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什么是净化工程 净化工程是指将一定空气范围内空气中的微粒子，有害空气，细菌等污染物排除，并将室内的温度，洁净度，室内压力，气流速度于气流分布，噪音震动及照明，静电控制在某一需求范围内，这样的一个过程叫净化工程。 净化工程分类： 净化工程主要有：净化车间、无尘室、无尘车间、洁净室、净化间、无菌室、医院手术室、净化装修工程；从事生产风淋室、传递窗、自动洗手烘干机、风机滤网机组FFU、超净工作台、洁净棚不锈钢桌椅、货架等，洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术.术语是 洁净室净化工程一般是建设洁净室的工程。一、洁净室之定义 洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。二、洁净室控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。三、洁净室之分类 1.乱流式(Turbulent Flow)： 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 2.层流式(Laminar)： 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1100。其型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 (2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 3.复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为101000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级Class 1100级。 洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为101000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。美国联邦标准209E洁净室规格 级 数 粒子大小粒子数目压 力温度 C风速或换氧率照 度umParticles/ft3mmAg范 围 推荐值误差值次/hrLux10.51 1.319.42522.2 层流方式0.350.55m/s108016205.00 100.510 5.002.81000.5100特 5.01殊 1,0000.51,000需 乱流方式20次/hr5.010求 10,0000.510,0001.45.065 100,0000.5100,000 5.0700 美国联邦标准209E等级名称等极限值0.1m0.2m0.3m0.5m5m国际单位英制单位/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3M13509.9175.72.1430.90.87510.00.283M1.51124035.02657.501063.003.531.00M2350099.175721.43098.751002.83M2.5101240350265075.0106030.035310.0M3350009917570214309087.51000 28.3 M3.510026500750106003003530100M475700214003090087510000283M4.510003530010002477M5100000283061817.5M5.51000035300010000247070.0M61000000283006180175M6.5100000353000010000024700700M710000000283000618001750超净工作台工作原理及正确使用方法 超净台的优点是操作方便自如，比较舒适，工作效率高，预备时间短，开机10分钟以上即可操作，基本上可随时使用。