏电在电子管生产中电子管阴极涂敷碳酸盐如其中混入杂质就会影响电子的发射进而影响电子管的放大性能及寿命因此其配液要使用纯水在显像管和阴极射线管生产中其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质是锌或其他金属的硫化物组成的荧光粉颗粒并用硅酸钾粘合而成其配制需用纯水如纯水中含铜在8ppb以上就会引起发光变色；含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪光跳跃；含有机物胶体、微粒、细菌等就会降低荧光层强度及其与玻壳的粘附力并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品在黑白显像管荧光屏生产的12个工序中玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗等5个工序需使用纯水每生产一个显像管需用纯水80kg1液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液如纯水中存在着金属离子、微生物、微粒等杂质就会使液晶显示电路发生故障影响液晶屏质量导致废、次品显像管、液晶显示器生产对纯水水质的要求见表1表1显像管、液晶显示器用纯水水质项目单位电阻率Mcm(25t)细菌个/ml微粒个/mlTOCmg/LNag/LKg/LCug/LFeg/LZng/L黑白显像管彩色显像管液晶显示器55551110(0.5)10(1)10(1)0.50.5110101010101081010101010101010在晶体管、集成电路生产中纯水主要用于清洗硅片另有少量用于药液配制硅片氧化的水汽源部分设备的冷却水配制电镀液等集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大水中的碱金属（K、Na等）会使绝缘膜耐压不良重金属（Au、Ag、Cu等）会使PN结耐压降低族元素（B、Al、Ga等）会使N型半导体特性恶化族元素（P、As、Sb等）会使P型半导体特性恶化2水中细菌高温碳化后的磷（约占灰分的2050%）会使P型硅片上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏3水中的颗粒（包括细菌）如吸附在硅片表面就会引起电路短路或特性变差集成电路生产对纯水水质的要求见表2表2集成电路（DRAM）对纯水水质的要求456集成电路（DRAM）集成度16K64K256K1M4M16M相邻线距（m）42.21.81.20.80.5微粒直径（m）0.40.20.20.10.080.05个数（PCS/ml）10010020201010细菌（CFU/100ML）1005010510.5电阻率（s/cm25）161717.5181818.2TOC(ppb)1000500100503010DO(ppb)500200100805010Na(ppb)110.80.50.10.1二、膜技术在纯水制造中的应用纯水制造中应用的膜技术主要有电渗析（ED）、反渗透（RO）、纳滤（NF）、超滤（UF）、微滤（MF）其工作原理、作用等见表3表3纯水制造中常用的膜技术 摘要：纯水在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一水质要求也越来越高在电子元器件生产中高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同关键词：膜技术纯水一、纯水在电子元器件生产中的作用纯水在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一水质要求也越来越高在电子元器件生产中高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同在电解电容器生产中铝箔及工作件的清洗需用纯水如水中含有氯离子电容器就会漏电在电子管生产中电子管阴极涂敷碳酸盐如其中混入杂质就会影响电子的发射进而影响电子管的放大性能及寿命因此其配液要使用纯水在显像管和阴极射线管生产中其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质是锌或其他金属的硫化物组成的荧光粉颗粒并用硅酸钾粘合而成其配制需用纯水如纯水中含铜在8ppb以上就会引起发光变色；含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪光跳跃；含有机物胶体、微粒、细菌等就会降低荧光层强度及其与玻壳的粘附力并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品在黑白显像管荧光屏生产的12个工序中玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗等5个工序需使用纯水每生产一个显像管需用纯水80kg1液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液如纯水中存在着金属离子、微生物、微粒等杂质就会使液晶显示电路发生故障影响液晶屏质量导致废、次品显像管、液晶显示器生产对纯水水质的要求见表1表1显像管、液晶显示器用纯水水质项目单位电阻率Mcm(25t)细菌个/ml微粒个/mlTOCmg/LNag/LKg/LCug/LFeg/LZng/L黑白显像管彩色显像管液晶显示器55551110(0.5)10(1)10(1)0.50.5110101010101081010101010101010在晶体管、集成电路生产中纯水主要用于清洗硅片另有少量用于药液配制硅片氧化的水汽源部分设备的冷却水配制电镀液等集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大水中的碱金属（K、Na等）会使绝缘膜耐压不良重金属（Au、Ag、Cu等）会使PN结耐压降低族元素（B、Al、Ga等）会使N型半导体特性恶化族元素（P、As、Sb等）会使P型半导体特性恶化2水中细菌高温碳化后的磷（约占灰分的2050%）会使P型硅片上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏3水中的颗粒（包括细菌）如吸附在硅片表面就会引起电路短路或特性变差集成电路生产对纯水水质的要求见表2表2集成电路（DRAM）对纯水水质的要求456集成电路（DRAM）集成度16K64K256K1M4M16M相邻线距（m）42.21.81.20.80.5微粒直径（m）0.40.20.20.10.080.05个数（PCS/ml）10010020201010细菌（CFU/100ML）1005010510.5电阻率（s/cm25）161717.5181818.2TOC(ppb)