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文档简介

湖南华磊光电有限责任公司 文件编号版本页次3文件名称FQC外观检验标准生效日期 一、适用范围：本标准适用于所有华磊chip外观检验。二、设备与资材：低高倍显微镜三、检验标准：1.不良项目a.保护层脱落（不超过面积的1/5） b.残金(不超过PAD面积1/5) c. 掉电极 d.表面划伤 e.ICP异常 f.表面污染1 g. 电极污染 （不得有任何污染） h.表面异物（非 PAD 区域粘有异物面积不得超过电极 1/5） i. 光刻胶残留 j.ITO蚀刻过头 k. ITO未蚀刻干净 l.外延缺陷1 l.外延缺陷2 m.针痕不良(针痕不得超过面积的1/5) n.切割不良（四周毛边处最宽 o.排列不良（旋转角度不超过15）不超过电极直径的1/3） p.切割不良（不可以切到电极） q.排列不良（上下偏移不得超过电极的1/2，左右偏移不得超过标准间隔的1/3） r. .MESA破损（不得连接N-PAD区域） s.其他（PAD划伤不得与MESA连接） 2.不良类别a.一般不良保护层脱落、表面划伤、ICP异常、表面污染、电极污染、表面异物、光刻胶残留、ITO蚀刻过头、ITO未蚀刻干净、外延缺陷、针痕不良大于电极面积1/5、排列不良、MESA破损、空洞率超过10颗。b.严重不良残金、掉电极、切割不良、PAD划伤与MESA连接.3.判定标准a. 方片标准（5000ea/张）（代工或生产片）严重不良超过2颗（0.5）但小于100颗（2%），退至生产部处理；并填写品质异常报告单。一般不良超过10颗（2）但小于100颗（2%），退至生产部处理，并填写品质异常报告单。一般不良或严重不良超过100颗的即降级为次级品，并贴上相应标贴以作标识。b.大圆片标准A级品不良超过0.1%，但小于5%，则退至生产部处理，并填写品质异常报告单，如不良超过5%，则降级为B级品，并贴上相应标贴以作标识。B级品不良超过0.5%，但小于10%，则退至生产部处理，并填写品质异常报告单，如不良超过10%，则降级为特品处理；各具体尺寸不良颗数如下：尺寸A级品不良数ea (0.1%-5%)B级品不良数ea（0.5%-10%）7x9mil50ea-2000ea250-50008x10mil30ea-1500ea150-30009x11mil20ea-1000ea150-300012x13mil（大圆片）15ea-700ea100-15003.抽测比例代工片十抽一、生产片五抽一，如果有外观不良则需以代工片十抽一、生产片五抽一加抽，如果仍有不良，则整批退至生产部处理，并开出品质异常报告单。三 、相关表单FQC日报表、品质异常报告单、退生产表格
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