在工厂化生产中，接种工作量很大，需要经常长久地工作时，超净台是很理想的设备。超净台由三相电机作鼓风动力，功率145260W左右，将空气通过由特制的微孔泡沫塑料片层叠合组成的“超级滤清器”后吹送出来，形成连续不断的无尘无菌的超净空气层流，即所谓“高效的特殊空气”，它除去了大于0.3m的尘埃、真菌和细菌孢子等等。超净空气的流速为2430m/min，这已足够防止附近空气可能袭扰而引起的污染，这样的流速也不会妨碍采用酒精灯或本生灯对器械等的灼烧消毒。工作人员就在这样的无菌条件下操作，保持无菌材料在转移接种过程中不受污染。但是万一操作中途遇到停电，暴露在未过滤空气中的材料便难以幸免污染。这时应迅速结束工作，并在瓶上作出记号，内中的材料如处于增殖阶段，则以后不再用作增殖而转入生根培养。如为一般性生产材料，因极其丰富也可弃去。如处于生根过程，则可留待以后种植用。 超净台电源多采用三相四线制，其中有一零线，连通机器外壳，应接牢在地线上，另外三线都是相线，工作电压是380V。三线接入电路中有一定的顺序，如线头接错了，风机会反转，这时声音正常或稍不正常，超净台正面无风(可用酒精灯火焰观察动静，不宜久试)，应及时切断电源，只要将其中任何两相的线头交换一下位置再接上，就可解决。三相线如只接入两相，或三相中有一相接触不良，则机器声音很不正常，应立即切断电源仔细检修，否则会烧毁电机。这些常识应在开始使用超净台时就向工作人员讲解清楚，免除不应造成的事故与损失。 超净台进风口在背面或正面的下方，金属网罩内有一普通泡沫塑料片或无纺布，用以阻拦大颗粒尘埃，应常检查、拆洗，如发现泡沫塑料老化，要及时更换。除进风口以外，如有漏气孔隙，应当堵严，如贴胶布，塞棉花，贴胶水纸等。工作台正面的金属网罩内是超级滤清器，超级滤清器也可更换，如因使用年久，尘粒堵塞，风速减小，不能保证无菌操作时，则可换上新的。 超净台使用寿命的长短与空气的洁净程度有关。在温带地区超净台可在一般实验室使用，然而在热带或亚热带地区，由于大气中含有高量的花粉，或多粉尘的地区，超净台则宜放在较好的有双道门的室内使用。任何情况下不应将超净台的进风罩对着开敞的门或窗，以免影响滤清器的使用寿命。无菌室应定期用70%酒精或0.5%苯酚喷雾降尘和消毒，用2%新洁尔灭抹拭台面和用具(70%酒精也可)，用福尔马林(40%甲醛)加少量高锰酸钾定期密闭熏蒸，配合紫外线灭菌灯(每次开启15分钟以上)等等消毒灭菌手段，以使无菌室经常保持高度的无菌状态。接种箱内部也应装有紫外线灯，使用前开灯15分钟以上照射灭菌，但凡是照射不到之处仍是有菌的。在紫外线灯开启时间较长时，可激发空气中的氧分子缔合成臭氧分子，这种气体成分有很强的杀菌作用，可以对紫外线没有直接照到的角落产生灭菌效果。由于臭氧有碍健康，在进入操作之前应先关掉紫外线灯，关后十多分钟即可入内。在超净工作台上亦可吊装紫外线灯，但应装在照明灯罩之外，并错开照明灯平行排列，这样在工作时不妨碍照明。若将紫外线灯装入照明灯罩(玻璃板)里面，这是毫无用处的，因为紫外线不能穿透玻璃，它的灯管是石英玻璃，而不是硅酸盐玻璃制成的。 接种室内力求简洁，凡与本室工作无直接关系的物品一律不能放入，以利保持无菌状态。接种室内的空气与外界空气应绝对隔绝，预留的通气孔道应尽量密闭。通气孔道可设上下气窗，气窗面积宜稍大，需覆上4层纱布作简单滤尘。在一天工作之后，可开窗充分换气，然后再予以密闭。总之，既要清洁无尘无菌，又要空气新鲜，适宜工作。覆在通气窗上的纱布应经常换洗。但是上述种种措施只是理想的设计方案，往往不易全面做到，其实只要严格无菌操作手续，在门窗敞开的室内，有一超净台的保护，接种的污染率仍可控制在生产上可以容忍的水平. 