ACC2009 冷阴极皮拉尼真空计.doc

冷阴极/皮拉尼真空计ACC 2009使用说明书1、 简介注意事项 确保合适的电源电源供应不要超过DC30V，如果超过会导致真空计损坏或者危险操作者的安全； 确保正确的接地进行正确的接地保护以免造成电击； 遵照章程使用真空计确保管路或者真空腔室里面没有对真空计有腐蚀的气体或者可凝性蒸汽，如果有，请用干燥空气将其排干净； 避免过压不要将真空计用在超过其最大压力的情况下。忽视的话可能会导致真空计爆炸，或导致传感器内部损坏，从而引起气体泄漏，两种情况都可能导致人身伤害； 不要在含有腐蚀性气体或者毒性气体的情况下使用 腐蚀性气体如含氟的气体，毒性气体，可燃性气体或者爆炸性气体，可能造成传感器内部损坏，从而导致外部气体泄漏，这可能造成人身伤害； 产品的维修不要私自拆卸真空计的连接法兰或者电路板，参照后面关于拆卸的介绍； 不要随意修改产品设置的参数不要非法修改真空计电气或者机械的参数；忽视可能会导致真空计损坏或者人员受伤； 专业人员所有以上描述的操作，都要由有经过技术培训、有经验和有资质的人员来操作；2、 附件 描 述 P/N 连接线 5M 112752 连接线 1OM 112753 连接线 20M 112754 接头“D-SUB”9P 1148483、 技术参数31 详细描述测量原理： 热传导/冷阴极原理测量范围： 5E-91000 mbar；测量精确性: 5E-91E-8 mbar,50%； 1E-8100 mbar,30%； 1001000 mbar,50%；重复测量的误差：1E-8100 mbar,5%；（环境温度25）；供电电压： DC 1530V；电压波动： 2Vpp；功率消耗： 2W（电流150mA）；防护等级： IP40；真空计自身阻抗：18 （皮拉尼模式）15（冷阴极模式）名义电阻： 5658；（环境温度25）输出信号电压范围（0-10V+SP型）：0-10V；8.6V=1000 mbar;1.8V=5E-9 mbar;设置点: 2个接点输出(1A30VDC);接 口(RS485+SP型号):RS485;I/O连接: D-sub 9pin;连接线长度: 300M,1mm2温度范围: 运行时,555;储存时,-2070;灯丝温度: 120;烘烤温度: 150(周围无电器件和磁性屏蔽);相对湿度: 70%(无任何冷凝);连接发兰: DN25ISOKF,DN40ISOKF,DN40CF-F;操作位置: 任何角度;内部容积: 18.3 cm3;最大承受压力: 2 bars;真空端材质: 钼SUS304SUS430钨Ai2OFeNi玻璃黄铜;灯丝材质: 钨;3.2 真空计尺寸 连接法兰： DN 25 ISO KF X=16 mm DN 40 ISO KF X=16 mm DN 40 CF-F X=35.5mm3.3 电气连接芯信 号ACC20090/10V +SPRS485 +SP1信号输出0-10V（+）RS485 信号（+）2设置点（COM）3无4DC电源输入（+）5真空计ID6设置点17设置点28信号输出0-10V（+）RS485 信号（+）9DC电源输入（0V）（+）警告： 不要用、接地或者提高电压给没有用的芯 如果用自己的连接线，针对电压选择正确的电线 连接防护接地线，避免电击 安装一个电流熔断器，以避免真空计毁坏或伤人4、 真空计的连接必须使用相应的配件（Alcatel样本目录）。如果连接电线造成传感器向下的负载,需在传感器和控制器之间的连接区域加上保护。为避免此情况，请将电线固定在相应构架上。 警告不要使用在过压工况下这个真空计限制耐压是200kPa绝对压力。但是，请使用这个真空计在真空系统中。忽视的话可能导致接头的松动以及真空计飞出，也许会造成人身伤害。如果测量的压力上开到真空计允许最大压力之上，测量气体也许会泄漏到到外部，可能导致人身伤害。如果使用特别的接头，需确认其最大允许压力。 