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文档简介

光学薄膜技术复习提纲一、典型膜系 减反射膜（增透膜）2、单层减反射膜的最低反射率公式3、掌握常见的多层膜系表达，例如GH LA代表什么？G2 H LA？4、什么是规整膜系？非规整膜系？5、单层减反射膜只能对 波段内的光波起增透作用。为了在较宽的光谱范围达到更有效的增透效果，常采用 的减反射膜。6、V形膜、W形膜的膜系结构以及它们的特征曲线? 高反射膜 1、镀制金属反射膜常用的材料有铝（Al）、银（Ag）、金（Au）等。2、金属反射膜四点特性。P29分光膜1、什么是分光膜？2、分光膜主要有二种类型：一是金属分光膜；二是介质分光膜。3、金属膜分光镜的一个共同的缺点是吸收损失较大，降低了分光的效率。4、介质膜分光镜的特点。P305、偏振中性分束棱镜是利用斜入射时光的偏振，实现50/50中性分光。、截止滤光片1、什么是截止滤光片？什么是长波通、短波通滤光片？p332、截止光滤片的应用：彩色分光膜。、带通滤光片 1、什么是带通滤光片？P58 2、什么是通带半宽度和相对半宽度？p593、FP干涉滤光片？金属介质FP干涉滤光片；全介质FP干涉滤光片p59二、薄膜制造技术 1、热蒸发真空镀膜设备主要由三大部分组成：三个系统 p1092、热蒸发法的基本原理。P1113、真空度的计量；单位；测量。P1124、PVD所需真空度基本确定原则。P1125、旋片式机械泵工作原理。P113采用旋片式的转子和定子组成，随着转子的旋转，不断地进行吸气、压缩和排气的循环过程，使连到机械泵的真空室获得真空。6、油扩散泵的工作原理。P1147、罗茨泵的结构、工作原理。P1168、低温冷凝泵的工作原理。P116请归纳下表（5-8）：旋片式机械泵油扩散泵罗茨泵低温冷凝泵9、PVD使用的高真空系统（图3.3.7）工作原理。P117 11、什么是电阻加热法？p12012、什么是电子束加热法？e型电子枪？p12113、什么是溅射？p12314、什么是辉光放电溅射？p12315、什么是磁控溅射？p12616、什么是离子束溅射？p12817、什么是离子镀？p13018、热蒸发镀膜与离子镀的绕射特性比较。P131 19、什么是离子辅助镀？p134请归纳下表（11-19）：电阻加热法电子束加热法溅射辉光放电溅射磁控溅射离子束溅射离子镀离子辅助镀三、光学薄膜制造工艺 1、真空镀制光学薄膜的基本工艺过程。P1402、真空度对薄膜性能的影响。P1403、沉积速率的影响。P1404、离子轰击的影响。P1415、蒸气入射角的影响。P1416、基片清洁的影响。P1416、什么是目视法膜厚控制？如何根据反射光的颜色近似判断薄膜的光学厚度？互补判断。p1487、什么是极值法？p149 8、什么是石英晶振法？p1529、什么是宽光谱膜厚监控？p15410、可以获得均匀膜层厚度的蒸发源与零件位置：p15811、改善膜层厚度均匀性的措施p1
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