洁净技术适用行业洁净技术适用行业行 业 名 称净 化 级 别100级1000级10000级100000级 300000级 电子行业微电子行业计算机行业半导体行业精密机械精密仪器,仪表激光行业医药行业医院生物制品实验室,无菌室精细化工食品，保健品行业室内空气质量标准 GB/T 18883-2002 室内空气质量标准 GB/T 18883-2002 一、室内空气应无毒、无害、无异常嗅味 二、室内空气质量标准见表 其中： 室内空气质量参数 (indoor air quality parameter) 指室内空气中与人体健康有关的物理、化学、生物和放射性参数 可吸入颗粒物 (particles with diameters of 10 um or less ， PMl0) 指悬浮在空气中，空气动力学当量直径小于等于 10um 的颗粒物 总挥发性有机化合物 (Total Volatile Organic Compounds TVOC) ：利用 TenaxGC 或 TenaxTA 采样，非极性色谱柱 ( 极性指数小于 10) 进行分析，保留时间在正己烷和正十六烷之 间的挥发性有机化合物。 标准状态 (normal state) 指温度为 273K ，压力为 101.325kPa 时的干物质状态。室内空气质量标准 序号 参数类别 参数 单位 标准值 备注 1 物理性 温度 2228 夏季空调 a a a a 1624 冬季采暖 2 a 相对湿度 4080 夏季空调 a a a aa 3060 冬季采暖 3 a 空气流速 m s 0.3 夏季空调 a a a a 0.2 冬季采暖 4 a 新风量 M3 h.p 300 a 5 化学性 二氧化硫 SO2 mg 立方米 0.50 1 小时均值 6 a 二氧化氮 NO2 mg 立方米 0.24 1 小时均值 7 a 一氧化碳 CO mg 立方米 10 1 小时均值 8 a 二氧化碳 CO2 0.10 日平均值 9 a 氨 NH3 mg 立方米 0.20 1 小时均值 10 a 臭氧 O3 mg 立方米 0.16 1 小时均值 11 a 甲醛 HCHO mg 立方米 0.10 1 小时均值 12 a 苯 C6H6 mg 立方米 0.11 1 小时均值 13 a 甲苯 C7H8 mg 立方米 0.20 1 小时均值 14 a 二甲苯 C8H10 mg 立方米 0.20 1 小时均值 15 a 苯并 a 芘 B(a)P mg 立方米 1.0 日平均值 16 a 可吸人颗粒 PMl0 mg 立方米 0.15 日平均值 17 a 总挥发性有机物 TVOC mg 立方米 0.60 8 小时均值 18 生物性 氡 222Rn cfu 立方米 2500 依据仪器定 19 放射性 菌落总数 Bq 立方米 400 年平均值 a a a a a ( 行动水平 ) 新风量要求标准值，除温度、相对湿度外的其它参数要求标准值； 行动水平即达到此水平建议采取干预行动以降低室内氡浓度。 ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级 ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度（颗/m3）0.1m0.2m0.3m0.5m1m5mISO1级102ISO2级10024104ISO3级1000237102358ISO4级100002370102035283ISO5级1000002370010200352083229ISO6级1000000237000102000352008320293ISO7级352000832002930ISO8级352000083200029300ISO9级352000008320000293000常用单位换算常用单位换算 1米m = 3.28英尺ft1CFM（ft3/min） = 