W-SC-017 混合气体配制作业指导书(终级版).doc

作业指导书文件名称混合气体配制(重量法)版本/状态B/0受控状态文件编号W-SC-017页 次第 3 页 共 3 页内 容1 目的规范我司混合气体配置操作，保证作业安全及产品质量。2 适用范围适用于我司混合气体配置作业。3 参考标准危险化学品安全管理条例（国务院令第344号）压力容器安全技术监察规程（国家技监局技监发1999154号）剧毒化学品目录20024 作业内容4.1 检查应使用的各种原料气是否齐全，并根据配方计算出各种应加成分的重量。计算公式:W=V0 （其中为该气体的密度, V0为该气体在一个大气压下时的体积,W为该气体的质量. 为气体密度,属于常数,可查附表得知。体积V0可由下列公式导出：由理想气体状态方程式PV=nRT，在等温的条件下有：P0V0=P1V1，则有V0= P1V1/ P0 其中V0为气体在一个大气压下时的体积，P1为该气体在钢瓶内的压力，V1为钢瓶的体积，为一个大气压即1atm。）4.2 将已准备好的成品钢瓶小心放在已开启的电子天平上，称出钢瓶重量并记录下数值。4.3 将要使用的各种组分气体钢瓶接入配气柜配气系统,并打开原料压力表的控制阀。4.4 将成品钢瓶接入配气系统，并开真空泵，接通真空计电源，观察真空度。4.5 打开真空隔离阀，流量控制阀，组份气体控制阀及根据组分气体在钢瓶中的气压，选取用配气柜上的压力表，并将其控制阀打开，对配气系统进行抽空处理。然后根据所要加入的组份（或是稀释气）在管道内加入少量气进行2-3次置换。4.6 待真空计指针达到3Pa时，关闭隔离阀、流量控制阀，打开气源钢瓶的瓶头阀让组分气流入配气管道。接着打开成品钢瓶的瓶头阀。根据第一种组分气体的重量，利用流量控制阀对成品瓶充入需要的量，然后关闭成品钢瓶阀，第一种组分气源钢瓶阀，接着打开隔离阀，流量控制阀，对配气系统进行抽真空处理置换，待真空计指针达到5Pa时。关闭隔离阀、流量控制阀。打开第二组分的气源钢瓶阀，并利用流量控制阀对成品钢瓶充入第二组分所需的量。如果混合气有多种组份，则利用充入第一种、第二种组分的操作过程进行多次充入。直至把各种组份充入完毕。（如对于组分的量要求特别严格者，则每充完一种组分，都需要进行称重）4.7 取下成品钢瓶，并在电子天平上称出其总重量，记下数值，同时算出钢瓶充入完各组分后的总重量与空瓶重量的差值，此时差值与各组分重量和不应超出误差1%，如超过1%应对平衡气的需要量进行相应修正。4.8 把成品钢瓶重新接入配气系统，把平衡气源接入配气柜相应位置，打开各种控制阀，对配气系统进行抽真空处理及置换。当配气系统内真空度达到5Pa时，关闭隔离阀和流量控制阀，打开平衡气源钢瓶阀，让平衡气进入配气管道，然后利用流量控制阀使成品管道形成配制最后一种组分时的最后压力。此时打开成品钢瓶阀，利用流量控制阀对成品钢瓶充入需要量的平衡气。4.9 关闭配气柜上成品控制阀和成品钢瓶阀，取下成品钢瓶并在电子天平上称出实际加入的平衡气量。如果没达到需要量可重复“7”继续对成品钢瓶充入平衡气，直至符合要求。工作完毕后，关闭各种气源在配气柜上的控制阀和气源钢瓶阀。打开隔离阀，流量控制阀，对配气系统管道进行抽真空处理，直至真空度达到5Pa，关闭隔离阀，切断真空泵电源，同时打开放气阀，切断真空计电源，最后切断配气柜总电源，清理工作现场，并把已配制好气的钢瓶送入下一道工序。 5.0工作完毕，关闭电源，清理现场。记录名称表单号保存年限混合气体配制记录（本）F-SC-35-1.01年附件：部分常用气体的密度(25)单位:g/l中 文名 称化学式密度中 文名 称化学式密度中 文名 称化学式密度空气1.179一氧化碳CO1.144三氟化硼BF32.808氧气O21.308二氧化碳CO21.811乙烯C2H41.162氮气21.145氧化亚氮N2O1.811六氟乙烷C2F65.716氩气1.632氧化乙烯C2H4O1.824氨气NH30.705氪气3.490硅烷SiH41.320乙炔C2H21.078氖气0.825氙气Xe5.49四氟化碳CF43.654氦气He0.1636氟气F21.574氢气H20.0823甲烷CH40.6566磷烷PH31.408硫化氢H 2 S1.411乙烷C2H61.245硼烷B2H61.146溴甲烷CH3Br3.920丙烷C3H81.826氯气Cl22.936一氧化氮NO1.243正丁烷n