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文档简介

典型的镀膜涂层生产流程从工具和精密元件的入库检查、涂层加工、直到交付客户，整个过程都是专业的生产流程，其中包含多个分别征对不同特殊属性要求的涂层的步骤。 一、入库检查 检查待涂层零件的质量、材料和表面状况。根据客户的规范确定生产程序。二、清洗 干净的表面对于涂层附着至关重要。因此，我们要下大力量进行表面处理以便为PVD处理做好准备。在多级超声波清洗线上用碱性水溶液进行清洗，溶液中 不含任何对环境有害的添加剂。通过将零件分别装入自动进料清洗线的特殊容器中简化清洗过程。三、预处理 如果需要其它预处理，应当采用适当的技术在真空电炉中去气。 例如， 清除残留在窄小钻孔中的材料，并通过微型喷砂移除多孔表面层。四、进料 在涂层前，将零件装入可互换的基座支架中，然后插入涂层系统。 处理大型产品时，可自动装载基座支架。零件这种有计划的安排可保持精确性。五、镀膜涂层 1、抽去处理室空气使剩余压力大约为10-6mbar2、系统和工艺检查3、将工具或元件加热到所需的温度4、对工具/元件进行离子蚀刻以自动产生清洁表面5、用PVD工艺进行涂层6、冷却7、系统和安全检查使用适当的媒介层时施加精确控制，以确保功能性涂层的附着性达到最佳状态。该涂层适用于单层或多层工艺，并适用于在纳米结构中采用。等离子参数设置确定了涂层属性，而经证实的系统技术则确保了所需工艺的可靠性。六、出库检查 这包括属性测试，例如硬度、涂层厚度、附着力和外观检查。当涂层较长，且有协定数量的测试零件的情况下，则对协定参数施行工艺统计监控。如经济上可行，则始终对产量较大的元件进行自动测试。七、后期处理/保养 在大多数情况下，我们应该执行后期处理，例如，对有涂层的镀膜工具或元件退磁或进行保养。八、包装/发运 镀膜零件通常在进货和
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