0.4719L/s1平方米m2 = 10.76平方英尺ft21CFS(ft3/s) = 28.32L/s1立方米m3 = 35.3立方英尺ft31FPM(ft/min) = 0.00508m/s1英制加仑gallon = 4.55升L1BTU/h = 0.2931W1美制加仑gallon = 3.79升L1千瓦kw = 860千卡/小时kcal/h1磅lb = 454克g1USTR美国冷吨 = 3.516 kw1马力HP = 0.746千瓦kw1巴bar = 100千帕kpa1摄氏度 = 5(华氏度F-32)/91mmH2O(毫米水柱) = 9.8067帕Pa洁净室和洁净区的环境控制要求-美国联邦标准209E（1992年9月11日发布，取代1988年6月5日发布的FED-STD-209E）本标准经联邦政府服务总局、联邦供应服务司专员批准，供联邦政府各机构使用。目录1. 范围及局限1.1. 范围1.2. 局限2. 参考文献3. 定义3.1. 悬浮粒子洁净分级3.2. 非动态采样3.3. 标定3.4. 洁净区3.5. 洁净室3.5.1. 空态洁净室（设施）3.5.2. 静态洁净室（设施）3.5.3. 动态洁净室（设施）3.6. 凝结核计数器（CNC）3.7. 离散粒子计数器（DPC）3.8. 入口平面3.9. 同轴性3.10. 均动态采样3.11. 监测3.12. 非单向流3.13. 粒子3.14. 粒子浓度3.15. 粒子尺寸3.16. 学生分布3.17. U描述3.18. 超微粒子3.19. 单向流3.20. 置信上限（UCL）3.21. 鉴定4. 悬浮粒子洁净室分级和U描述4.1. 表I中列出的洁净度分级4.1.1. 测量表I中所列粒子尺寸4.1.2. 其它粒子尺寸的测量4.2. 其它悬浮粒子洁净度分级替代的确定原则4.3. 描述超微粒子浓度的规定（U描述）4.4. 悬浮粒子浓度的命名4.4.1. 悬浮粒子洁净度分级的格式4.4.2. U描述的格式5. 悬浮粒子洁净度的鉴定和监测5.1. 悬浮粒子洁净度的鉴定5.1.1. 频度5.1.2. 环境测试条件5.1.2.1. 鉴定过程中洁净室或洁净区的状态5.1.2.2. 环境参数5.1.3. 粒子计数5.1.3.1. 采样点和数量：单向流5.1.3.2. 采样点和数量：非单向流5.1.3.3. 采样点的限定5.1.3.4. 采样量和采样时间5.1.3.4.1. 表I各级别的单一采样计划5.1.3.4.2. 其它级别或粒径的单一采样计划5.1.3.4.3. U描述的单一采样计划5.1.3.4.4. 连续采样计划5.1.4. 数据处理5.2. 悬浮粒子洁净度的监测5.2.1. 监测计划5.2.2. 监测用的粒子计数5.3. 测量悬浮粒子浓度的方法和装置5.3.1. 大于等于5微米的粒子的计数5.3.2. 小于5微米的粒子的计数5.3.3. 超微粒子的计数5.3.4. 粒子计数方法的局限5.3.5. 粒子计数方法的标定5.4. 统计分析5.4.1. 鉴定的验收原则5.4.2. 决定验收的计算5.4.2.1. 采样点的平均粒子浓度5.4.2.2. 平均值的中值5.4.2.3. 平均值的标准偏差5.4.2.4. 平均值的标准误差5.4.2.5. 置信上限（UCL）5.4.2.6. 采样计算6. 变更推荐7. 与参考文献的矛盾8. 涉及的联邦政府机构附录A使用光学显微镜对悬浮粒子进行计数和测量附录B离散粒子计数器操作法附录C匀速及非匀速采样附录D超微粒子浓度测量方法附录EFED-STD-209E标准所采用的统计原理推论附录F连续采样：一种鉴定空气洁净度的可选方法附录G补充信息的来源注：本翻译尚未包含所有附录1. 范围及局限1.1 范围本文件建立了由悬浮粒子含量来规定空气洁净室和洁净区的空气洁净度的标准分级，并且提供了其他可供选择的分级方式。描述了鉴定空气洁净度的方法以及建立空气洁净度监测方案的要求。也提供了确定和描述超微粒子浓度的方法（U描述法）。