注意当系统内部为正压或真空压力时，不要安装或拆除真空计。忽视的话可能导致部件的飞出或系统内气体外漏，也许会造成人身伤害。这个真空计不要使用在易爆或腐蚀性气体的环境，因为这个产品不具备爆炸或腐蚀保护。这个真空计不要加热到70以上，忽视可能造成电路损坏或真空泄漏。 注意在真空系统中安装真空计时，不要用手直接接触腔体里面。忽视可能导致真空系统脱气的增加。可能对真空工艺造成负面影响。安装真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。它可引起真空泄漏。在真空系统安装真空计时特别小心不要扭转或弯曲传感器头。忽视可引起这个真空计的故障。安装这个真空计时远离振动。忽视可引起这个真空计的故障。在真空系统安装这个真空计时，水平安装真空计避免测量误差。安装这个真空计时，远离温度变化激烈(在热源附近或热空气吹动)的地方和振动。5、 真空计的操作51 测量原理 ACC2009是皮拉尼真空计（Pirani）和冷阴极(Cold cathode)真空计的组合，工作过程是一个混合的过程，如下图所示：电源指示灯（POWER）指示真空计的工作状况：“闪烁”=皮拉尼真空计在工作，粗真空；“稳定”=冷阴极真空计在工作，高真空；52 面板描述指示灯显示状态描述Power LED绿色闪烁皮拉尼在工作绿色稳定冷阴极在工作橙色（显示2秒）校准成功红色闪烁警告红色稳定出错SP1 LED不显示设置点1开启绿色稳定设置点1关闭橙色闪烁或者稳定校准运行中SP2 LED不显示设置点2开启绿色稳定设置点2关闭橙色闪烁或者稳定校准运行中开 关描述VAC/ATM大气压和零点校准SP SEL设置点工作中Switch selectorACC 2009-0/10V+SP设置点信息输入模式ACC 2009-RS485+SP设置点调节ID模式（详见RS484使用说明书）53 模拟信号输出（0/10V） 531 ACC 2009-0/10V+SP型 模拟信号由芯脚1（+）和芯脚8（）输出，测量信号和测量压力的关系：复数转换：测量的极限：8.6V=1000 mabr 和1.8V=5E-9 mbar；信号压力转换曲线：当测量气体为其他气体且压力在500 Pa以下时，请乘以以下修正系数计算压力。气体*C气体*C氢气0.5空气,氧气,一氧化碳,氮气1.0氦气0.8氪气2.4氖气1.4氙气3.0氩气1.7水蒸气0.5二氧化碳0.9氟里昂 120.7*C：修正系数532 ACC 2009-RS485+SP型 在I/O 接口针脚和之间发送和接收命令及数据(RS 485系列)。查阅RS485手册。54 真空计读数的校准皮拉尼真空计能在大气压力下（ATM）和测量极限压力下（VAC）被校准，真空计会自动选择在大气压力（ATM）还是极限压力（VAC）模式。在校准之前，真空计安装在用户使用的地方，并保证角度和使用的工况都一样。另外，这个过程必须在十分钟以上。在极限压力下校准，即零点校准，必须保证当前压力小于110E-5 mbar（7.610E-5 Torr）操作： POWER指示灯绿色时，按住ATM/VAC，当指示灯颜色变橙色（非闪烁）并稳定保持2秒，松开ATM/VAC，真空计自动获得压力数据和温度补偿数据，校准完毕；（不建议用户自己调整）冷阴极真空计没有校准的功能，但注意：ACC2009-RS485+SP型，可以在连接RS485时进行校准。