PLC在低温等离子体处理仪应用.doc

汇控PLC在低温等离子体处理仪应用1. 设备简介 1.1 特点 一键式操作，使用方便； 腔体容积大，处理样品数量多； 离子浓度高，效率高； 结构紧凑，经济使用； 放电均匀，装卸料方便； 微机自动控制，操作方便； 高性能参数控制元件，参数控制精度高，重复性好。 1.2 应用 表面清洗：如粘结前、锡焊前或电镀前的表面处理； 表面活化：如生物材料的表面修饰，印刷前、上漆前或粘结前的表面处理； 表面刻蚀：如硅的微细加工、聚四氟乙烯件表面刻蚀处理； 表面接枝：如材料表面特定基团的产生和表面活化的固定，避免时效性； 表面沉积：如疏水性或亲水性层等的离子体聚合沉积。2. 系统架构 2.1 主要产品功能规格n 控制器：汇控ID100-1410BRA主机，14点DI，10点DO，继电器输出；n 比例阀：PLC通过0-10V模拟量控制比例阀的开始量；n 真空计：仪表测出真空度同时输出010V的非线性模拟量。n 人机界面：通过RS232以艾默生协议与汇控PLC进行通信。 2.2 系统结构n 核心部分：汇控PLC作为控制器，承担着信号采集、处理、输出的任务；n 上位部分：人机介面通过port1与PLC通讯，可对设备进行操及工作参数的调整，同时监控当前状况；n 下位部分：主要是通过PLC输控制真空电机的启动停止，同时通过模拟量输出来控制比例阀的开始量，通过模拟量输入来采集真空度、进气流量。 2.3 I/O配置PLC输入功能说明PLC输出功能说明X0反射超标Y0真空电机X1紧停Y1X2真空泵过载Y2总电磁阀X3Y3排气阀X4Y4高频电源开关X5Y5蜂鸣器X6Y6单片机信号X7Y7X83. 工作流程 3.1 一遍处理程序 在触摸屏上设定：处理功率、进气流量（两路）、处理时间三个参数。开真空泵（开关量）（220V或380V）抽真空 当真空度达到某值（可设定）时（真空度信号输入010V）1、电磁阀开（开关量）2、质量流量计开（两路）（010V）控制流量进气 重复以上步骤3次，重复过程中，流量和通入时间可设定+高频电源开（010V）控制功率等待2秒给单片机开关信号 开始计时放电 到达放电时间后（放电时间可设定） 1、 关高频电源，关电磁阀、关真空泵2、 关单片机开关信号3、 流量计流量回零4、 开放气电磁阀，保持一定时间放空 放空一定时间后，放空时间可设定蜂鸣器开结束提醒 3.2 两遍处理程序：在触摸屏上分别设定：第一遍的处理参数：处理功率、进气流量（两路）、处理时间。第二遍的处理参数：处理功率、进气流量（两路）、处理时间。开真空泵（开关量）（220V或380V）抽真空 当真空度达到某值（可设定）时（真空度信号输入05V）1、进气电磁阀开（开关量）2、质量流量计开（两路）（010V）控制流量进气/清洗 重复以上步骤3次，重复过程中，每步的 进气流量和通入时间可设定高频电源开（010V）控制功率等待2秒给单片机开关信号 开始计时放电+到达放电时间后（放电时间可设定）1、 关高频电源，关进气电磁阀、2、 流量计流量回零3、 关单片机开关信号放电结束 1、 关高频电源，关电磁阀、关真空泵2、 流量计流量回零3、 开放气电磁阀，保持一定时间放空 放空一定时间后，放空时间可设定蜂鸣器开（一段时间）结束提醒注：清洗参数与进气参数不一样。 3.3 接枝管路清洗在触摸屏上选择：“接枝管路清洗功能”，显示清洗进行的时间开真空泵（开关量）（220V或380V）清洗开 1、关真空泵2、开放空阀清洗关 4. 结束语汇控PLC以它的高精度