1.2 局限本文件技术要求不适用于洁净室和洁净区内使用的设备、物品，除悬浮粒子的大小分级和数量外，本文件对悬浮粒子的物理、化学、放射性或生命特征将不作描述。在悬浮粒子浓度与有生命的悬浮粒子量之间没有确定的关系。为了监测及控制其他形式的污染，除了对洁净空气供给要监测全部粒子污染物并满足所确定的限值外，还须有其他专门要求。2. 参考文献2.1. 实验概率论Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart编著，John Wileg&Sons出版，New York (1982).2.2. 悬浮微粒子技术：悬浮微粒子性质、状态及测量Hinds, W. C.编著，John Wileg&Sons出版，New York (1982).2.3. 联邦政府推荐常用公制单位FED-STD-376，推荐使用国际单位制（SI），在国际单位与美国惯用单位相抵触时，国际单位制优先。3. 定义3.1.悬浮粒子的洁净度分级 洁净度是由每立方米（每立方英尺）空气中所含有最大允许微粒子数量来确定的，其分级明确见表I，其测定见5.4节中的概率方法。国际单位制中分级名称是由每立方米空气中含有0.5m或更大微粒的最大允许数之常用对数来表示的，而英制单位（美国惯用）分级名称则取自每立方英尺空气中含有0.5m或更大微粒的最大允许数。3.2.非动态采样 在移动空气流的平均速度不同于空气进入取样器入口平均速度的采样状态下，由于粒子惯性，非动态采样会使样品中的粒子浓度不同于所采样空气中的粒子浓度。3.3.标定 将精确度未知的测量标准或仪器与另一精确度已知的测量标准或仪器相比较，用来检测、修正、报告或通过调整来消除精确度未知的标准或仪器在精确度上的偏差。3.4.洁净区指其内悬浮粒子浓度被控制在某一特定的洁净等级内的某一限定空间。3.5.洁净室 制其内悬浮粒子浓度被控制的房间，它可包含一个或多个洁净区。3.5.1.空态洁净室（设施） 指已建成并准备投运的洁净室，其中所有服务设施均已接通并达到功能要求，但室内没有生产设备和操作人员。3.5.2.静态洁净室（设施） 指已建成并安装好所有服务设备及生产设备，能够或正在运行的洁净室，但室内无操作人员。3.5.3.动态洁净室（设施） 指正常运行的洁净室，亦即室内所有服务设施、生产设备及工作人员正在正常运行时的洁净室。3.6. 凝结核计数器（CNC） 一种用于对大于或等于0.01m的小悬浮微粒计数的仪器，它借助于光学方法来测量由蒸气凝结在微粒子上而形成的液滴。3.7. 离散粒子计数器（DPC） 一种能够分辩离散粒子的仪器，它类似于光学粒子计数器和凝结核计数器。3.8. 入口平面 指垂直于单向气流的平面，这个平面就在于我们感兴趣的区域（无特别说明即特指工作区）的上升气流内，且这个平面与垂直于这个气流方向的洁净区横断面具有相同的面积。3.9. 同轴性 指采样器入口的气流方向与被采样单向气流的方向相同的采样状态。3.10. 均动态采样 指在同轴采样状态下，进入采样器入口气流的平均度与所测单向气流的平均速度相同的状态。3.11. 监测 指在洁净室或洁净区内对悬浮粒子浓度及其他相关情况的例行测定。3.12. 非单向流 指与单向流定义不符的气流，以前称为“乱流”或“非层流”。3.13. 粒子 一般尺寸为0.0011000m的固体、液体或固液混合物质。3.14. 粒子浓度 单位体积空气中所含有的离散粒子的数量。3.15. 粒子尺寸使用显微镜观察时，在观察平面上看到的粒子视在最大线性长度，或由自动仪器测得的粒子的当量直径。（当量直径是指对感受器具体和被测粒子相同反映的已知特性的参考球体直径。）3.16. 学生分布 分布函数为：t=（样本均值-总体均值）/样本均值的标准误差 该式是从正态（高斯）分布抽样得到的，临界值表可从统计学教科书中找到（见2.1节）3.17. U描述 指超微粒子的最大允许浓度（每立方米空气中粒子数），U描述可适当地用作为置信上限、现场平均值的上限或是同样作为现场平均值与置信上限。