四合一检测仪器操作及维护规范.doc

XS/WI-JZ022(013) 四合一检测仪器操作及维护规范 A/0四合一检测仪器操作及维护规范编制 ： 审核 ：批准 ： 发布日期： 实施日期：1 目的1.1 为正常操作使用四合一，为测试作业提供指导。1.2 为了操作人员的人生安全、设备能够正常运行并延长其使用寿命而制定本操作规范。2 适用范围2.1 适用于所有使用该测试仪进行测试动作的人员及其测试行为和设备维护人员。3 职责3.1 所有操作人员须严格遵守该操作规范；测试过程中如出现报警或异常情况，操作人员应及时通知设备负责人员处理，切勿随意自行处置。4 工作内容4.1 测试内容4.1.1 将CDA进气压力调至0.7MPa。4.1.2 检查设备无异常情况后，两人协助将测试样片抬上辅助上料架，并从左侧将样片推至贴紧右侧限位定位装置。4.1.3 软体操作界面下方菜单中选择LOT OPERATION,打开其选择界面。4.1.4 在LOT OPERATION选择界面中，选择RECIPE，打开Recipe Loading界面。4.1.5 选择对应的RECIPE并确认OK。4.1.6 返回LOT OPERATION程序界面，点击LOAD/UNLOAD按钮运行基板的导入准备程序。 4.1.7 选择“基板尺寸”，点击“Load”按钮，基板导入程序启动。4.1.8 转动辅助上料台的手摇柄，将测试样片送至进出料门前，手摇柄旁的指示灯闪烁，按下闪烁灯，进出料门开启，继续转动手摇柄送料，直到进料门的传感器侦测到样片，指示灯闪烁，按下闪烁灯，自动输送装置开启；待样片完全进入后，指示灯再次闪烁，按下指示灯，进出料门关闭，送料结束。4.1.9 软体界面点击“Start”，测试程序开始运行。4.1.10 待测试完成后，点击“LOAD/UNLOAD”，选择UNLOAD开始下载样片。4.1.11 手摇柄旁边指示灯闪烁，按下指示灯，进出料门打开，样片退至辅助上料台，转动手摇柄，将样片传出。样片完全传出后指示灯闪烁，按下指示灯，进出料门关闭。4.1.12 手动下片。4.1.13 数据保存及数据查询(1)操作软体界面会实时显示出当前测量的数据，记录下要求测量的参数。(2)点击软体界面下方的DATA PROCESS选项，选择对应的测量时间，然后在侧边栏选择“Copy”，选择保存的文件夹地址即可。如要更改名称，则选择“Copy s”重命名，完成后点击“OK” 。(3)数据查询，在DATA PROCESS选项中，可以根据测量的时间进行历史数据的查看。4.2 维护保养内容4.2.1 日常点检(1)设备运行指示灯是否正常。(2)检查安全防护门上的散热风扇是否正常运行。(3)CDA进气端压力是否正常，有无漏气情况压力：（0.7-0.8MPa）。(4)真空泵运行是否良好，有无较大的异响。(5)X、Y轴润滑是否得到良好的润滑。（轨道无杂质，异物等；表面只需一层润滑油脂）(6)气缸动作是正常、有无泄露。（工作压力：0.350.45MPa）(7)设备运行时有无异响、卡壳、振动声较大。(8)传送滚轮转动有无异常(如旋转不灵活等）。(9)CDA压力传感器的压力值（0.7-0.72MPa）。(10) 真空压力传感器的压力值（-77 -78KPa）。(11)每月维护保养（同日常点检）4.2.2 气缸维护保养传动固定螺钉有无松动情况，有无漏气现象，若有，及时更换密封件或更换气缸并紧固定位螺钉。(1)传动装置维护保养检查轴承、滚轮有无磨损，定位螺钉有无松动，视情况更换或调整紧固。(2)检查电控柜维护保养清检电气柜内的线接头有松动情况，若有，及时紧固；清理电气柜内的积垢。(3)手动送片平台维护保养检查手动送片平台固定位置与进片传送滚轮是否一致，若不一致，调整地脚螺钉位置，与手动送片平台固定位置。4.2.3 季度保养（同月保养，保养前须切断电源、气源）(1)电气部分保养方法：a 清检电控柜各个电子元件、信号开关是否安全可靠，视情况更换。b 清检各线路有无老化情况视情况更换。c 清检电机风扇积灰，电机轴承转动是否良好，视情况更换。(2)机械部分保养方法：a 清检轴承有无异响、磨损，视情况更换。b 紧固定位螺钉或更换受损螺钉。c 用煤油清洗气动电磁控制阀，更换密封圈、阀芯、电磁阀；更换受损的快插接头。d用煤油清洗气缸或更换密封件、气缸。 4.2.4 年度保养（同季保养，保养前须切断电源、气源）保养方法：(1)清检电气部分：电磁阀、传感器、行程开关、电机、电气控制元件、执行元件、线路老化情况、线接头松动、安全装置互锁。(2)清检机械部分：轴承、润滑油、固定螺钉及受损螺钉、减速机构、传动带轮、连杆机构。(3)清检气路部分：密封件、气缸、气管及接头。(4)清检辅助部分：安全防护门(5)清检设备主要部件如下:a手动输送平台b X、Y、Z轴传动机构c 气动定位装置d 真空泵系统e 测量仪系统5 附