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文档简介

TV Thickness Variation 厚度偏差厚度偏差主要指硅片与硅片之间特定点之间的厚度偏差（比如中心测量点）。这种偏差存在于一个硅块或者一刀片子之内，偏差的大小与钢线和硅块之间的磨损程度有关。TTV Total Thickness Variation整体厚度偏差同一个硅片内最大厚度和最小厚度的差值，TTV = Tck max - Tck min影响TTV的因素：1、 砂浆在钢线上的分布；2、 砂浆在硅块内部的分布；3、 砂浆随切割时间的劳损；4、 磨料的粒径尺寸；5、 切割条件的更改或不稳定。切割方向TTV随时间的变化与砂浆（包括碳化硅的磨损，砂浆成分的变动）的关系。线速方向TTV变化与碳化硅颗粒的磨损有关。单向走线平行TTV变化，入线端厚度小于出线端厚度双向走线平行方向TTV变化，出入线端厚度小于中心厚度硅片的几何尺寸与温度、机器、砂浆消耗、钢线磨损等因素有关。垂直方向TTV变化，单向走线时入刀端厚度低于出刀端，双向走线时中间厚度小于出入刀端的厚度。钢线顺着槽型方向运动，和硅块运动方向垂直，钢线在硅块内部随着切割的难易左右有轻微的波动，造成厚度有轻微的偏差。砂浆随着钢线的运动方向运动形成了与钢线平行方向上的TTV变化。横向的硅片形状与钢线的运动模式有关，同时也它的变化幅度是磨料尺寸的一个函数变化。砂浆在钢线运行中的分布情况随加工时间的变化主要体现在与进给方向平行、与钢线垂直的方向上。随着钢线线的磨损和砂浆的消耗导致了磨料粒径的减小和切口损耗的减小。砂浆组分的变化也能使切割能力下降，在出线端容易引起线痕。TTV随切割条件的变化任何突发性的变化，如线速、台速、砂浆质量，都将体现在硅片的表面。引起TTV的各种原因：1、 砂浆在线网上的分布（砂浆帘的厚度、砂浆喷嘴的堵塞、流量调节器故障）；2、 砂浆随着钢线运动在硅块内的分布（流量过大或流量不足）；3、 砂浆在钢线表面的分布（阴雨天气，线速过快）；4、 砂浆随时间的损耗（碳化硅颗粒的磨损）；5、 磨料的尺寸（不适应于硅块的几何尺寸）；6、 切割环境的突然变动；7、
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