U描述不受悬浮粒子洁净级别的限制，它适用于单个洁净等级的悬浮粒子也可用于多个洁净等级相混合的悬浮粒子。3.18. 超微粒子 指尺寸范围大约从0.02m到附录D中描述的离散粒子计数器（DPC）的测定值上限之间的粒子，超微粒子在计算上是通过计数器效率与附录D中的粒子尺寸之比来确定的。3.19. 单向流 指通常具有平行的气流线以单一方向运动并匀速通过其横断面的气流。以前称为“层流”。3.20. 置信上限（UCL） 如果均值是从正态（高斯）分布中抽样得到的，而按给定值信度（本标准中取95%）下计算所得的估计上限将大于实际均值，则称这一均值估计上限为置信上限。3.21. 鉴定 指在洁净室或洁净区内按悬浮粒子洁净度分布界线、U描述或其他有关规定，确定空气的洁净度的过程。4. 悬浮粒子洁净室分级和U描述 空气洁净度的鉴定按本标准第5节使用一个特别限定的分级系统。 本部分确定了空气洁净度的分级标准，每一洁净度等级对悬浮粒子尺寸范围和浓度均有限定（见表I）。同时，为了确定基于粒子尺寸变化的标准分级和其它替代的（非标准）分级，也制定了规定。此外，还提供了使用超微粒子浓度（U描述）描述空气洁净度的基本原理。 给定的专用名词系统适合描述所有洁净度分级和U描述。4.1. 表I中列出的洁净度分级 悬浮粒子洁净度分级列于表I中，空气洁净度的鉴定则通过对表I中的一种或多种粒子尺寸或其它规定粒子尺寸的测定来完成，详述如下：4.1.1. 测量表I中所列粒子尺寸 通过测量表I中的某一级别所列的一种或多种粒子尺寸来完成鉴定，并使用4.4.1.中所述的格式书写报告。如果测得的粒子浓度是按4.5节的统计分析确定的，并在表I所列对应级规定的任一粒子浓度的界限内，则认为悬浮粒子洁净度满足该级。4.1.2. 其它粒子尺寸的测量 也可通过测定表I中所列之外的其他粒子的尺寸来完成鉴定，并按以下限制条件来进行：其他粒径或尺寸选择必须在表I所标明级别的尺寸范围内。如果测得的粒子浓度是按5.4节的统计分析确定的，并且每一选定的其他粒子的粒径都不超过表I中给出的下一级较大粒径的界限，则认为悬浮粒子洁净度满足该级。4.2. 其它悬浮粒子洁净度分级替代的确定原则 在特殊用途的情况下也可以定义不同于表I中所列洁净度分级的其他级别（如M2.2级、M4.3级及M6.4级（56007000级）。与表I中所列的洁净度等级相同，其他等级的分级名称确定也是建立在对0.5m及以上粒子浓度的界限上。其他尺寸粒子的浓度界限可在表I中按相邻的洁净度级别浓度界限同样的比例得到，此界限也可以通过表I脚注内的近似方程式计算出来。同样，对于洁净度等级超过M1或1级的情况。粒子尺寸不同于0.5m的粒子浓度界限与M1或1级的浓度界限具有相同的比例。表I 悬浮粒子洁净度分级 对每一分级名称均给出了其分级界限，此界限指出的特定悬浮粒子浓度（单位体积粒子数）均大于等于表中所列出的粒子尺寸。分级名称分级界限0.1m0.2m0.3m0.5m5.0m单位体积单位体积单位体积单位体积单位体积SI英制M3Ft3M3Ft3M3Ft3M3Ft3M3Ft3M113509.9175.72.1430.90.87510.00.283-M1.51424035.02657.5010693.0035.31.00-M2350099.175721.43098.751002.83-M2.51012400350265075.0106030.035310.0-M3350009917570214309087.5100028.3-M3.5100-26500750106003003530100-M4-7570021403090087510000283-M4.51000-3530010002477.00M5-100000283061817.5M5.510000-35300010000247070.0M6-1000000283006180175M6.5100000-353000010000024700700M7-10000000283000618001750表I所示洁净度分级界限只为分级定义的目的而确定，在任何特殊情况下不表示由此所建立的粒径尺寸分布。