MEI048酸性蚀刻机工作指引.doc

文件发行/更改审批表DOCUMENT ISSUE/CHANGEAPPROVAL SHEET文件状态DOC STATUS文件名称：酸性蚀刻机工作指引TITLE：文件编号：REF：MEI048版本：ISS：00文件更改履历性质及项号（DOCUMENT AMENDMENT HISTORY）修订REV.更改性质及项号NATURE OF CHANGE AND SECTION NO.制订人INITIALOR生效日期EFF.DATE1第一版何锋2008.01.05审批(制订人应用“（X）”指出此文件的审批单位APPROVAL（INITIATOR HAS TO INDICTE“（X）”ON WHOM POSSESS（ES）APPROVAL AUTHORITY OF THIS DOCUMENT）审批人修订（1）修订（2）修订（3）修订（4）修订（5）QA （X）工程部 （ ）生产部 （X） 市场部 （ ）工艺部 （X）维修部 （X）财务部 （ ）人力资源部 （ ）行政部 （ ）运营总监 （X）总经理 （ ）OPI002-1/00-2 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 厂文件名称：TITLE： 酸性蚀刻机工作指引文件状态DOS STATUS文件编号REF： MEI048版本修订ISS-REV：00-1页号PAGE 1 OF 31、目的：建立及介定蚀刻工艺的操作条件，使蚀刻得以顺利进行2适用范围：本文件只于蚀刻工艺的退膜 ，蚀刻工序3适用文件：31 制作技术MI.LOT卡32 流程检查表33 内部工艺标准34 工程更改通知35 化验补料单4责任41 生产部负责实施日常操作工作参数条件42 流程工程部负责为遇到的问题提供技术支援43 维修部负责为生产设备提供维修保养服务44 品质部负责仪器调校及流程参数的监控45 化验室负责药水的化学浓度分析及调整5设备、材料物品51 宇宙蚀刻退膜机52 手动退膜缸、架子53 百倍镜54 蚀刻子液氨水氢氧化钠盐酸 OPI001-1/00-1 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 厂文件名称：TITLE： 酸性蚀刻机工作指引文件状态DOS STATUS文件编号REF： MEI048版本修订ISS-REV：00-1页号PAGE 2 OF 36蚀板流程：入板 蚀刻 氨水洗 循环水洗 酸洗 循环水洗 循环水洗 清水洗 吸水 强风吹干 热风吹干 出板7工艺参数条件：71温度：50372烘干温度：80273蚀刻压力：上喷2.0Kg/ 下喷1.5-1.7Kg/74氨水洗压力：1-3 Kg/75循环水洗及酸洗压力：1-2Kg/8蚀刻速度和蚀刻液成份：81蚀刻速度：H/HOZ：1.8-2.0m/min开两个泵 1/1OZ：1.3-1.6m/min开两个泵2/2OZ：0.8-1.0m/min开两个泵82蚀刻液成份：Cu2+:130-190g/L 酸度（HCL）：1.5-3.5mol/LSG：1.28-1.36氧化还原电位：450-600ORP/mv83子液成份：酸度（HCL）：1.5-3.5mol/L氧化还原电位：450-600ORP/mv9开机91按下输送开关将输送速度调整在合适范围内。92按照流程顺序依次按下各开关则其相应段电器开始工作各喷淋压力可通过掖泵出口处球阀门调节至所需范围内。93电箱面板上的温度控制器酸性蚀段的温度，当温度达到设定值时可正式生产。 OPI001-1/00-1 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 厂文件名称：TITLE： 酸性蚀刻机工作指引文件状态DOS STATUS文件编号REF： MEI048版本修订ISS-REV：00-1页号PAGE 3 OF 394当工作温度超过设定值时冷却水管开始工作。95当液位偏低或其它原因机体指示灯亮，工作人员须即刻检查原因并给予处理。10关机10.1 先检查确认机内有无后再关机。10.2 按电箱面板按钮，蚀刻机。停止工作。然后关阀及电源的开关。11生产注意事项11.1生产前必须做首板经QA确认线宽、线距OK后方能正式生产。 11.2生产中严禁打开蚀刻液缸的盖子。避免药水伤及眼和皮肤。11.3 内层板烤板后才能蚀板。11.4 当出现批量酸性蚀板不净时接板员应及时知会组长调整蚀刻速度并将好板坏板分开。12自动添加12.1 将添加时间设定为60 秒然后返回主页画面。12.2 连接控制器先以较慢的速度蚀刻、自动添加HCL和TX-005直到ORP值控制范围内。13浮子比重控制的调整13.1 调节感应器的高度使波美计控制器的反映数值与用药水的比重数值一致可精确到0.1个单位 。13.2 打开浮子比重控制器药水盒的顶盖调节其底部的阀门。使药水慢慢溢到顶部合适位置而后保持液面稳定。13.3 将浮子放入药水盒中固定好药水盖调节好药水比重上限数值即可。注意该浮子的上限感应器灯亮则应发出添加泵启动信号比重25y/cm21.28-1.36即31.5Be0-38 Be0。14保养14.1 每班清洁机身一次。14.2 每班更换一次各自来水洗缸。14.3 蚀刻液比重每班测量一次并作好记录。14.4 排掉槽内旧液先用自来水将槽冲洗再将槽装满自来水开动电泵循环20-30分钟后将水排干。14.5 检查喷嘴、喷管和循环泵、冷却管。加温系统和自动添加系统是否正常。14.6 将酸性蚀刻母液加入槽体中加到设定水位线即可。14.7 每个月做一次大保养更换槽中的母液。 OPI001-1/00-1 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 酸性蚀刻机流程检查记录表 月份项目日期频率12345678910111213141516171819202122232425262728293031蚀刻液温度503每班测量记录一次日