工序能力及工序能力指数43732.ppt

工序能力及工序能力指数的计算 1 基本要点2 工序能力的定量表征 1 基本要点 1 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好 可靠性水平高的产品 1 基本要点 1 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好 可靠性水平高的产品 2 工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法 其实质作用是反映工艺成品率的高低 1 基本要点 1 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好 可靠性水平高的产品 2 工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法 其实质作用是反映工艺成品率的高低 3 6 设计 是在工序能力指数分析基础上对生产工艺水平的新要求 其实质作用也是反映工艺成品率的高低 1 基本要点 预备知识 关于测试数据的 分布 1 基本要点 预备知识 关于测试数据的 分布 关于正态分布 工序能力及工序能力指数的计算 1 基本要点2 工序能力的定量表征 2 工序能力的定量表征 1 工序能力 2 潜在工序能力指数 Cp 3 实际工序能力指数 Cpk 4 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU 5 Cp和Cpk的常规计算方法 2 工序能力的定量表征 1 工序能力 2 工序能力的定量表征 1 工序能力通常工艺参数服从正态分布N 2 2 工序能力的定量表征 1 工序能力通常工艺参数服从正态分布N 2 正态分布标准偏差 的大小反映了参数的分散程度 绝大部分数值集中在 3 范围内 其比例为99 73 2 工序能力的定量表征 1 工序能力通常工艺参数服从正态分布N 2 正态分布标准偏差 的大小反映了参数的分散程度 绝大部分数值集中在 3 范围内 其比例为99 73 通常将6 称为工序能力 6 范围越小 表示该工序加工的工艺参数越集中 则生产出成品率高 可靠性好的产品的能力越强 即固有能力越强 2 工序能力的定量表征 2 潜在工序能力指数CP 2 工序能力的定量表征 2 潜在工序能力指数CP为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程度 工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数 CP TU TL 6 T 6 2 工序能力的定量表征 2 潜在工序能力指数CP为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程度 工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数 CP TU TL 6 T 6 通过积分可得工艺成品率为 2 工序能力的定量表征 2 潜在工序能力指数CP为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程度 工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数 CP TU TL 6 T 6 通过积分可得工艺成品率为 可得工序能力指数与成品率之间的关系 规范范围CP工艺成品率不合格品率 3 199 73 2700PPM 6 299 9999998 0 002PPM 2 工序能力的定量表征 2 潜在工序能力指数CP为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程度 工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数 CP TU TL 6 T 6 通过积分可得工艺成品率为 可得工序能力指数与成品率之间的关系 规范范围CP工艺成品率不合格品率 3 199 73 2700PPM 6 299 9999998 0 002PPM结论 工序能力指数越高 成品率也越高 2 工序能力的定量表征 3 实际工序能力指数 CPK 2 工序能力的定量表征 3 实际工序能力指数 CPK在元器件生产中 采用闭环工艺控制的情况并不多 大多为 间接 工艺控制 很难使两者重合 例如 IC中的扩散工艺 并不能在扩散过程中随时监测方块电阻Rs的变化情况 因此不能做到在Rs达到规范中心值时结束扩散 实际上都是先做试片 根据试片测试结果调整工艺条件 实践表明 对于这种 间接 控制的工艺 工艺参数分布中心值 与规范中心值偏移的程度一般为1 5 实际工艺能力指数CPK计算公式 实际工艺能力指数CPK计算公式 偏离为1 5 情况下Cpk与Cp的关系 若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1 5 即 TU TL 2 1 5 由上式可得 Cpk Cp 0 5 实际工艺能力指数CPK计算公式 偏离为1 5 情况下Cpk与Cp的关系 若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1 5 即 TU TL 2 1 5 由上式可得 Cpk Cp 0 5即工艺参数分布的中心值 与规范中心值偏移为1 5 的情况下 Cpk要比Cp小0 5 如果Cp 2 Cpk只有1 5 因此 有时将Cp称为潜在工序能力指数 将Cpk称为实际工序能力指数 简称为工序能力指数 2 工序能力的定量表征 4 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU 2 工序能力的定量表征 4 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU 如果要求参数大于某一下限值TL 无上限要求 工序能力指数应按下式计算 CPL TL 3 2 工序能力的定量表征 4 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU 如果要求参数大于某一下限值TL 无上限要求 工序能力指数应按下式计算 CPL TL 3 若 TL 则取CPL为零 说明该工序完全没有工序能力 2 工序能力的定量表征 4 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU 如果要求参数大于某一下限值TL 无上限要求 工序能力指数应按下式计算 CPL TL 3 若 TL 则取CPL为零 说明该工序完全没有工序能力 如果参数规范只规定了上限值TU 无下限要求 则工序能力指数应按下式计算 CPU TU 3 2 工序能力的定量表征 4 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU 如果要求参数大于某一下限值TL 无上限要求 工序能力指数应按下式计算 CPL TL 3 若 TL 则取CPL为零 说明该工序完全没有工序能力 如果参数规范只规定了上限值TU 无下限要求 则工序能力指数应按下式计算 CPU TU 3 若 TU 则取CPU为零 说明该工序完全没有工