中间级别的浓度界限可近似通过下式计算：离子数/m3=10M(0.5/d)2.2式中M为国际单位（SI）制中分级的特定数字名称，d是粒子尺寸（单位为微米）。或 离子数ft3=Nc(0.5/d)2.2式中Nc为英制单位中分级的特定数字名称，d是粒子尺寸（单位为微米）。命名和描述洁净度分级时推荐使用国标单位（SI）制的名称和单位，但英制（美国惯用）单位也可使用。当用国际制单位表示时，分级的特定数字名称是由每立方米空气中含有的0.5m及以上粒子的最大允许数之常用对数值（以10为底，尾数取整到第一位小数）得到的，当用英制（美国惯用）单位表示时，分级的特定数字名称则由每立方英尺空气中所含有的大于或等于0.5m粒子的最大允许值得到的。(a) 对于洁净度分级小于M4.5级（1000级）的其他级别，其浓度可通过测量以下粒子尺寸范围内的粒子来确定，按规定此粒子尺寸范围即可是大于或等于0.5m又可是大于或等于5m或二种均可。(b) 对于洁净度分级大于M4.5级（1000级）又小于3.5级（100级）的其他级别，其确定可以通过测量以下粒子尺寸范围内的一种或多种得到的，按规定此粒子尺寸范围可以是大于或等于0.2m、大于或等于0.3m、大于或等于0.5m。(c) 对于洁净度分级小于M3.5级（100级）的其他级别，其确定可以通过测量以下粒子尺寸范围内的一种或多种得到的，按规定此粒子尺寸范围可以是大于或等于0.1m、大于或等于0.2m、大于或等于0.3m及大于或等于0.5m。4.3. 描述超微粒子浓度的规定（U描述） 按规定，U描述用来表示超粒子浓度时可按3.17节的规定。U描述可用来补充洁净度分级的定义，也可单独使用。U描述的格式将在4.4.2节中说明。4.4. 悬浮粒子浓度的命名4.4.1.悬浮粒子洁净度分级的格式 各洁净度分级可使用“X级（在Y微米）”的格式来表示，此时X代表悬浮粒子洁净度分级的特定数自名称，Y代表粒子尺寸或与规定浓度（分级）界限相对应的粒子尺寸。 例如：“M2.5级（在0.3m和0.5m）即指每立方米空气中含有0.3m以上的粒子不超过1060个，0.5m以上的粒子不超过353个。 “100级（在0.5m）即指每立方英尺空气中含有0.5m以上的粒子不超过100个。 4.4.2.U描述的格式 U描述可单独使用或作为悬浮粒子洁净度分级确定的补充。由于超微粒子的下限已经为使用的设备所决定，所以对U描述不必规定粒子尺寸（参见3.18节及附录D）。 U描述可使用格式“U（X）”来表示。这里X为每立方米空气中超微粒子的最大允许浓度。 例如“U（20）”表示每立方米空气中超微粒子不超过20个。“M1.5级（在0.3m）,U(2000)”则表示每立方米空气中0.3m粒子不超过106个，超微粒子不超过2000个。5. 悬浮粒子洁净度的鉴定和监测5.1. 悬浮粒子洁净度的鉴定 根据4节定义，鉴定是确定一个洁净室或洁净区内的空气是否满足悬浮粒子洁净度分级界限或U描述（或二者均满足）的过程。应在5.115.14节中所述的条件下，通过对悬浮粒子浓度的测量来完成鉴定。粒子尺寸或为鉴定而进行测量的粒子尺寸应当按规定使用4.4节中所描述的近似格式表示。5.1.1. 频度 鉴定测试应在初试以后按一定间隔或其他规定定期进行。5.1.2. 环境测试条件 洁净度分级的鉴定应在包括以下规定的操作条件下通过测量粒子浓度来完成。5.1.2.1. 鉴定过程中洁净室或洁净区的状态 鉴定过程中洁净室或洁净区的状态应标明“空态”、“静态”、“动态”或其他规定状态。5.1.2.2. 