55 真空计压力设置点的调节利用开关选择器来设置点1和2的数值：-设置数字，利用1-9数字键；-设置数量级，从+6到-9，具体对应关系参照以下表格：-设置测量单位，mbar=2,torr=1,Pa=其它任何位置；例如：ACC2009-0/10+SP型调节设置点1和设置点2的操作程序：设置点1：5.10+2=500 mbar设置点2：8.10-1=0.8 mbar设置开始A、 初始状态：SP1指示灯不亮，SP2指示灯不亮；B、 程序开始：按SP.SEL按钮，SP1指示灯亮，SP2指示灯不亮；C、 旋转设置点1的数字位到“5”，（设置点1：5.10+2） ，再按SP.SEL按钮；SP1指示灯闪烁，SP2指示灯不亮；D、 旋转设置点1的数量级位到“E”，（查上表格E=+2），再按SP.SEL按钮，SP1指示灯不亮，SP2指示灯亮；E、 旋转设置点2的数字位到“8”，（设置点2：8.10-1），再按SP.SEL按钮，SP1指示灯不亮，SP2指示灯闪烁；F、 旋转设置点2的数量级位到“1”，（查上表格-1=1），再按SP.SEL按钮，SP1指示灯闪烁，SP2指示灯闪烁；G、 选择两个设置点的单位，旋转开关选择器到“2”，（设置测量单位，mbar=“2”,torr=“1”,Pa=“其它任何位置”），再按SP.SEL按钮，SP1指示灯不亮，SP2指示灯不亮；设置完成备注：如果是ACC2009-RS485+SP型，真空计设置点的数值的选取只能通过外接控制器或者PLC完成（参照RS485使用说明书）；56 设置点信号输出设置点的SP值和对应的压力信号值有10%的误差；6、真空计的拆除 注意确认真空计是否污染。这个真空计不适合测量有害的气体压力。在拆除这个真空计之前，确认真空计内部是否已污染。如果污染的话，必须采取必要措施以避免人员伤害和环境污染。 注意当从真空系统上拆除真空计时，不要用手直接接触系统内部。忽视可能导致真空系统脱气的增加，并且对系统工艺产生负面的作用。从真空系统拆除真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。它可导致真空泄漏。当从真空系统拆除这个真空计时，不要扭转和弯曲传感器头。忽视可能导致传感器故障。 对真空系统放气使系统回复到大气压。 关闭供应电源。 拆除电信号接头。 拆除这个真空计与真空系统的连接。 在这个真空计接口处安装防护盖避免外界物质进入真空计。如果真空计必须被储存，建议远离高温、湿气重和灰尘多的地方。7、真空计的维修 注意灰尘和污染会破坏真空计部件的功能，忽视会导致真空系统放气率的增加，从而对真空应用产生消极的影响，故保持真空计的清洁；不要清洗测量装置，除了连接法兰；必须使用专用酒精清洗真空计的外表；7、1 需要的工具 15mm通用扳手； 3mm通用扳手； 长脚卡簧钳；欧姆表；内六角扳手一套；7、2 部件更换 请按以下操作，更换传感器2或者电气件3； A、 松开紧固螺钉1B、 如图示，取出传感器2；C、 按照需求更换传感器2或者电气件3；D、 小心对准传感器2的芯和电气件3的孔，推入，注意确保芯没有被弯曲，拧紧紧固螺钉1；E、 组装好之后，必须校准；编号描述P/N2Sensor DN25 ISO KF ACC 2009(传感器)113046Sensor DN40 ISO KF ACC 2009(传感器)113047Sensor DN40 CFF ACC 2009(传感器)113048Maintenance kit（维修包）1130423Electronics 0/10V+SP ACC2009（电气件）113039Electronics RS285+SP ACC2009（电气件）1120408、3 检查灯丝 如果有必要检查皮拉尼真空计传感器里的灯丝，请按照如下方法：A、 按照上面的方法，拆除传感器；B、 用欧姆表测量，传感器触脚和接地脚之间的电阻是否在53-60欧姆之间；（环境温度为25）C、 如果测量值超出量程，更换灯丝；8、4 传感器的维修 维修传感器需要用到一个专门的维修包（如后描述），并按以下流程操作：A、 按照前述操作，拆下传感器；B、 拧松螺丝，然后取走磁铁1；C、 拧开内六角螺栓2，取下要被替代的零件3；D、 用适当的工具取下保护网4，用卡簧钳取下挡圈4b，最后取出圆盘4c；E、 用专用酒精仔细清洗所有零部件及内表面，再用纱布擦干净；F、 更换维修包里的各个零件，并按相反的顺序组装