预清洗机备忘录.doc

清洗机概述 FRIST 清洗机配置有3个化学液清洗槽、7个纯水溢流槽、4个机械手、1个旋转式甩干机，可以实现硅片清洗全自动操作。操作员所需要做的只是放入硅片、取出硅片和日常维护检查。 手动/自动状态切换 清洗机配液、故障调试、校准机械手等操作必须在手动模式下可以进行。所以经常需要进行切换操作模式。自动手动首先确保机械手没有在运行状态，各个清洗槽没在换液。1、 点击操作界面右下角的“STOP”按键，使该按键亮起绿灯，停止设备机械部分运转2、 长按操作界面中的“Manual”按键，直到“Manual”按键处亮起绿灯。3、 点击“STOP”按键，使该按键的指示灯消除。自动到手动的模式切换完成。手动自动：1、首先点击“HOME”按键，进入复位界面，检查各个机械手、甩干机是否都在初始位置。否则就复位该设备2、退出初始界面回到操作界面，检查“STOP”按键，确保红灯没有亮起。3、检查各个槽子的液位，各个舱门是否关好。4、长按“AUTO”按键，直到AUTO”按键亮起绿灯。注释：如果按下“DOOR IL CANCEL”,那么舱门没有关闭时仍然可以切换到自动状态。 如果按下“LIQUID SURFACE CANCEL”,那么当个别槽子液位不够时，仍然可以切换到自动状态。配液该清洗机有三个化学液槽：2号槽（HF）、5号槽（去蜡水）、6号槽（去蜡水），配液是手动进行的。 在各个槽子多的控制界面里（以5号为例）首先点击纯水注入（DIW SPLY）按键，使液槽LOW变绿，关闭纯水注入按键，然后按下供液键（LIQUID CHANGE）,供液结束后再按下纯水注入按键，液槽忙后自动完成换液。载入、取出硅片载入硅片：把花蓝放到机械手指定取蓝位置，注意U面朝外、适配器分别插在花篮的U面。另外， 两个花蓝承载的硅片尺寸一定要一致，花蓝内部硅片数量差距不得超过1片。花蓝放置前，将旁边旋转开关打到放蓝位置，放好后，将旋转开关打到自动位置，机械手会自动过来取片。取出硅片：硅片经过清洗、甩干之后，会被放到输出位置，每一对花蓝被输出，需要及时取出，否则会影响甩干机的正常工作。排液排液需要在手动模式下进行。各个槽子的操作界面中，按下“DRAIN”按键就可以排液(排水)。排液按键位置在操作的下方正中间的位置。观察被操作的槽子，完成排液后关闭”DRAIN”按键。排液操作完成。 调节溢流的流量 该清洗机有两种溢流可以手动调节：溢流阀门开启时调节清洗溢流量；溢流阀门关闭时通过微调旋钮使槽子保持一定的流量。 下图为溢流量调节阀门的位置。 通过手动调节阀门就可以控制阀门打开时的流量，流量的数值可以通过流量计读出。下图为微调旋钮位置示意图通过旋转流量微调旋钮，可以使流量阀门关闭时仍然保持一定的流量，流量的数值可以通过流量计读出。 设定工艺参数 在设备的操作界面右边是用来设定工艺参数的。工艺参数界面里可以设定清洗时间、换液频率、补液频率、流量范围、跳过那些槽子不用等等。 下面以设定清洗时间为例说明工艺参数界面的使用办法。 点击“WASH TIME SETUP” 进入工艺时间设定界面，点击“PASSWORD”在弹出的对话框里面输入密码，确认后点击图中第二行的“WASH TIME SETUP”中相应得位置会弹出对话框，在里面输入目标时间（以秒为单位）。点击”ENTER”,检查“WASH TIME PRESENT”一栏中的时间是否得到更改。调节甩干机转速甩干机的转速是由配电柜里面的频率盒控制的，调节甩干机转速就是调节频率盒的频率。转速与频率对照表转 速（rpm）18.9528.437.9547.456.966.476频 率（Hz）2003004005006007008001、 输入台在水槽加满水后，可以关闭进水阀，让回流阀保持畅通，调节流量控制在适量，让水流保持。控制阀在水槽后侧的左边，有流量调节阀。2、6、7号槽（化学液槽）主要管道有化学液进液管，排液管，内缸进水管（2根），内缸排液管，内缸液位管，外缸液位管，超声液位管。3、6 BATH 界面说明 图中 DIW SPLY 指的是槽内进水 US 指的是超声 DRAIN 指的是槽内排水 CIRC 指的是循环泵 FLOW 指的是后室HF酸槽排液到前槽，这里是纯液。 HIGH FULL LOW 指的是HF酸桶的三个液位，液位指示在FS6-11，其中L3表示低液位，L2表示高液位，L1报警液位。液位信号的灵敏度调节旁边的一字螺丝，顺时针灵敏度增加，反之相反。 当前液槽处于满液位时，HF酸桶无法排液到前槽。