环境参数 应该记录在鉴定过程中与洁净室和洁净区有关的测量及观察的实际环境参数，此类参数可以包括（但不仅限于此）空气流速、换气次数、室内气压、补充新风量、单向流平行度、空气扰度、温度、湿度或露点、室内振动，此外，室内人员及设备活动情况也应注明。5.1.3. 粒子计数 鉴定洁净室和洁净区的洁净度按适当的粒子计数法或5.3节中所述方法或按其他规定的方法进行，适当的采样地点和采样计划应该从以下说明中选择。5.1.3.1. 采样点和数量：单向流 对单向流，采样点应在整个洁净区的入口平面上均匀分布，洁净区内受设备限制或有特殊规定的除外。对单向流洁净区的鉴定所要求的最小采样点数量应为以下（a）、(b)中的小者。 （a）、国际单位（SI）制：A/2.32 这里A是指入口平面的面积（单位为平方米）。 英制单位（美国惯用）：A/25 这里A是指入口平面的面积（单位为平方英尺）。 （b）、国际单位（SI）制：A*64（10M）0.5 这里A是指入口平面的面积（单位为平方米）,M是表I中所列国际单位制洁净度分级的特定数字名称。英制单位（美国惯用）：A/（Nc）0.5 这里A是指入口平面的面积（单位为平方英尺），M是表I中所列国际单位制洁净度分级的特定数字名称。 采样点数量通常取整到下一个高位整数。5.1.3.2.采样点和数量：非单向流对非单向流，采样点应在洁净区水平方向均布，但特殊规定的可在垂直方向布置，洁净区内受设备限制的除外。 对非单向流洁净区的鉴定所要求的最小采样点数量应等于： 国际单位（SI）制：A*64/（10M）0.5 这里A是指洁净区的地面面积（单位为平方米），M是表I中所列国际单位（SI）制洁净度分级的特定数字名称。 英制（美国惯用）：A/（Nc）0.5这里A是指洁净区的地面面积（单位为平方米），Nc是表I中所列英制单位洁净度分级的特定数字名称。 采样点熟练通常取整到下一个高位整数。5.1.3.3.采样点的限定 任何洁净区的采样点不少于2个，除在洁净区内受设备限制外，采样点应在洁净区域内均匀分布，每一个采样点至少采样一次（见5.1.3.1节或5.1.3.2节），每个采样点采样可多于一次，且不同的采样点可有不同的采样次数。但每个洁净区内总采样次数不少于5次。 在适当的时候，采样位置多于所要求的最少采样点的采样将增加平均数和其置信上限均值的精确度。5.1.3.4.采样量和采样时间 采样的空气量和采样时间根据下列适当的节段确定。5.1.3.4.1.表I各级别的单一采样计划 如果对每一个规定的粒子尺寸，粒子浓度均在该洁净度分级的界限内，则对每一个采样点每一次采样的被测空气量必须是最少可测到20个粒子的有效空气量。 下面的公式提供了一个被采样的最小空气量的平均计算公式，此公式可作为表I中所列的每单位体积粒子数量的相关附属部分。 V=20个粒子/表I中的分级界限（粒子数量/体积） 空气的采样体积应不少于0.00283m3（0.1立方英尺），此外，采样体积的计算结果不得取整。 较大的采样体积将会减少各采样值之间的差异，但采样体积不能大到使采样时间变得不切实际。采样体积不必在所有采样点都相同。但是粒子浓度应以每立方米（立方英尺）空气中的粒子数量记录报告，而与采样体积无关。采样体积也应记录。在采样体积大于最小采样体积时将提高采样平均数与其置信上限均值的精确度。 采样时间可通过采样体积除以采样速率来计算得到。5.1.3.4.2.其它级别或粒径的单一采样计划 按4.2节规定，为了鉴定空气是否满足其他洁净度分级界限所需的最小采样体积，必须根据5.1.3.4节所述的方法，由表I中所列的相邻洁净度分级的采样体积所决定。 按4.2节所述，对其他粒子尺寸测量的鉴定所需的最小采样体积，必须根据5.1.3.4.1节所述的方法，由表I中所列的相邻洁净度分级的采样体积所决定。 采样时间可通过采样体积除以采样速率来计算得到。 对有关采样体积的其他考虑，同样适用于上述情况，详见5.1.3.4.1节所述。5.1.3.4.3.U描述的单一采样计划 鉴定超微粒子浓度所需的采样体积是在规定