洛阳八佳ZR-100-20石墨煅烧炉技术说明.doc

ZS-100-20真空石墨炉技术说明一用途 本石墨煅烧炉主要用于多晶硅石墨件在高真空、高温状态下的煅烧之用。二技术参数有效工作尺寸 320400mm最高工作温度 2000常用温度 1550冷态真空度 6.6710pa热态真空度 6.6710pa主变压器额定容量 120KVA额定加热功率 100KW频率 50HZ电源电压 380V 三相工作电压 30V 三相升温时间：90min升温至1600（空炉）控温精度：1抽真空时间：2h达到工作真空度电气联锁及显示：超温、低水压、过电流联锁保护及报警（声、光） 电压、电流显示三 结构1. 炉体为立式炉壳，其内层为不锈钢做成的圆筒，外壳为碳钢制成，内外筒与上下法兰焊成一个整体，两层之间形成夹套，可以通水冷却，可将传到炉壳内壁上的热量带走。炉体中间开有抽气孔、热电偶测温孔，并设有观察孔，能方便地观察炉内的工作状况。2. 炉体上部是炉盖，它是由内外封头焊成，中间可通水冷却炉盖；炉盖的开启是通过机械手动的方式，将炉盖顶升并手动平转，移开炉盖。炉盖上设有观察孔，能方便地观察炉内的工作状况。配有不锈钢方桌，以便放置内炉盖。3. 炉体的下部是炉底盘，它是一个双层水冷的平台结构，固定在炉体底部，工作平台安置在炉底上，炉底盘上装有电极，并通有循环冷却水。4电源通过调功器到低电压大电流变压器，变压器次级输出，通过三根汇流铜管，连接炉底三个电极，通入炉内的石墨加热器上。石墨加热器为筒状结构， 上面开槽制成三相发热体。保温层为碳毡，最外层为不锈钢圆筒。5. 炉体四围及顶部隔热屏由石墨隔热筒、多层石墨毡及不锈钢圆筒组成，经过加工制作为一个整体的隔热系统，方便安装维修。底部隔热屏由多层石墨板组成。石墨材料均为氯化石墨。6. 真空系统配有K-400扩散泵、ZJ-150真空罗茨泵、2X70机械真空泵，手动蝶阀、真空管道、电磁放气阀、复合真空计等。复合真空计测量范围很宽，可以实现全程连续真空测量的过程。四电器控制电源通过调功器到低电压大电流变压器，变压器次级输出，通过三根汇流铜管，连接到炉底三个电极，通入炉内的石墨加热器上。本系统具有软启动、软关断、恒流、过流保护等功能。五 温度控制方式：热电偶数显温控仪可控硅调压器变压器 手动、自动均可。温度控制是通过数显温度程序控制仪根据用户设定的工作曲线实现自动控制温度，具有PID自整定功能。还可根据用户实际需要进行手动控制温度。室温-2000采用双铂铑热电偶控温。热电偶放在钽管中，增加测温稳定性，如果热电偶发生损坏，可以直接从钽管中将热电偶取出，更换新的热电偶，无需停炉放气，更换后可以马上恢复测温。不影响正常生产。六. 系统的安全保护装置本设备在工作状态下设有水欠压，过流，超温联锁及报警，一旦发生意外可以自动切断主电源。报警方式均为声光报警。七. 水冷系统冷却水通过总管进入各支管送至炉壳、炉盖、炉底、电极等需要冷却的地方，每路冷却水均设有手动阀门，可根据需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表，当水压低于设定值时，控制系统声光报警，并自动切断加热器电源。八 技术资料 我方将在合同生效10日内提供设备总图、炉体图纸、设备基础图、电气原理图、接线图、产品使用说明书（含外购部分）等技术资料。九. 售后服务1在合同设备到达工作现场后，我方将派出技术人员进行指导安装、试运行及对买方技术人员进行现场操作和维护培训。2我方承诺设备的保证期为合同设备验收的18个月。在保修期内，我方负责派遣技术人员对提供的设备进行维护或维修以及人员培训，不收取任何费用。但免费质保不包括买方不当操作或违规操作造成的损坏。3保修期结束后我方依然负责对所售设备进行维护、保养、升级和改造，其间产生的材料费