需放掉部分水才能加液。 BET 报警消音 RESET 复位信号。 NEXT 下一页PREV 上一页SPIKE 自动换液主界面图在这个界面中，主要显示六个可操作按键。按任意一个键都能进入相对应的界面，同时可进行下一步操作。按下MODE键，进入下一界面在这个界面中可以选择运行模式。清洗时间另设。选择到某一模式时，相对应的指示显示为绿色。左上角画面按下报警键，界面如下 在这两个报警画面中，如果出现某一项报警，没有消除报警原因，机器将无法运行。只是在屏幕下端显示红色报警内容，不影响机器的其它运行，消除后可恢复正常。机械手1加载画面在这个画面中，显示绿色的位置表示机械手目前所处位置。LD ROBOT 表示机械手可以再CV和LD CV两个槽中走动。ROBOT T1 可以在LD B和1、2、3、4中移动。两个机械手交叉位置，在后期运行过程中不能躲避。ROBOT T2 可以在49之间移动，图中所示是机械手处于第7槽中。ROBOT T3 可以在810和S/D这几个槽中移动。ROBOT T4 在S/D 和ULD两个槽中移动。左上角放大图片 这是机械手1的操作界面，按压箭头可以看到机械臂上下移动，OPEN/CLOSE 指的是机械手的爪子开/合。点击1BATH4BATH 机械手移动相应位置。3-4 SHUTTER CLOSE/OPEN 指的是第三槽和第四槽之间的挡板。NO.1 BATH 画面 在这个画面中，1号槽有进水阀门和排水阀门各一只。左边显示的进水流量。NO.3 BATH 画面 这个画面中有两个水槽，分别有两路进水。左边显示的清洗时间。左上角放大画面 这个界面主要用于开关三四槽中间的挡板。NO.4 BATH 画面 这是第四槽的界面，操作桶第三界面。NO.5 BATH 画面 这是5号槽操作界面。其中上面部分指的是后室CDA控制的HF酸桶。图中的HIGH、FULL、LOW指的是桶的液位高度，这里面装的是纯液。CIRC指的是药液的循环隔膜泵。SPIRE指的是自动换液。NO.7 BATH 画面 这是7号槽操作界面。这个槽中有超声、有抖动。UP/DOWN 指的是花蓝的抖动按钮。US 指的是超声。有两个缸，各有进出水阀各有一只。NO.8 BATH 画面 这是8号槽操作界面。这个槽中有超声、有抖动。UP/DOWN 指的是花蓝的抖动按钮。US 指的是超声。有两个缸，各有进出水阀各有一只。NO.9 BATH 画面 在这个画面中，9号槽有两个缸，进水阀门和排水阀门各一只。左边显示的进水流量。NO.10 BATH 画面 在这个画面中，10号槽有两个缸，进水阀门和排水阀门各一只。左边显示的进水流量。卸载画面 这个界面是卸载操作台的界面。按压外围的上下和左右箭头，槽内四个移动加整体动作。当按压内部的箭头，出现单只移动加上下。加载画面 这个界面是加载操作台的界面。按压外围的上下和左右箭头，槽内四个移动加整体动作。当按压内部的箭头，出现单只移动加上下。左上角放大画面 这是加载机械手上下和旋转操作界面。通过按压向上箭头，机械手完成上升动作，按压向下箭头，机械手向下动作。机械手提升到高位后，按压180键，机械手会进行水平180旋转。其中的OPEN/CLOSE 是机械手爪子开关。 主界面按下HOME键界面如下 这是机器复位界面。在开机时，通过按下HOME键，让机械手归位到原始状态。按键显示为绿色，表示归位完成。主界面按下ARARM LIST键出现的画面如下 这是报警现场记录，出现的所有报警都记录在此。加载处机械手 这是加载机械手，可进行上下操作。在上位时可进行180旋转。加载处移动架 这是加载处的移动架，共四只，即可同时运动，也可单独移动，可上下。3#槽和4#槽中间挡板 这个图是3号槽和4号槽中间的挡板装置。可以在控制板中进行单独操作。卸载移动架 这个画面是花蓝卸载部分。其中在自动运行时，花蓝从甩干机出来，放到卸载架上，分四个阶段完成传送。 在手动控制的过程中，传送装置可以单独移动。这个步骤主要在后期的维修过程中使用。甩干机振幅测试仪器 这是甩干机振幅测试仪器。甩干机控制变频器 这个控制箱主要用来控制甩干机的，转速通过变频器来调整。变频器为三菱系列。 控制部分为欧姆龙系列，内部的数据可以通过接口读出。HF酸和1号液桶液位信号器 这是两个液位信号控制器，其中FS6-11是6号槽后室1#液桶的液位信号。这里的L3表示低液位，L2表示中液位，L1表示高液位。液位指示灯旁为反馈信号调节钮，顺时针灵敏度增加，逆时针相反。 FS5-11是5号槽的液桶信号，控制